Si上Ge外延薄膜激光再晶化关键技术研究  CNKI文献

随着微电子、光电子技术的发展,新材料、新技术不断涌现。Si衬底上直接外延生长Ge外延层(Ge/Si)技术,兼具Si衬底与Ge半导体优势,在微电子与光电子领域应用潜力巨大。然而,由于Si与Ge之间存在4.2%的晶格失配,Si衬底上直...

张洁 导师:宋建军 西安电子科技大学 2019-06-01 硕士论文

微纳器件激光退火工艺的优化和探索  CNKI文献

随着大数据和云计算的迅猛发展,集成电路需要处理的数据量不断增加,数据的存储变得越来越重要。为了满足市场对高性能和高密度存储设备的需求以及缓解平面NAND Flash的技术瓶颈,3D NANDFlash结构被提出。由于3D NAND ...

马福帅 导师:陈杰智 山东大学 2019-05-25 硕士论文

氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析  CNKI文献

基于热传导方程建立了ZnO薄膜的准分子激光辐照理论模型,模拟分析了KrF准分子激光辐照ZnO薄膜的热效应。计算了薄膜的温度场分布和热流分布,讨论了激光作用过程中的温度随时间的变化关系,分析了#~

邵景珍 王玺... 《激光与光电子学进展》 2017年06期 期刊

光栅式微尺度晶圆片在激光尖峰热退火工艺中温...  CNKI文献

近年来随着半导体产业的发展,芯片上单位面积所容纳晶体管的数量以摩尔定律的规律不断增加,大概每两年就会翻倍,这就要求相应的半导体元器件尺寸要不断减小,目前已经缩小到微纳米级别。在半导体元器件制作过程中,热处...

田赛 导师:韩宗伟 东北大学 2016-12-01 硕士论文

MEMS力学特性测试及可靠性分析中若干关键问题的研究  CNKI文献

MEMS力学特性测试及可靠性分析在MEMS的研发和产业化过程中具有极为重要的意义,而力学特性测试又是进行可靠性分析的基础。本论文在调研和分析了MEMS力学特性测试技术及可靠性测试技术研究现状的基础上,对应用相移显微...

黄玉波 导师:胡小唐 天津大学 2008-06-01 博士论文