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真空微电子加速度传感器关键技术研究  CNKI文献

加速度传感器是一种十分重要的惯性传感器,基于新原理、新技术的高性能加速度传感器是近年来研究的热点。真空微电子加速度传感器基于场致发射理论,集固体器件和真空微电子器件的...

李东玲 导师:温志渝 重庆大学 2016-10-01 博士论文

关键词: 加速度传感器 / 纳米锥尖阵列 / 吸合失效 / 圆片级封装

下载(378)| 被引(5)

MEMS传感器真空密封技术  CNKI文献

文章介绍了MEMS传感器的几种真空密封方法,提出了一种真空密封方法的设想。

曾大富 刘建华... 微电子学》 2005年03期 期刊

关键词: MEMS / 传感器 / 谐振梁 / 压力传感器

下载(323)| 被引(1)

碳纳米管薄膜的制备及其场发射性能研究  CNKI文献

碳纳米管具有独特的结构和良好的导电、热稳定、化学稳定性,在真空微电子器件中具有广泛的应用前景。利用碳纳米管薄膜作为场发射冷阴极的应用研究已成为场发射研究的热点。目前,还存在许多问题亟待解决,其中...

陈婷 导师:孙卓 华东师范大学 2005-05-01 博士论文

关键词: 碳纳米管 / 场发射 / LPCVD / 可控制备

下载(1033)| 被引(8)

碳纳米材料及其在真空微电子器件中的应用  CNKI文献

本文从碳纳米材料,特别是碳纳米管或纤维薄膜的的制备工艺、结构性能及其作为发射电子的冷阴极在场发射器件中的应用进行了综述。重点叙述了在新型平面显示器(FED)、节能光源、压力传感器、微波管等器件方面的应用。同...

孙卓 陈奕卫... 上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会论文集 2005-01-01 中国会议

关键词: 碳纳米材料 / 冷阴极 / 场发射器件 / 化学气相沉积

下载(124)| 被引(0)

真空微电子压力传感器的研制  CNKI文献

提出了一种带过载保护功能的真空微电子压力传感器。对传感器压力敏感膜尺寸、阴阳极间距等结构参数进行了分析计算;针对过载保护的问题,在结构上设计了过载保护环,实现了真空微电子压力传感器

温志渝 温中泉... 《光学精密工程》 2004年06期 期刊

关键词: 压力传感器 / 过载保护 / 场致发射阴极锥尖阵列 / 各向异性腐蚀

下载(224)| 被引(14)

一种新型的锥尖制作方法研究  CNKI文献

主要介绍利用反应离子腐蚀和等离子腐蚀相结合的方法制作真空微电子压力传感器中锥尖阵列。探讨合理选择制作材料,优化锥尖形状,锐化锥尖尖度,以提高传感器灵敏度,增大阴极锥尖的发射电流。测试结果表明:...

欧益宏 温志渝... 《压电与声光》 2003年04期 期刊

真空微电子压力传感器阵列数据采集研究  CNKI文献

阐述了真空微电子压力传感器阵列的工作原理和工作波形。设计了一种供真空微电子压力传感器阵列器件使用的 12位A/D数据采集系统。系统采用微机为主控单元 ,地址发生和时序控制部分采用可编程逻辑器件 (C...

潘银松 温志渝... 《微纳电子技术》 2003年Z1期 期刊

关键词: 真空微电子 / MEMS / 压力传感器阵列 / 数据采集

下载(83)| 被引(1)

真空微电子压力传感器的研究  CNKI文献

压力是过程自动化五大参量中的首要参量,作为压力信息获取的核心元件的压力传感器,在石油、化工、冶炼、电力、仪器仪表、机械、汽车、智能结构、航空航天、国防等领域中是必不可少、量大面广的基...

徐世六 导师:温志渝 重庆大学 2003-05-27 硕士论文

关键词: 真空微电子 / 压力传感器 / 场致发射 / MEMS

下载(468)| 被引(7)

硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特...  CNKI文献

封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ,在计算机模拟计算的基础上 ,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ,得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ,发射电流曲线...

陈绍凤 夏善红 《液晶与显示》 2002年01期 期刊

关键词: 真空微电子 / 压力传感器 / 模拟测试 / 压力特性

下载(72)| 被引(1)

真空微电子传感器研究及进展  CNKI文献

介绍真空微电子传感器的研究和发展概况 ,着重叙述了真空微电子压力传感器真空微电子传感器的发展 ,并就其研究、发展和应用前景阐述了个人的观点。

夏善红 《机械强度》 2001年04期 期刊

关键词: 传感器 / 真空微电子 / 压力 /

下载(177)| 被引(13)

真空微电子压力传感器实验研究  CNKI文献

一、引言真空微电子(VME)压力传感器自1991年首次提出至今已十年了。尽管多年来关于这种传感器的研究常有文献报道,但未见实用器件面世, 学术界人士对于这类传感器是否具有应用前景持有不同见解。本文拟介绍作者近期在...

