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红外器件钝化膜专用磁控溅射系统研制及验证  CNKI文献

为了探讨红外器件钝化膜工艺专用磁控溅射系统的设计,通过分析红外器件钝化膜工艺特性,采用多腔群集式结构、多梯度真空等设计优化了专用磁控溅射系统,实现了8英寸范围内高均匀性薄膜沉积和基片...

佘鹏程 龚俊... 《技术与市场》 2022年11期 期刊

关键词: 红外器件 / 钝化膜 / 磁控溅射 / 多腔群集式

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氧化铟锡(ITO)薄膜溅射生长及光电性能调控  CNKI文献

目的 选取影响氧化铟锡(ITO)薄膜生长关键的3种参数,即薄膜生长的氧气流量、薄膜厚度和热处理退火,系统研究其对ITO薄膜光学和电学性能的影响规律。方法 采用直流溅射法,在氩气和氧气混合气氛中溅射...

雷沛 束小文... 《表面技术》 2022年08期 期刊

关键词: 氧化铟锡薄膜 / 磁控溅射法 / 薄膜结构 / 热处理

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真空磁控溅射温度对Ga_2O_3微观结构及光学性能的影...  CNKI文献

采用高真空射频磁控溅射法在硅Si(111)衬底上沉积氧化镓(β-Ga_2O_3),开展了溅射温度对Ga_2O_3微观结构及光学性能影响的研究,利用X射线衍射、扫描电子显微镜、荧光光谱仪等测试手段对Ga_2O_3晶...

赵晶晶 刘丽华... 《发光学报》 2022年08期 期刊

关键词: 射频磁控溅射 / Ga_2O_3 / 结构性能 / 光学性能

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磁控溅射CuCrMo薄膜耐126kV 20kA电弧烧蚀性能  CNKI文献

提升真空断路器CuCr触头的抗电弧烧蚀能力是决定其能否应用于高压真空灭弧室的核心关键,尚未见有效触头材料或表面涂层改性技术使CuCr触头应用于126kV以上真空灭弧室的报道。基于CuCrMo薄膜的优异...

苗晓军 范艳艳... 《中国表面工程》 2022年04期 期刊

关键词: 磁控溅射 / CuCrMo / 电弧烧蚀 / 126kV真空断路器

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物理法制备燃料电池用催化剂  CNKI文献

质子交换膜燃料电池的不断进步,为目前的能源需求提供了一个有潜力的解决方案。当前的研究重点是提高性能和降低整体成本的制造技术。在膜电极(MEA)组件上的催化剂沉积在过去的几十年里有许多技术已被使用,主要分...

刘译阳 周小春 《太阳能学报》 2022年06期 期刊

关键词: 质子交换膜燃料电池 / 催化剂 / 物理气相沉积 / 干粉喷涂

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Micro-LED玻璃盖板表面多层可见光减反射膜的制备研究与工艺...  CNKI文献

Micro-LED具有高亮度、高对比度、低反馈时间、较长的使用寿命等特点,在显示、通讯、医疗及军事等领域具有广阔的应用前景。由于未经处理的Micro-LED玻璃盖板表面反射率较高,影响屏幕的对比度;大尺寸拼接时由于线路板...

万书宏 导师:林晶 哈尔滨商业大学 2022-06-08 硕士论文

关键词: Micro-LED / 磁控溅射 / 减反射膜 / 显微硬度

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磁控溅射制备类金刚石薄膜及性能研究  CNKI文献

类金刚石(DLC)薄膜具有低摩擦系数、良好的生物相容性、高电阻率等优异的性能,通过各种方法制备的DLC薄膜能够有效的提高材料的耐磨性、生物相容性、绝缘性。在过去的三十年中,诸多学者和科研人员对DLC薄膜性能进行了...

孙洪涛 导师:林晶 哈尔滨商业大学 2022-06-08 硕士论文

关键词: 磁控溅射 / DLC薄膜 / 梯度过渡层 / 硬度

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圆筒式柱面磁控溅射装置的电磁场仿真与设计  CNKI文献

磁控溅射是目前众多真空镀膜技术中具有显著优势的方法之一,与其他镀膜方式相比,这种技术在保证成膜质量的同时,可以有效提高沉积速度、降低工作温度,因此在学术科研和生产实践中被广泛关注。溅射靶...

杨欣蕾 导师:弥谦 西安工业大学 2022-06-01 硕士论文

关键词: 磁控溅射靶 / 等离子体特性 / 磁场强度分布 / 薄膜技术

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TiSiN/TaVN纳米多层膜结构调控与摩擦学性能研究  CNKI文献

在高速、干式等绿色切削加工中,载荷大(>1GPa)、加工硬化倾向大、切削区域温度高(>1000℃)、散热困难、刀具磨损严重等问题,严重制约了其加工效率和加工质量。而涂层技术为提高刀具硬度、耐磨性、加工效率等提供...

李春阳 导师:阎红娟 北方工业大学 2022-06-01 硕士论文

关键词: 磁控溅射 / TiSiN/TaVN纳米多层膜 / 结构 / 力学性能

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硒化银柔性热电复合薄膜制备及其热电性能的研究  CNKI文献

近些年来,随着智能可穿戴电子设备如无线耳机、智能眼镜、智能手表等在生活中越来越受欢迎,传统的电池供电方式已无法满足人们长期使用需求,市场迫切需要开发一种能满足可持续的供电技术。在众多新兴能源发电方法中,可...

