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纳米工程在轴承表面改性中的应用与展望  CNKI文献

介绍了纳米表面改性技术在轴承延寿方面的应用和进展情况。详细论述了化学表面薄膜纳米改性技术、轴承表面的离子束辅助沉积纳米膜技术、表面纳米晶化技术在轴承延寿技术中的应用情况、机理及...

葛世东 魏大忠... 《轴承》 2014年02期 期刊

关键词: 滚动轴承 / 表面改性 / 纳米表面工程

下载(236)| 被引(3)

正交试验法制备TiB_2/Si_3N_4纳米多层膜及其制硬机理...  CNKI文献

利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)结合正交试验法制备超硬TiB_2/Si_3N_4纳米多层膜,通过极差分析,在本实验选的调制周期变变量范围中,正交试验得到制硬的主要因素为调制比因素,相反调制周期对硬度的提高贡献最小。...

董磊 李德军 TFC'11全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集 2011-08-25 中国会议

关键词: 离子束辅助沉积 / TiB_2/Si_3N_4纳米多层膜 / 正交试验 / 调制比

下载(1)| 被引(0)

离子束辅助沉积法制备TiAlN/TiB_2纳米多层膜的...  CNKI文献

运用离子束辅助沉积法(IBAD)制备了一系列具有不同调制比例的TiAlN/TiB2纳米多层膜,利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和纳米压痕等表征手段研究了薄膜调制比例对其硬度、内应力和膜基结合力...

孙延东 颜景岳... 《天津师范大学学报(自然科学版)》 2011年03期 期刊

关键词: 离子束辅助沉积 / TiAlN/TiB2纳米多层膜 / 硬度

下载(99)| 被引(2)

调制周期、调制比、沉积温度对ZrB_2/W纳米多层膜  CNKI文献

利用离子束辅助沉积方法(IBAD)在室温和400℃下制备出了单质的ZrB2和W薄膜以及不同调制周期和调制比的ZrB2/W纳米超晶格多.通过XRD,SEM,表面轮廊仪及纳米力学试系统研究了沉积温度和调制周期...

刘孟寅 谭明... 《中国科学:技术科学》 2011年01期 期刊

关键词: 离子束辅助沉积 / 多层膜 / 调制周期 / 调制比

下载(250)| 被引(0)

TiB_2/Si_3N_4和TiB_2/c-BN纳米多层薄膜的设计及结构...  CNKI文献

本文旨在利用超高真空离子束辅助沉积与射频磁控溅射技术在Si(100)及A12O3 (111)基底上设计合成TiB2/Si3N4和TiB2/c-BN纳米多层膜。并通过一系列分析测试技术表征薄膜的结构特征和机械性能。揭示多层膜

董磊 导师:李德军 天津师范大学 2010-03-01 硕士论文

TiB_2/Si_3N_4纳米多层膜的制备及其结构和性能分析  CNKI文献

利用超高真空离子束辅助沉积(IBAD)系统,在225℃条件下,制备一系列TiB2/Si3N4纳米多层膜,通过X射线衍射(XRD)仪、表面轮廓仪、原子力显微镜(AFM)和纳米力学测试系统分析该体系合成中调制比对多层

董磊 刘广庆... 《天津师范大学学报(自然科学版)》 2010年01期 期刊

关键词: 离子束辅助沉积 / TiB2/Si3N4纳米多层膜 / 调制比 / 硬度

下载(154)| 被引(4)

正交试验法制备TiB_2/Si_3N_4纳米多层膜及其制硬机理...  CNKI文献

利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)结合正交试验法制备超硬TiB_2/Si_3N_4纳米多层膜,首先分别控制基底加热温度25℃,225℃,425℃;调制周期5nm,15nm,20nm;调制比(Si_3N_4:TiB_2) 1:3,1:6,1:9和过度层厚度0nm,30nm,60...

董磊 李德军 TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集 2009-08-15 中国会议

关键词: 离子束辅助沉积 / TiB_2/Si_3N_4纳米多层膜 / 正交试验 / 调制比

下载(34)| 被引(0)

离子束辅助沉积ZrB_2/AlN和ZrB_2/WN_x纳米多层膜  CNKI文献

本文利用超高真空离子束辅助沉积技术在Si(100)基底上设计合成ZrB_2/AlN和ZrB_2/W及ZrB_2/WN_x纳米多层膜。利用表面轮廓仪和纳米力学测试系统研究薄膜的机械性能,包括表面硬度、弹性模量以及薄膜与...

谭明 导师:李德军 天津师范大学 2009-03-01 硕士论文

关键词: 离子束辅助沉积 / 纳米多层膜 / 硬度 / 力学性能

下载(168)| 被引(0)

利用离子束辅助沉积技术合成ZrB2/AlN纳米多层膜  CNKI文献

纳米多层硬质薄膜的合成是目前材料科学和表面工程研究的热点之一,与单组分薄膜相比,纳米多层薄膜的硬度、韧性、抗氧化性能及耐腐蚀等机械性能和摩擦磨损性能明显改善,特别是过渡金属硼化物和氮化物本身就具有这方面...

