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碳含量对电弧增强反应磁控溅射方法制备BCN薄膜  CNKI文献

利用电弧增强反应磁控溅射(AEMS)方法在高速钢基体上制备了BCN薄膜,通过改变石墨靶功率来调整BCN薄膜中碳元素的含量,采用傅里叶变换红外光谱仪、高分辨透射电镜、显微硬度计和划痕仪等设备研究了~...

陈向阳 张瑾... 《机械工程材料》 2017年10期 期刊

关键词: 电弧增强反应磁控溅射 / BCN薄膜 / 热稳定性

下载(51)| 被引(1)

电弧增强反应磁控溅射制备BCN薄膜的微观结构与...  CNKI文献

早期研究表明,碳氮薄膜(CN)争立方氮化硼薄膜(c-BN)具有高硬度和低摩擦系数等优异性能,在耐磨减摩表面改性领域应用潜力很大。但CN薄膜高于500℃后热稳定性变差,c-BN虽然热稳定性好,但薄膜制备过程中存在有较大的残余...

陈向阳 马胜利... 第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论... 2008-10-01 中国会议

关键词: AEMS / BCN薄膜 / 微观结构 / 硬度

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