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Si上Ge外延薄膜激光再晶化关键技术研究  CNKI文献

随着微电子、光电子技术的发展,新材料、新技术不断涌现。Si衬底上直接外延生长Ge外延层(Ge/Si)技术,兼具Si衬底与Ge半导体优势,在微电子与光电子领域应用潜力巨大。然而,由于Si与Ge之间存在4.2%的晶格失配,Si衬底上直...

张洁 导师:宋建军 西安电子科技大学 2019-06-01 硕士论文

关键词: Si上Ge外延薄膜 / 激光再晶化 / 反射率与吸收率 / 温度分布

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微纳器件激光退火工艺的优化和探索  CNKI文献

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马福帅 导师:陈杰智 山东大学 2019-05-25 硕士论文

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氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析  CNKI文献

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邵景珍 王玺... 激光与光电子学进展》 2017年06期 期刊

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光栅式微尺度晶圆片在激光尖峰热退火工艺中温...  CNKI文献

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田赛 导师:韩宗伟 东北大学 2016-12-01 硕士论文

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MEMS力学特性测试及可靠性分析中若干关键问题的研究  CNKI文献

MEMS力学特性测试及可靠性分析在MEMS的研发和产业化过程中具有极为重要的意义,而力学特性测试又是进行可靠性分析的基础。本论文在调研和分析了MEMS力学特性测试技术及可靠性测试技术研究现状的基础上,对应用相移显微...

黄玉波 导师:胡小唐 天津大学 2008-06-01 博士论文

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