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TiN及其掺杂/复合薄膜的制备与研究  CNKI文献

随着全球能源问题的日益突出和人们的环保意识的提高,开发新型的节能环保材料迫在眉睫。低辐射镀膜玻璃作为一种新型建筑材料,在降低建筑能耗方面具有重要作用。本文以应用广泛的TiN薄膜为研究对象,主要研...

马群超 导师:史新伟 郑州大学 2019-05-01 硕士论文

关键词: TiN薄膜 / 磁控溅射 / 掺杂 / 多层复合膜

下载(208)| 被引(1)

磁控溅射制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜及其光电...  CNKI文献

透明导电薄膜在太阳能电池、电磁屏蔽、发光与显示等领域有着广泛的应用。目前,锡掺氧化铟薄膜(ITO)占据着透明导电薄膜市场的主导地位,但由于金属铟价格不断增长以及ITO的机械脆性,已经无法满足市...

李化鹏 导师:马剑钢 东北师范大学 2018-05-01 硕士论文

关键词: AZO/Ag/AZO / 氧等离子体处理 / 超薄Ag层 / 低辐射

下载(311)| 被引(2)

PTFE/ZrAlN/Ag/ZrAlN薄膜的制备及性能研究  CNKI文献

节能减排是目前人类解决环境污染最为有效的途径之一,建筑能耗占到了社会总能耗的三分之一;同时建筑能耗密切关系到人类的生产与生活,随着城市的发展和人类社会科技的进步,建筑能耗持续上升。为了解决建筑能耗问题,窗...

苏俊 导师:黄佳木 重庆大学 2018-04-01 硕士论文

关键词: 磁控溅射 / ZrAlN / 低辐射玻璃 / PTFE

下载(90)| 被引(0)

可热弯低辐射膜系的设计与研究  CNKI文献

本文采用先进的中频磁控溅射技术及合理的工艺配置制备了可热弯低辐射薄膜,对Low-E膜系结构和制备工艺进行了研究,通过生产试验和检测,找到最佳阻挡层工艺参数。以上研究在连续生产线设备上进行,与生产要...

施玉安 《门窗》 2017年06期 期刊

关键词: 低辐射薄膜 / 中频磁控溅射 / 可热弯

下载(44)| 被引(1)

WAlN/Ag/WAlN薄膜的制备及性能研究  CNKI文献

环境污染和能源危机是二十一世纪社会经济实现可持续发展的一大挑战。随着人口增长和城市化进程的加速,建筑能耗将持续增长。低辐射镀膜玻璃因其能反射具有太阳光热量90%的红外线和紫外线,同时对可见光有较高的...

张易君 导师:黄佳木 重庆大学 2017-04-01 硕士论文

关键词: 磁控溅射 / WAlN薄膜 / 透光率 / 辐射率

下载(70)| 被引(0)

NbSiN薄膜的制备及光学性能研究  CNKI文献

采用射频磁控溅射法,以铌靶和硅靶为靶材,在玻璃基片上沉积了NbSiN薄膜。研究了硅靶、铌靶功率、氮气流量以及溅射时间对薄膜光学性能的影响,得出实验室条件下的最佳制备工艺参数。测试结果表...

张易君 张粞程... 《激光与光电子学进展》 2017年03期 期刊

关键词: 薄膜 / 光学性能 / 磁控溅射 / NbSiN薄膜

下载(105)| 被引(5)

TaAlN/Ag/TaAlN低辐射薄膜的制备及性能研究  CNKI文献

低辐射玻璃具有很高的远红外反射率和可见光透过率,既能满足室内的采光度又能有很好的节能效果。随着低辐射玻璃在建筑物中的广泛应用以及对低辐射薄膜的深入研究,低辐射薄膜的稳定性逐渐成为...

