立方氮化硼薄膜的形核与生长过程试验研究  CNKI文献

采用离子束辅助沉积法在硅片上成功制备了一定立方相含量的氮化硼薄膜,采用各种现代分析方法对沉积的薄膜进行了表征分析,包括傅立叶红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微...

蔡志海 张平... 《中国表面工程》 2005年06期 期刊

异质外延立方氮化硼薄膜的微结构研究  CNKI文献

利用离子束辅助沉积技术在金刚石薄膜衬底上制备立方氮化硼薄膜,傅立叶变换红外谱的结果表明,在高度(001)织构金刚石薄膜衬底上沉积的立方氮化硼薄膜是纯的立方相,而在多晶...

张兴旺 陈诺夫... 《电子显微学报》 2005年01期 期刊

离子束辅助沉积立方氮化硼的试验研究  CNKI文献

运用离子束辅助沉积(IBAD)法在硅片上制备了立方氮化硼(c-BN)薄膜, 研究了辅助能量、辅助束流及辅助束中氮气含量等参数对膜中c-BN含量的影响。用红外光谱(FTIR)及X射线光电子能...

谭俊 张平... 《核技术》 2003年05期 期刊

辅助镀膜离子源及立方氮化硼薄膜的制备...  CNKI文献

为选出合适的辅助离子源进行沉积制备c-BN薄膜,通过对高能和低能辅助镀膜离子源的重要性能进行比较研究之后,在单晶Si基体进行应用制备立方氮化硼薄膜,用红外光谱(FTIR)及光电子...

蔡志海 唐云... 《装甲兵工程学院学报》 2003年01期 期刊

离子束辅助沉积立方氮化硼的试验研究  CNKI文献

本文运用离子束辅助沉积法在硅片上制备了立方氮化硼薄膜 ,主要研究了辅助能量、辅助束流及辅助束中氮气含量等参数对膜中立方氮化硼 (c -BN)含量的影响。用红外光谱 (FTIR)及光...

谭俊 张平... 《核技术》 2002年09期 期刊

离子束辅助沉积立方氮化硼的试验研究  CNKI文献

本文运用离子束辅助沉积法在硅片上制备了立方氮化硼薄膜,主要研究了辅助能量、辅助束流及辅助束中氮气含量等参数对膜中立方氮化硼(c-BN)含量的影响。用红外光谱(FTIR)、及光电子能谱(XPS)分析技术对得到的c-BN膜进行...

谭俊 张平... '2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集 2001-11-01 中国会议