赵亚欣 导师:张彦军 中北大学 2022-05-30 硕士论文

关键词: 柔性 / Ag_2Se / 真空过滤 / 丝网印刷

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聚合物基可穿戴柔性传感器的制备方法与性能研究  CNKI文献

作为物联网时代的产物,柔性可穿戴电子设备在个人与环境中扮演了重要的角色,在人机交互、柔性电子皮肤等领域具有广阔的应用前景。相较于传统的刚性集成电路器件,灵活柔韧的柔性可穿戴设备可以和人体表面完全贴合,从而...

李东泰 导师:孙靖尧 北京化工大学 2022-05-30 硕士论文

关键词: 微电子打印 / 空间限域强制组装法 / 磁控溅射 / 人机交互

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电子注入法对二氧化钒薄膜相变性能调控  CNKI文献

二氧化钒(VO_2)在68℃左右会发生显著且可逆的金属-绝缘体相变特性。这种相变将引起VO_2在电学、磁学和光学等性质发生跃变,且具有很强的开关效应,例如光学方面红外透射率的突变。因此,VO_2在相应领域内存在巨大的应用...

卢越 导师:王越 内蒙古大学 2022-05-28 硕士论文

关键词: 相变温度 / 电子注入法 / 第一性原理计算 / 磁控溅射

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直流/高功率脉冲磁控溅射制备金属薄膜微结构...  CNKI文献

铜(Cu)、钽(Ta)薄膜是集成电路互联结构中应用广泛、稳定性和可靠性强的功能材料。Cu薄膜具有优异的延展性、热稳定性、抗电迁移性和电爆性能,在半导体、电爆、新能源、光电、装饰等方面具有广阔应用前景。稳定α-Ta薄...

黄敏 导师:王红斌 西南科技大学 2022-05-01 硕士论文

关键词: DC/Hi / PIMS共溅射 / 铜薄膜 / 钽薄膜

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(AlTiZrVHf)N高熵合金氮化物薄膜微观结构与性能研究  CNKI文献

模具是机械制造领域不可或缺的组成部分,其中最主要的是Cr12Mo V模具钢。但因其硬度较低,造成磨损量增加和使用寿命降低。单一的成分调配和现有的膜层体系难以有效解决Cr12Mo V模具钢硬度不足的问题。高熵合金薄膜凭借...

张军鹏 导师:徐大鹏 西安工业大学 2022-05-01 硕士论文

关键词: 磁控溅射 / 硬质涂层 / 高熵合金 / 磨损机理

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虚拟样机技术在真空镀膜机设计中的应用  CNKI文献

现阶段,磁控溅射镀膜机广泛应用于工业镀膜。工业应用对薄膜参数要求不断提高,但由于国内镀膜机设计采用传统模式,主要结合大量经验公式进行设计,导致设计周期较长,无法满足镀膜机的应用需求。为解决上述问...

金昌度 《现代制造技术与装备》 2022年04期 期刊

关键词: 虚拟样机技术 / 真空镀膜机 / 仿真模型

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双靶共溅射沉积碳掺杂AlN薄膜的光学性能研究  CNKI文献

采用双靶共射频反应磁控溅射在单晶Si(100)和石英基底上制备了碳掺杂氮化铝(AlN)薄膜,探究碳含量对AlN薄膜光学性能的影响。发现铝靶和石墨靶双靶共溅射沉积时,所制备AlN薄膜中碳含量比单一铝靶

黄佳楠 陆文琪... 真空科学与技术学报》 2022年07期 期刊

关键词: 碳含量 / AlN薄膜 / 光学性能 / 磁控溅射

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Ti-Zr-V吸气剂薄膜在管道的制备与真空性能研究  CNKI文献

利用直流磁控溅射方法在单晶硅片和内径为22 mm、长度分别为500 mm和1500 mm的银铜管道内壁镀制了Ti-Zr-V非蒸散型吸气剂薄膜,并对镀膜管道的极限真空进行了测量。结果显示:在180℃下激活24 h后,镀制了...

朱邦乐 范乐... 《强激光与粒子束》 2022年06期 期刊

关键词: Ti-Zr-V薄膜 / 极限真空 / 磁控溅射 / 非蒸散型吸气剂薄膜

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全固态厚膜锂电池的研究  CNKI文献

近年来,全固态锂电池因其高安全性和高能量密度等优势得到了广泛关注。其中,全固态薄膜锂电池是目前唯一能够商业化的全固态锂电池,但由于高成本的正极制备工艺及较低的单体电池容量,仅适合应用在微电子器件领域。全固...

白洋 导师:李晶泽 电子科技大学 2022-04-15 硕士论文

关键词: 全固态电池 / 厚膜电池 / 锂电池 / 界面改性

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氢气等离子体处理Ga_2O_3及Ce掺杂Ga_2O_3薄膜的光电特性研...  CNKI文献

氢气等离子体由于具有刻蚀、辅助沉积、表面改性和改善结晶性能等而被广泛应用于薄膜器件的制备中,目前有关Ga_2O_3氢气等离子体处理的研究主要集中于块体材料,对薄膜的处理鲜有报道。本论文利用电容耦合H_2等离子体处...

杜经纬 导师:朱俊 内蒙古大学 2022-04-10 硕士论文

关键词: 氧化镓 / 氢气等离子体 / 射频磁控溅射 / 铈掺杂

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用改进灰关联法研究磁控溅射工艺参数对二氧化钛镀膜...  CNKI文献

磁控溅射中工艺参数对二氧化钛镀膜透过率和厚度有较大影响,传统工艺参数决策所采用的单一因素法忽略参数间的关联性。构建的改进灰关联度量化模型在基于数据绝对位置差异的传统灰关联模型的基础上,考虑了数据...

陈功 宗律... 《电镀与涂饰》 2022年06期 期刊

关键词: 二氧化钛薄膜 / 磁控溅射 / 透过率 / 厚度

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学术研究指数分析(近十年)详情>>

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