谭明 曹猛... 第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论... 2008-10-01 中国会议

关键词: 离子束辅助沉积 / 纳米多层膜 / 硬度 / 轰击能量

下载(61)| 被引(0)

调制周期对ZrB_2/AlN纳米多层膜结构和机械性能的影响  CNKI文献

利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备了ZrB_2、AlN和一系列ZrB_2/AlN纳米多层膜,利用XRD、XP-2台阶仪、纳米力学测试系统表征了薄膜的微结构和机械性能,分析了调制周期对薄膜结构与机械性能的影响。结果表...

谭明 曹猛... 2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集 2008-10-01 中国会议

关键词: 离子束辅助沉积 / ZrB_2/AlN纳米多层膜 / 硬度 / 调制周期

下载(34)| 被引(0)

离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能...  CNKI文献

本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪,分析了束流和基底温度对薄膜的微结构和机...

曹猛 李强... 《真空科学与技术学报》 2008年S1期 期刊

关键词: 离子束辅助沉积 / ZrN/TiAlN纳米多层膜 / 硬度 / 离子束流

下载(219)| 被引(8)

离子束辅助沉积ZrN/TiAlN和CN_x/TiAlN纳米多层膜  CNKI文献

本文利用超高真空离子束辅助沉积技术在Si(100)基底上设计合成ZrN/TiAlN和CN_x/TiAlN纳米多层膜。利用表面轮廓仪和纳米力学测试系统研究薄膜的机械性能,包括表面硬度、弹性模量以及薄膜与基底的附...

曹猛 导师:李德军 天津师范大学 2008-03-01 硕士论文

关键词: 离子束辅助沉积 / 纳米多层膜 / 硬度 / 力学性能

下载(334)| 被引(5)

离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能...  CNKI文献

硬质薄膜的合成是目前材料科学研究的重要领域之一,与单组分薄膜相比, 纳米多层薄膜的硬度、韧性、抗氧化性能及耐腐蚀性能等明显较优,其中过渡族金属氮化物多层膜由于存在超模量效应和超硬效应而成为近年来薄膜研究的...

曹猛 李强... TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集 2007-08-01 中国会议

关键词: 离子束辅助沉积 / ZrN/TiAlN / 纳米多层膜 / 硬度

下载(38)| 被引(0)

ZrN/TiAlN纳米多层膜的制备及其结构与力学性能的研...  CNKI文献

本研究选用ZrN与TiAlN做为个体层材料,通过离子束辅助沉积技术制备了一系列条件不同的 ZrN/TiAlN纳米多层膜和ZrN、TiAlN单层薄膜。通过XRD、纳米力学系统以及多功能摩擦磨损试验仪研究了对薄膜的微结构、力学性能和...

曹猛 张学华... 中国真空学会2006年学术会议论文摘要集 2006-10-01 中国会议

关键词: ZrN/TiAlN纳米多层膜 / 离子束辅助沉积 / 硬度 / 耐磨性

下载(45)| 被引(0)

ZrN/TiAlN纳米多层膜的制备及其结构与性能的研究  CNKI文献

利用高真空离子束辅助沉积系统在室温下制备了 ZrN,TiAlN 和一系列 ZrN/TiAlN 纳米多层膜,利用 X 射线衍射仪、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪表征了薄膜的微结构和机械性能,分析了调制周期对薄膜结构与...

曹猛 张学华... 中国真空学会2006年学术年会论文集 2006-10-01 中国会议

关键词: 离子束辅助沉积 / ZrN/TiAlN / 纳米多层膜 / 硬度

下载(49)| 被引(0)

合成参数对ZrN/W和CrN/ZrN纳米多层膜的结构及其性能...  CNKI文献

纳米级的材料微观设计与制造技术是开发研制新材料的有效途径。本文分别使用离子束辅助沉积和非平衡直流磁控双靶交替反应溅射方法在Si(100)表面沉积了ZrN/W和CrN/ZrN纳米多层膜,并寻求材...

张晶晶 导师:李德军 天津师范大学 2006-04-01 硕士论文

关键词: 离子束辅助沉积 / 非平衡直流磁控溅射 / ZrN/W / CrN/ZrN

下载(184)| 被引(0)

氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜纳米组织结构的场发射扫描电...  CNKI文献

将“高分辨二次电子成分衬度成像原理”与“离子束锥形刻蚀处理样品的方法”相结合,利用高分辨场发射扫描电镜对室温下离子束辅助沉积制备的氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜层厚及其纳米组织结构进...

徐军 王立铎... 《电子显微学报》 1998年06期 期刊

关键词: 场发射扫描电镜 / 二次电子成分衬度 / 离子束锥形刻蚀

下载(249)| 被引(2)

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