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溅射沉积Cu/Mo纳米多层膜结构与性能研究  CNKI文献

近年来,随着微电子器件、微机械系统(MEMS)及互连材料领域的飞速发展,Cu/Mo纳米多层膜及复合薄膜广受关注。铜具有良好的导电及导热性能,而钼则具有高熔点、较大密度、高强度及较低的热膨胀系数等特点,因此C

刘国涛 导师:孙勇 昆明理工大学 2012-04-01 硕士论文

关键词: 磁控溅射 / Cu/Mo纳米多层膜 / 显微硬度 / 弹性模量

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磁控溅射Cu/Mo纳米多层膜的结构与性能  CNKI文献

磁控溅射法在单晶硅和聚酰亚胺衬底上制备了恒定调制比(η=1)、调制周期λ=10~100 nm的Cu/Mo纳米多层膜,运用XRD,HRTEM,EDX,AFM,单轴拉伸系统、显微硬度仪和电阻仪对多层膜的微观结构、表面形貌...

郭中正 孙勇... 《稀有金属》 2012年01期 期刊

关键词: Cu/Mo纳米多层膜 / 调制周期 / 屈服强度 / 显微硬度

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