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聚合物表面类金刚石膜的制备及其阻隔性研究  CNKI文献

类金刚石(diamond-like carbon,DLC)薄膜具有高硬度、高弹性模量、优异的减摩耐磨性能、良好的光透过性、较强的化学稳定性和生物相容性等优异的性能,在太空机械、加工模具、汽车、电子器件、光学、生物医...

雷加元 导师:成有为 浙江大学 2017-06-03 硕士论文

等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜  CNKI文献

利用脉冲辉光放电的方法,在硅片上采用不同的沉积工艺制备了含氢类金刚石膜层,并采用Raman光谱和X射线光电子能谱(XPS)对膜层进行表征.用Raman光谱仪在波长为325nm的紫外光源的激励下观察膜层的键结构.紫...

杨发展 沈丽如... 《物理学报》 2013年01期 期刊

关键词: 脉冲辉光放电 / 类金刚石膜 / Raman光谱 / X-射线光电子能谱

下载(349)| 被引(6)

RF-PECVD制备类金刚石膜的研究  CNKI文献

采用RF-PECVD法在锗(Ge)基片上沉积类金刚石(DLC)薄膜,研究了气体流量和气压对沉积区域均匀性的影响,以及基片厚度与沉积时间的关系。用拉曼光谱(Raman)分析DLC膜的结构组成,用傅立叶红外光谱仪(IR...

张华 杨坚... 《真空》 2012年04期 期刊

关键词: 类金刚石膜 / 射频等离子体增强化学气相沉积 / 厚度均匀性

下载(156)| 被引(2)

H13钢表面PN+PECVD复合处理工艺及性能的研究  CNKI文献

模具的失效大多是从表面开始,因此通过各种表面处理技术提高模具的表面性能,是延长模具使用寿命的有效手段。低温化学热处理以其工艺成本低廉,而在工业中应用广泛,但是其低的表面硬度还不能满足工业生产的需...

廖芳 导师:邱万奇 华南理工大学 2012-05-01 硕士论文

关键词: H13钢 / 离子渗氮 / 等离子体增强化学气相沉积 / Ti(CN)膜

下载(493)| 被引(3)

超高分子量聚乙烯表面沉积类金刚石膜的摩擦磨损性能  CNKI文献

利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术在超高分子量聚乙烯(UHMWPE)表面制备类金刚石(DLC)膜,用激光拉曼(Raman)光谱仪和扫描电子显微镜(SEM)分析了DLC膜的形貌及结构特征,纳米硬度法测定DLC膜...

孙彦敏 王庆良... 《中国表面工程》 2010年06期 期刊

关键词: UHMWPE / 类金刚石薄膜 / 等离子体增强化学气相沉积 / 摩擦磨损

下载(212)| 被引(9)

沉积在微纳米结构表面上的DLC薄膜疏水性能研究  CNKI文献

采用磁控溅射法沉积金属薄膜,退火后采用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD)和射频磁控溅射两种镀膜工艺在其上沉积类金刚石碳膜(DLC),研究其疏水性能。 首先分析总结了疏水表面的特征尺...

朱国明 导师:张以忱 东北大学 2010-06-01 硕士论文

关键词: 疏水薄膜 / 类金刚石膜 / 射频等离子体增强化学气相沉积 / 磁控溅射

下载(322)| 被引(3)

用PECVD制备类金刚石膜的研究  CNKI文献

本文以丁烷(C_4H_(10))和氩气(Ar)为源气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD)在硅衬底上制备了类金刚石(DLC)薄膜。通过调整射频功率、基板偏压、衬底温度和源气体流量等工艺参数,沉积

于玥 导师:付秀华 长春理工大学 2010-03-01 硕士论文

关键词: 等离子体增强化学气相沉积 / 类金刚石膜 / 工艺参数

下载(482)| 被引(5)

ICP-PECVD法制备类金刚石膜  CNKI文献

以CH4为放电气体,利用电感耦合等离子体化学气相沉积(ICP-PECVD)法制备了类金刚石薄膜,使用FTIR、AFM、台阶仪对薄膜进行了表征,并对薄膜的沉积过程进行了光谱诊断(OES).研究了射频功率和基底在放电...