胡戈陶 导师:黄佳木 重庆大学 2016-05-01 硕士论文

关键词: 低辐射 / 光学性能 / TaAlN / 磁控溅射

下载(143)| 被引(1)

Si_(1-x)Al_xN/Ag/Ta低辐射薄膜制备及性能研究  CNKI文献

环境污染和能源危机为二十一世纪制约社会经济可持续发展的难题之一。随着城镇化建设进程的加速,建筑能耗将持续增长,具有节能降耗作用的低辐射玻璃成为研究热点之一。当前对该领域的研究着重于从膜层结构和材...

香承杰 导师:黄佳木 重庆大学 2014-04-01 硕士论文

关键词: 氮化铝硅 / 磁控溅射 / 种子层 / 表面粗糙度

下载(184)| 被引(2)

低辐射/热致变色复合功能玻璃的研究  CNKI文献

窗玻璃是影响建筑节能效果的关键因素之一,建筑能耗的50%是因建筑玻璃节能效果差导致的,因此,研发高性能的节能建筑玻璃对建筑节能乃至对全球低碳经济的发展具有非常重要的意义。低辐射镀膜玻璃对远红外光具有良好的辐...

赵修建 储新宏... 2013全国玻璃科学技术年会论文集 2013-05-18 中国会议

关键词: 低辐射薄膜 / 热致变色膜 / 磁控溅射 / 双功能镀膜玻璃

下载(145)| 被引(0)

银系红外低辐射膜的结构与光学性能分析  CNKI文献

采用直流磁控溅射法在玻璃基底上镀制了银系红外低辐射薄膜,实验结果表明,设计良好的多层薄膜在远红外区比单层银膜具有更好的反射性能,所制备薄膜的可见光透过率已达80%以上、远红外波段#~

蔡彬 辛荣生... 《太阳能学报》 2012年11期 期刊

关键词: 磁控溅射 / 银膜 / 低辐射 / 可见光透过率

下载(133)| 被引(5)

低原子序数材料窄带多层膜的研制  CNKI文献

为研制极紫外波段窄带多层膜反射镜,采用低原子序数材料组合设计了30.4 nm波长处Mg/SiC,Si/SiC,Si/B4C和Si/C多层膜反射镜,并与极紫外波段传统的Mo/Si多层膜反射镜进行对比。采用直流磁控溅射技术制备了这些多层...

吴文娟 朱京涛... 《强激光与粒子束》 2012年08期 期刊

关键词: 多层膜 / 带宽 / 低原子序数材料 / 磁控溅射

下载(47)| 被引(2)

TiAlN/Ag/TiAlN低辐射薄膜的制备及性能研究  CNKI文献

低辐射薄膜玻璃因其能够反射红外线和紫外线,同时对可见光也有较好的透过率等优点,在建筑节能窗用玻璃中得到大量广泛的应用。为进一步提高低辐射玻璃的隔热保温性能及可见光透过率,本文采用磁控溅

吴萌 导师:黄佳木 重庆大学 2012-05-01 硕士论文

关键词: 低辐射 / 光学性能 / TiAlN / 磁控溅射

下载(554)| 被引(5)

磁控溅射TaN_x/Ag/TaN_x低辐射复合膜的性能  CNKI文献

本文以银靶和钽靶为靶材,N2为反应气体,室温下采用射频磁控溅射法在玻璃基片上沉积TaNx/Ag/TaNx复合膜系。运用紫外可见分光光度计(UV-VIS)、表面轮廓仪、傅里叶红外光谱仪(FTIR)、X射线衍射(XRD)等仪器对薄膜的各项性...

吴萌 黄佳木... 2011中国功能材料科技与产业高层论坛论文集(第二卷) 2011-11-16 中国会议

关键词: 低辐射 / 透光率 / 化学稳定性 / 磁控溅射

下载(83)| 被引(2)

镀膜玻璃的生产工艺和膜层性能的研究  CNKI文献

科技的发展使世界能源危机日渐显露,人类也越来越重视节约能源,开始探索新的节能方式。在人类生产的很大空间中,建筑物需具备隔热保温和采光两大功能。而(Low-E)玻璃,具有极高的节能效果,符合当今低碳生活的要求。 ...