夏善红 陈绍凤 中国电子学会真空电子学分会第十三届学术年会论文集(下) 2001-08-01 中国会议

关键词: 阴极发射电流 / 真空微电子 / 压力传感器 / 阳极键合

下载(33)| 被引(0)

真空微电子压力传感器的研制  CNKI文献

本文主要经过研制真空微电子压力传感器进行了基础理论和场致发射理论研究;提出了台阶阵列、阴极-敏感薄膜新的机制;进行了计算机模拟场致发射计算和敏感薄膜厚度的模拟计算;进行了单栅极和双栅极的研制;进行了封装测...

陈绍凤 夏善红... 中国电子学会第七届学术年会论文集 2001-07-01 中国会议

关键词: 真空微电子 / 场致发射 / 台阶阵列 / 敏感膜

下载(30)| 被引(0)

一种新型真空微电子压力传感器的研制  CNKI文献

采用各向异性腐蚀与各向同性腐蚀相结合的技术和特殊的硅 -硅键合技术 ,成功地研制出了一种新型真空微电子压力传感器。测试分析结果表明 ,该传感器反向击穿电压达到 1 0 0 V;在加 3V正向电压时 ,其单个锥...

张正元 徐世六... 微电子学》 2001年02期 期刊

关键词: 微电子传感器 / 真空压力传感器 / 锥尖 / 真空微腔

下载(132)| 被引(13)

阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究  CNKI文献

该文提出了“阴极-敏感薄膜复合”结构的新型真空微电子压力传感器,并研制出了“阴极-敏感薄膜复合”结构,对硅薄膜在外力作用下产生的形变及其应力分布进行了计算机模拟计算,并讨论了薄膜结构参数对其敏感特性...

陶新昕 夏善红... 《电子与信息学报》 2001年01期 期刊

关键词: 真空微电子 / 压力传感器

下载(63)| 被引(4)

场发射压力传感器的研究进展  CNKI文献

对现有场发射压力传感器的各种结构形式和研究现状进行了综合比较 ;从压力测量范围、阴极发射电流强度及阴阳极对准键合等方面分析传感器的改进途径 ;讨论了在阴极发射体阵列上淀积纳米硅薄膜 ,提高...

廖波 林鸿溢... 真空科学与技术》 2000年06期 期刊

关键词: 场发射 / 压力传感器 / 纳米硅薄膜

下载(116)| 被引(11)

真空微电子压力传感器阵列与薄膜铂电阻温度传感器  CNKI文献

真空微电子压力传感器是一种新型的压力传感器,具有灵敏度高、温度稳 定性好、体积小、抗辐射、制备过程与汇工艺相兼容等优点,在航空航天、 汽车、机器人等领域有着很好的应用前景...

苏杰 导师:夏善红 中国科学院电子学研究所 2000-06-01 硕士论文

关键词: 真空微电子 / 压力传感器 / 温度传感器

下载(638)| 被引(2)

纳米硅薄膜场发射压力传感器特性研究  CNKI文献

场发射压力传感器是在新兴的真空微电子技术发展中诞生的一种新型传感 器,具有灵敏度高、耐高低温、抗辐射、体积小等优点,在众多领域有着广泛 的应用前景。本文详细介绍了纳米硅薄...

刘金华 导师:张敬平 山东师范大学 2000-05-01 硕士论文

关键词: 场发射 / 压力传感器 / 硅尖阵列 / 纳米硅薄膜

下载(286)| 被引(0)

新型真空微电子压力传感器特性研究和实验制作  CNKI文献

本文提出并研究了新型的“台阶阴极”和“曲面阴极”真空微电子压力传感器,与普通的真空微电子压力传感器相比,新型传感器的阴极发射电流大大提高,使得输出信号易于检测,抗噪声能力增强,并在改...

夏善红 刘加... 《半导体学报》 1997年12期 期刊

关键词: 新型传感器 / 阴极发射电流 / 敏感膜 / 特性研究

下载(95)| 被引(8)

真空微电子压力传感器真空腔封接技术研究  CNKI文献

真空腔的密封是真空微电子器件制作的工艺难点,目前国内外有关的文献报道报少,本文研究了真空微电子压力传感器的真空封接技术,文中阐述采用硅-二氧化硅键合技术完成真空微电子压力传感器阴阳极与绝缘层封接的工艺原理...

陶新昕 夏善红... 中国电子学会真空电子学分会第十一届学术年会论文集 1997-08-20 中国会议

关键词: 硅一硅键合(SDB) / 真空微电子 / 压力传感器

下载(20)| 被引(0)

台阶阵列阴极真空微电子压力传感器研究  CNKI文献

本文提出并研究了一种新型台阶阵列阴极真空微电子压力传感器。与平面阵列阴极真空微电子压力传感器相比,该传感器在扩展量程和提高灵敏度方面有较大的潜力。作者展示了计算机模拟计算结果和部分实...

夏善红 崔大付... 《功能材料与器件学报》 1996年03期 期刊

关键词: 真空微电子 / 压力传感器 / 台阶阵列阴极

下载(41)| 被引(1)

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