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In-Ga合金源汽相外延生长In_xGa_(1-x)As体系的热 CNKI文献

本文采用独立组元法对In-Ga合金源汽相外延生长In_xGa_(1-x)As体系的平衡状态作了热力学计算和分析,所得结果对认识该体系外延生长的规律性及改进工艺条件有一定参考价值.

徐宝琨李钟华... 《半导体学报》 1989年04期期刊

关键词：热力学计算 / 气相外延 / 铟镓砷固溶体

下载（15）| 被引（1）

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