王春华 导师:王亮 大连海事大学 2011-06-15 硕士论文

关键词: 磁控溅射 / 低辐射薄膜 / 热反射薄膜 / 膜层性能

下载(1198)| 被引(6)

TiO_2/NiCr/Au-Ag/NiCr/TiO_2型复合膜的制备及其低辐射  CNKI文献

离线低辐射(Low-E)薄膜凭借其优秀的光谱选择性而广泛应用于建筑领域。但是却存在膜层厚度难以把握,功能层稳定性差、易氧化、与基底粘附力弱等问题。本文以Drude模型为基础,使用特性矩阵计算TiO2/NiCr/A...

蔡彬 导师:贾晓林 郑州大学 2011-05-01 硕士论文

关键词: Ti0_2NiCr/Au-Ag/NiCr/TiO_2型复合膜 / 低辐射性能 / 磁控溅射 / Au-Ag合金膜

下载(297)| 被引(1)

磁控溅射法镀制红外低辐射膜的研究进展  CNKI文献

本文介绍了采用磁控溅射法在玻璃和柔性衬底上镀制红外低辐射薄膜的研究进展。根据国内外的研究现状,对薄膜的节能原理、制备方法、膜层结构及其光学、热学性能进行了综述,较详细地论述了目前

辛荣生 林钰 《真空》 2008年05期 期刊

关键词: 低辐射薄膜 / 磁控溅射 / 可见光透过率 / 红外反射

下载(384)| 被引(12)

银系低辐射薄膜(Low-E膜)的研究  CNKI文献

20世纪70年代以来,世界能源危机日渐显露,人类愈加意识到节约能源的重要性,节能作为国家战略问题已引起各国高度重视,各种探讨节能方法和发明节能产品的科学工作也因此进入了一个崭新的时期。而近几年低辐射

郭煌 导师:王德苗 浙江大学 2007-05-01 硕士论文

关键词: 低辐射 / 光学性能 / TiO_2系 / 磁控溅射

下载(644)| 被引(11)

射频反应磁控溅射制备低辐射薄膜  CNKI文献

采用射频反应磁控溅射法制备了低辐射薄膜。对低辐射膜的薄膜结构的设计和测试结果表明:较合适的膜层结构是空气/二氧化钛/钛/银/二氧化钛/玻璃基片的多层结构。用扫描电镜分析了保护层钛层的...

金炯 董树荣... 《真空科学与技术学报》 2006年01期 期刊

关键词: 低辐射薄膜 / 射频磁控溅射 / 保护层 / 多层膜

下载(349)| 被引(22)

低辐射薄膜的制备与性能研究  CNKI文献

玻璃作为建筑业常用材料,与国民生产息息相关,玻璃的性质直接影响着人们的生活。 一般的玻璃,辐射率很高,对光谱无选择性,致使普通玻璃因保温性能差而成为建筑物能耗的主要泄漏源,从玻璃泄露的热...

金炯 导师:王德苗 浙江大学 2006-01-13 硕士论文

关键词: 低辐射 / 薄膜 / 光学特性 / 射频

下载(558)| 被引(4)

氧流量和热处理温度对锡酸锌薄膜结构的影响  CNKI文献

本文采用锌锡质量比为52:48的Zn-Sn合金靶,利用中频交流反应磁控溅射方法,制备了锡酸锌(Zn2SnO4)晶体薄膜。考察比较了氧流量和热处理温度对锌锡合金氧化物薄膜晶体结构的影响,确定了制备晶态Zn2Sn...

杨波 张弓... 《真空科学与技术学报》 2005年05期 期刊

关键词: 锡酸锌 / 薄膜 / 磁控溅射 / 氧流量

下载(143)| 被引(4)

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