基于单量子点修饰微金字塔光纤探针的扫描近场光学显微镜研...  CNKI文献

扫描近场光学显微术(Scanning Near-field Optical Microscopy,SNOM)是一种基于扫描探针的光学显微技术,其核心思想是用一个亚波长直径尖端的探针,将光近场的高空间频率分量转换为可探测的远场信号,从而实现超分辨的光...

杨玉龙 导师:张伟华 南京大学 2020-05-27 硕士论文

石英音叉陀螺芯片工艺误差的影响分析  CNKI文献

加工高质量的石英音叉需要解决工艺误差导致的机械耦合误差及频率漂移等问题。使用测量显微镜对石英音叉驱动叉指的长度和宽度在主要工艺过程中的变化进行了测量,其中以石英音叉化学腐蚀引入的尺寸...

路文一 崔芳... 《微细加工技术》 2008年05期 期刊

石英音叉微细加工若干问题探讨  CNKI文献

采用基于半导体工艺的光刻、化学腐蚀等微细加工方法在石英晶体基片上批量制作石英音叉。化学腐蚀石英音叉时,叉指的一个侧面中央有棱角,腐蚀速率先慢后快有利于棱角的消除,但去掉棱角...

唐琼 崔芳... 《微细加工技术》 2004年02期 期刊