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硼缓冲注入层对氮化硼薄膜生长的影响  CNKI文献

采用射频磁控溅射法在注硼的硅和高速钢基体上沉积制备c-BN薄膜,采用红外光谱(Infrared spectra, IR)、X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectrum,XPS)和原子力显微镜(Atomic force microscopy,AFM)...

谭俊 蔡志海... 《核技术》 2006年02期 期刊

关键词: 立方氮化硼薄膜 / 高速钢基体 / 离子注入 / 射频磁控溅射

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高速钢基体离子注氮对c-BN薄膜制备的影响研究  CNKI文献

采用射频磁控溅射法在离子注氮的高速钢基体上沉积制备c-BN薄膜,主要研究离子注氮层对c-BN薄膜相结构和内应力的影响;采用各种现代分析方法对沉积的薄膜进行了表征分析,包括傅立叶红外光谱(F...

谭俊 蔡志海... 《真空》 2004年05期 期刊

关键词: 立方氮化硼薄膜 / 高速钢基体 / 离子注入 / 射频磁控溅射

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高速钢基体离子注硼对c-BN薄膜生长的影响  CNKI文献

本文采用射频磁控溅射法在离子注硼的硅和高速钢基体上沉积制备c-BN薄膜,采用各种现代分析方法对沉积的薄膜进行了表征分析,包括傅立叶红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(AFM)等分析方法;试验结果表...

谭俊 蔡志海... 2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集 2004-08-01 中国会议

关键词: 立方氮化硼薄膜 / 高速钢基体 / 离子注入 / 射频磁控溅射

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高速钢基体离子注入氮、硼对c-BN薄膜制备的影...  CNKI文献

本文采用射频磁控溅射法在离子注入氮、硼的高速钢基体上沉积制各c-BN薄膜,研究了不同成分的缓冲层对c-BN薄膜相结构和内应力的影响;采用各种现代分析方法薄膜进行了表征分析,包括傅立叶红外光谱(FTIR)和X射线光电子能...

谭俊 蔡志海... 第五届全国表面工程学术会议论文集 2004-04-01 中国会议

关键词: 立方氮化硼薄膜 / 高速钢 / 离子注入 / 射频磁控溅射

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高速钢基体注硼对cBN薄膜结合性能的影响  CNKI文献

在W6Mo5Cr4V2钢基体上反冲注入硼元素,用划痕试验测量cBN薄膜的临界载荷。结果表明,基体离子注入硼元素能够显著提高薄膜的临界载荷,最高时可达未注入时的近16倍,约为27.5N。随着注入剂量的增加,临界载荷呈上升趋势,在...

张平 蔡志海... 第五届全国表面工程学术会议论文集 2004-04-01 中国会议

关键词: 高速钢 / 反冲注入 / 立方氮化硼薄膜 / 结合力

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