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铬过渡层对氮化铬/镁合金膜基界面结合强度的影响  CNKI文献

为了提高磁控溅射氮化铬膜与镁合金基底的结合强度,在两者之间以不同工艺溅射沉积铬过渡层,分析并讨论了铬过渡层对膜基界面结合强度的影响及其机制。结果表明,在镁合金/氮化铬之间增加铬过渡层可提...

刘瑞霞 郭锋... 《金属热处理》 2021年01期 期刊

关键词: 镁合金 / 磁控溅射 / 氮化铬膜 / 铬过渡层

下载(92)| 被引(1)

磁控溅射沉积氮化铬薄膜的氮含量性能影响  CNKI文献

在镍基底表面采用中频孪生靶反应磁控溅射的方式制备氮化铬薄膜。并且对所制备氮化铬薄膜的相结构、表面形貌、显微硬度、耐磨性、附着力和耐腐蚀性进行系统的研究。通过实验测试结果表明,氮/氩流量比的增加,CrN_x薄膜...

朱惠钦 潘又铭... 第四届粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2020年广东省真空... 2020-11-26 中国会议

关键词: 磁控溅射 / 氮化铬薄膜 / 孪生靶

下载(39)| 被引(0)

高功率脉冲磁控溅射在镇板上制备CrN涂层  CNKI文献

采用高功率脉冲(HiPIMS)磁控溅射制备的氮化铬涂层,即使在低温(镀膜温度小于100℃)下,涂层也具有最高的纳米硬度22GPa;膜层致密,缺陷少;涂层的Cr:N原子比接近理想的1:1比例;具有较低的摩擦系数约0.4和较高的耐磨损能力...

李志方 第四届粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2020年广东省真空... 2020-11-26 中国会议

关键词: 镍片 / 高功率脉冲(HiPIMS)磁控溅射 / 氮化铬(CrN)涂层 / 耐磨损

下载(36)| 被引(0)

基材偏压对中频磁控溅射氮化铬薄膜微观结构和性能的...  CNKI文献

采用中频磁控溅射系统在手机不锈钢装饰件上沉积氮化铬薄膜,利用X射线衍射、扫描电镜、纳米压痕仪和球盘摩擦仪考察了基材偏压对薄膜微观结构、沉积速率、显微硬度和摩擦性能的影响。结果表明:氮化铬

万松峰 《电镀与涂饰》 2020年21期 期刊

关键词: 氮化铬 / 中频磁控溅射 / 基材偏压 / 微观结构

下载(77)| 被引(0)

用HVAF+PVD复合技术替代镀铬技术处理钛合金表面的研究  CNKI文献

采用空气超音速喷涂(HVAF)和物理气相沉积(PVD)技术依次在TC2钛合金表面制备了WC–20Cr_3C_2–7.5Ni和CrN复合涂层。与镀铬层相比,复合涂层未出现纵向裂纹,结合强度分布在64~76 MPa之间,高于镀铬层的12~20 MPa,表面...

李成龙 詹华... 《电镀与涂饰》 2020年20期 期刊

关键词: 钛合金 / 碳化钨-碳化铬-镍 / 空气超音速喷涂 / 氮化铬

下载(79)| 被引(1)

直流和高功率磁控溅射制备氮化铬薄膜及其结构...  CNKI文献

目的比较直流磁控溅射(DCMS)和高功率磁控溅射(HiPIMS)两种沉积技术制备的氮化铬(Cr N)薄膜的结构和性能。方法采用DCMS和HiPIMS沉积技术,在金属镍(Ni)基底上沉积Cr N薄膜,采用X射线衍射(XRD)、扫描...

李倩 李花... 《表面技术》 2019年09期 期刊

关键词: 氮化铬 / 直流磁控溅射 / 高功率磁控溅射 / 结构

下载(191)| 被引(2)

等离子体增强磁控溅射渗氮及氮化铬涂层制备  CNKI文献

本文采用等离子体增强平衡磁控溅射技术,在高速钢表面进行渗氮处理,通过控制氮气流量、基体偏压、渗氮时间,研究高速钢表面渗氮层的厚度、组织形貌及力学性能;采用等离子体增强平衡磁控溅射技术,在不锈钢...

