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适用无源射频识别标签的集成压力传感器设计  CNKI文献

针对无源射频识别(RFID)传感器标签发展的需求,采用商业化互补金属氧化物(CMOS)工艺,设计了一种集成电容式压力传感器及其接口电路。集成压力传感器采用金属层M1作为下电极,牺牲的金属层M2作...

郭凤鸣 李兵... 《电子器件》 2016年04期 期刊

关键词: 压力传感器 / RFID标签 / CMOS工艺

下载(105)| 被引(4)

电容式压力传感器和惯性传感器集成器件及其形...  CNKI文献

本发明提供了一种电容式压力传感器和惯性传感器集成器件及其形成方法,该器件包括:半导体衬底;覆盖该半导体衬底的外延层,该外延层下方的压力传感器区域内的半导体衬底中具有空腔;位于外延层上的第...

传感器世界》 2015年09期 期刊

关键词: 电容式压力传感器 / 传感器集成 / 惯性传感器 / 集成器件

下载(87)| 被引(0)

低功耗集成电容式压力传感器设计  CNKI文献

采用0.18μm CMOS工艺设计并制造了一种集成压力传感器压力传感器单元由可移动上电极、介质膜及固定下电极组成,并由牺牲的金属层获得空气间隙。集成接口电路采用反相器替代传统开关电容

阴雨晴 邓芳明... 《仪表技术与传感器 2015年08期 期刊

关键词: 压力传感器 / 接口电路 / CMOS工艺 / 低功耗设计

下载(203)| 被引(2)

一种单片集成电容式压力传感器的设计、制造和测试  CNKI文献

提出了一种新型电容式压力传感器。在外加压力下,该传感器的极板面积、间距以及介质层介电常数均发生改变,并导致电容发生变化。同时介绍了接口电路的设计,该电路基于电容-频率转换原理...

黄晓东 王斌... 《传感技术学报》 2008年04期 期刊

关键词: 单片集成 / 电容式压力传感器 / 接口电路

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单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计  CNKI文献

介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路,该电路基于电容-频率转化原理,并通过差频消除了温度变化和工艺波动对电路性能的影响。使用Pspice对接口电路的误差特性进行了分析,并依据仿真结果确定了电路...

黄晓东 张筱朵... 《微纳电子技术》 2007年Z1期 期刊

关键词: 微机电系统 / 单片集成 / 电容接口电路 / 电容-频率转化

下载(526)| 被引(5)

多层膜结构电容式压力传感器及其CMOS兼容工艺...  CNKI文献

硅微机械加工压力传感器是MEMS的重要研究领域之一,在汽车系统、工业控制、环境监控和测量以及生物医疗诊断等众多领域有着广泛的应用。电容式压力传感器是硅微压力传感器的一种主要类型,其基本原理...

周闵新 导师:黄庆安 东南大学 2005-09-01 博士论文

关键词: 电容式压力传感器 / CMOS集成压力传感器 / MEMS / 电致伸缩增强效应

下载(2020)| 被引(18)

厚膜电容式集成压力传感器感压元件研究  CNKI文献

采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件。具有抗干扰能力强 ,灵敏度高 ,受分布电容、寄生电容影响小 ,耐腐蚀 ,耐高温的特点。文中主要介绍其电容式感压元件的原理、设计 ,并对...

虞学犬 马以武 《仪表技术与传感器 2001年03期 期刊

关键词: 厚膜 / 电容式 / 集成 / 压力

下载(141)| 被引(4)

电容式压力传感器电容测量集成电路的...  CNKI文献

采用开关电容技术的Boxcar(时域平均)积分原理设计,为测量电容式压力传感器的微电容的接口电路已提出。它由Boxcar积分器,锁存器,脉冲宽度调制器和控制信号电路组成。该接口电路,采用3μm P-阱C

茅盘松 朱静远... 传感器技术》 1993年05期 期刊

关键词: 开关电容技术 / 电容式压力传感器 / 集成化微电容 / 测量接口电路

下载(215)| 被引(2)

电容式压力传感器电容测量集成电路的...  CNKI文献

采用开关电容技术的Boxcar积分原理设计的,为测量电容式压力传感器电容的接口电路已提出,它由Boxcar积分器,锁存器,脉冲宽度调制器和控制信号电路组成。 这个接口电路,采用3μmP-阱CMOS双层...

茅盘松 华钧歧 ... 《电子器件》 1992年02期 期刊

关键词: 电容式压力传感器 / 接口电路 / 微电容测量 / 电容测量电路

下载(114)| 被引(1)

国外电容式集成压力传感器简介  CNKI文献

本文简要介绍了一种用集成电路工艺制造的新型电容式集成压力传感器的工作原理、设计、工艺及主要性能。这种传感器测量灵敏度比压阻式传感器约提高了一个数量级,更重要的是降低了温度灵敏度...

徐清发 《自动化仪表》 1983年04期 期刊

关键词: 集成压力传感器 / 集成电路工艺 / 电容式 / 电容式压力传感器

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