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激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究  CNKI文献

随着微机电系统(MEMS)技术的发展,近年来钛及钛合金的微细群孔加工成为国内外研究的热点。虽然光刻电解加工结合了光刻技术和电解加工两者的优点,可实现高效、高精度金属微细群孔加工。但由于钛及钛...

江一 汪炜... 《电加工与模具》 2010年01期 期刊

关键词: 激波 / 光刻电解 / / 微细群孔

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激波辅助纯钛微细光刻电解试验研究  CNKI文献

钛是一种重要的结构金属,具有比强度高、耐蚀性好等特性,广泛应用于航空航天、化工、医疗等领域。随着微机电系统(MEMS)技术的发展,钛微细结构加工成为研究热点。 光刻电解加工结合了光刻技术和电解

江一 导师:汪炜 南京航空航天大学 2009-12-01 硕士论文

关键词: 激波 / / 光刻电解 / 电解液

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激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究  CNKI文献

随着微机电系统(MEMS)技术的发展,近年来钛及钛合金的微细群孔加工成为国内外研究的热点。虽然光刻电解加工结合了光刻技术和电解加工两者的优点,可实现高效、高精度金属微细群孔加工。但由于钛及钛合金表面极易钝化,...

江一 汪炜... 第13届全国特种加工学术会议论文集 2009-10-24 中国会议

关键词: 激波 / 光刻电解 / / 微细群孔

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