李富强 导师:李胜利 辽宁科技大学 2019-03-01 硕士论文

关键词: 等离子体 / 渗氮 / 磁控溅射 / 氮化铬涂层

下载(179)| 被引(0)

H13刃具钢的表面涂层强化  CNKI文献

本文采用等离子体增强平衡磁控溅射技术在H13刃具钢表面制备硬质涂层,以达到刃具表面强硬化的目的。在H13刃具钢表面制备了不同基体偏压、不同热丝放电电流及不同靶电流的CrN涂层。利用扫描电镜观察了涂层的组织...

赵志伟 导师:周艳文 辽宁科技大学 2019-03-01 硕士论文

关键词: 磁控溅射 / 氮化铬 / 等离子体增强

下载(54)| 被引(1)

冷轧圆盘剪表面强化工艺研究  CNKI文献

本文旨在研究冷轧圆盘剪表面强化工艺,以延长圆盘剪寿命,提高产品质量。通过磁控溅射工艺制备氮化铬涂层,考察不同工艺参数制备氮化铬涂层对冷轧圆盘剪表面强化的影响。采用激光淬火工艺,考察不同激...

李世新 导师:乔军 辽宁科技大学 2019-02-18 硕士论文

关键词: 磁控溅射 / 氮化铬涂层 / 激光淬火 / 微观组织

下载(65)| 被引(3)

SKH51钢表面渗氮及热丝增强等离子体磁控溅射制备#~  CNKI文献

实验基于同一台热丝增强等离子体平衡磁控溅射镀膜机,在SKH51高速钢基体上分别实现等离子体渗氮和沉积氮化铬涂层,最后初步实现了渗氮镀膜一体化。在SKH51钢基体渗氮的实验中,主要研究渗氮时间与热丝放电...

高健波 导师:周艳文 辽宁科技大学 2018-03-01 硕士论文

关键词: 渗氮层 / 氮化铬涂层 / 复合处理 / 等离子体增强

下载(120)| 被引(0)

铬系光谱选择性吸收涂层的设计、制备及性能表征  CNKI文献

采用反应磁控溅射方法制备二氧化硅,金属铝,金属铬,不同氮含量的氮化铬,不同氮氧比的氮氧化铬单层薄膜;通过光谱椭偏测试分析与X射线光电子能谱分析获得单层薄膜在300~2500 nm波段的折射率与消光系数,氮化铬及氮氧化铬...

孙志强 刘静... 2017年全国玻璃科学技术年会论文集 2017-08-27 中国会议

关键词: 光谱选择性吸收涂层 / 反应磁控溅射 / 金属氮氧化物

下载(49)| 被引(0)

等离子体增强平衡磁控溅射制备硬质涂层及钢表面渗氮  CNKI文献

本文采用等离子体增强平衡磁控溅射技术进行钢表面渗氮以及硬质涂层的制备。本文研究大致可分为氮化铬涂层制备、氮化钛涂层制备、奥氏体不锈钢表面渗氮、氮化钛硅涂层制备四部分。在氮化

李坤鹏 导师:周艳文 辽宁科技大学 2017-03-01 硕士论文

关键词: 氮化铬 / 氮化钛 / 渗氮层 / 等离子体增强

下载(170)| 被引(1)

峰值功率对高功率脉冲磁控溅射氮化铬薄膜力学性能的...  CNKI文献

目的采用高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)制备力学性能优良的氮化铬薄膜。方法采用HIPIMS技术,利用铬靶及氩气、氮气,在不同峰值功率(52.44,91.52,138 k W)下沉积了氮化铬薄膜。采用X射线衍射技术(XRD)...

王愉 陈畅子... 《表面技术》 2017年01期 期刊

关键词: 高功率脉冲磁控溅射 / 峰值功率 / 氮化铬 / 薄膜

下载(206)| 被引(5)

CrN/DLC复合薄膜的制备及其摩擦学性能研究  CNKI文献

采用阴极电弧离子镀技术沉积了厚度为16μm左右的CrN膜层,然后在其上以阴极电弧+磁控溅射+阳极层离子源复合技术沉积了厚度约3μm的类金刚石(DLC)膜层,分别用扫描电镜、显微硬度计、划痕仪、摩擦磨损试验仪分析...

李福球 林松盛... 《电镀与涂饰》 2017年01期 期刊

关键词: 氮化铬 / 类金刚石 / 复合薄膜 / 阴极电弧离子镀

下载(236)| 被引(7)

氮流量对孪生靶磁控溅射沉积氮化铬薄膜性能的...  CNKI文献

采用中频孪生靶反应磁控溅射在金属镍基底上制备氮化铬薄膜。利用X射线衍射仪、显微硬度计、扫描电子显微镜、原子力显微镜、磨擦磨损试验仪和电化学工作站等系统研究了氮气流量(即氮/氩流量比)对薄膜的相...

袁燕 李花... 《真空科学与技术学报》 2016年12期 期刊

关键词: 磁控溅射 / 氮化铬薄膜 / 氮流量比 / 孪生靶

下载(183)| 被引(1)

高功率脉冲磁控溅射峰值功率对纯铬及氮化铬薄...  CNKI文献

高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)技术具有较高的靶材峰值功率和较低的占空比,能使靶材原子高度离化,从而产生具有高能量的离子。在薄膜沉积过程中,大量高能离子轰击薄膜,使所沉积薄膜的性能(如硬度、结合强度、耐磨...

王愉 导师:冷永祥 西南交通大学 2016-05-01 硕士论文

关键词: HIPIMS / 峰值功率 / 离化率 / 纯Cr薄膜

下载(265)| 被引(0)

等离子体增强磁控溅射法制备CrN薄膜工艺及其性能的研...  CNKI文献

磁控溅射制备技术是近些年来迅速发展的一种材料表面改性的重要手段之一,具有低温、低成本、高效率等特点,并具备实现工业化生产的发展前景和广泛应用于各种化合物薄膜的沉积与制备。随着现代工业的发展,传统工...

王明磊 导师:周艳文 辽宁科技大学 2016-01-01 硕士论文

关键词: 等离子体 / 磁控溅射 / CrN薄膜

下载(420)| 被引(1)

磁控溅射GrNx薄膜缺陷形成原因研究  CNKI文献

PVD物理气相沉积技术是一种无污染、无公害的镀膜技术,被广泛应用于耐蚀、耐磨、高硬质薄膜制备。磁控溅射技术因其具有基片温升低、溅射速率快两大突出优点,在模具、刀具、建筑装饰行业等广泛应用。CrNx...

李花 导师:杨丽珍 北京印刷学院 2015-12-01 硕士论文

关键词: CrNx薄膜 / 氮分压 / 偏压 / 靶功率

下载(154)| 被引(0)

工艺参数对CrNx涂层性能的影响  CNKI文献

采用直流磁控溅射技术制备了氮化铬(CrNx)涂层,研究了制备CrNx涂层的工艺参数对所制备的CrNx涂层的膜基结合力及力学性能的影响。研究结果表明:工艺参数对CrNx涂层性能的影响不成各向同性关系;在较低的N_...

宋慧瑾 鄢强... 《高技术通讯》 2015年03期 期刊

关键词: 氮化铬(CrNx) / 涂层 / 工艺参数 / 直流磁控溅射

下载(59)| 被引(0)

孪生磁控溅射制备氮化铬涂层的研究  CNKI文献

主要研究了孪生磁控溅射技术制备不同含氮量的CrNx涂层,以及N2流量对涂层组织、结构性能、耐腐蚀性能的影响。试验设备采用自行研制的MSP-1000复合离子镀膜机,配置了四对孪生磁控溅射靶和对称双极性脉冲中...

尹星 沈丽如... 《真空科学与技术学报》 2013年12期 期刊

关键词: 中频磁控溅射 / CrN涂层 / 耐腐蚀性能 / 腐蚀电位

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