孙丽 白杰... 《大连交通大学学报》 2009年02期 期刊

关键词: ICP-PECVD / 类金刚石膜 / 粗糙度 / 沉积速率

下载(196)| 被引(0)

射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜的结构及...  CNKI文献

以C2H2为碳源,Ar为辅助气体,利用射频等离子体化学气相沉积的方法在载玻片上成功地制备了类金刚石(DLC)薄膜。通过红外光谱分析了所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜分析了薄膜的表面形貌;通过表面轮廓...

杨莉 付亚波... 《包装工程》 2008年10期 期刊

关键词: PECVD / 类金刚石膜 / 结构分析 / 摩擦性能

下载(325)| 被引(5)

PECVD生长类金刚石薄膜的电学性质研究  CNKI文献

类金刚石膜(Diamond-like carbon),是一种非晶态的碳材料。由于具有许多同金刚石相近的性质,类金刚石膜技术已经在很多领域得到应用。掺杂的DLC膜作为一种半导体材料,其禁带宽度在1—4eV内可调,可以...

陈明文 导师:王辅明 厦门大学 2008-06-01 硕士论文

关键词: 类金刚石膜 / 拉曼 / 欧姆接触

下载(454)| 被引(2)

聚碳酸酯(PC)上沉积类金刚石膜的性能研究  CNKI文献

本课题采用射频等离子体增强化学气相沉积法和射频磁控溅射两种沉积方法在聚碳酸酯(PC)片上沉积类金刚石碳膜(DLC)。利用X射线衍射(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)和X射线光电子能谱(XPS)研究了不同条件...

王凤 导师:巴德纯 东北大学 2008-02-21 硕士论文

关键词: 聚碳酸酯 / 类金刚石膜 / 射频等离子体增强化学气相沉积 / 磁控溅射

下载(287)| 被引(7)

等离子体增强化学气相沉积法制备类金刚石膜及...  CNKI文献

在过去的二十年间,类金刚石(DLC)膜引起了工业和研究领域的浓厚兴趣。制备DLC膜的方法主要分为物理气相沉积法和化学气相沉积法。其中等离子体增强化学气相沉积法是近年世界上兴起的一项新的...

卞潇雨 导师:李德才 北京交通大学 2007-12-01 硕士论文

关键词: 等离子体增强化学气相沉积 / 类金刚石膜 / 纳米力学性能

下载(517)| 被引(2)

Ti/TiN/TiC/DLC固体膜润滑特性实验研究  CNKI文献

提出一种新型复合固体润滑膜,并讨论了该复合膜的结构和作用机理。复合结构的基本组成是传统硬质涂层TiN和TiC的结合,最上面的固体润滑膜是用射频等离子体增强化学气相沉积(RFPECVD)方法沉积类金刚石

李明 王凤... 《真空》 2007年05期 期刊

关键词: 固体润滑膜 / 磨损保护膜 / 类金刚石膜 / 等离子体增强化学气相沉积

下载(277)| 被引(10)

退火对氟化类金刚石膜结构及电学性能的影响  CNKI文献

以CF4和CH4为源气体,在不同的温度和功率下,使用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法制备氟化类金刚石(F-DLC)薄膜,并在Ar气中进行退火处理。利用椭偏仪、X射线衍射仪、傅里叶变换红外光谱(FTIR)、...

肖剑荣 徐慧... 《中南大学学报(自然科学版)》 2007年04期 期刊

关键词: F-DLC薄膜 / 介电常数 / PECVD / 退火

下载(124)| 被引(6)

含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究:(Ⅰ)sp结构与~...  CNKI文献

以CF4,CH4和N2为源气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积法,在不同功率下制备了含氮氟化类金刚石膜.用俄歇电子能谱、拉曼光谱、X射线光电子能谱和傅里叶变换红外光谱对薄膜的电子结构和化学键进...

肖剑荣 徐慧... 《物理学报》 2007年03期 期刊

关键词: 含氮氟化类金刚石膜 / sp结构 / 化学键结构 / 射频功率

下载(270)| 被引(8)

不锈钢表面掺硅类金刚石膜的制备、结构及性能  CNKI文献

类金刚石膜具备许多优异的性能,包括高耐磨性、低摩擦系数、热稳定性、红外透光性、高电阻、低介电常数、高疏水性以及生物相容性,使其适合许多领域的应用,因此引起了人们极大兴趣。通常类金刚石薄膜与金...

王立达 导师:刘贵昌 大连理工大学 2005-06-01 硕士论文

关键词: 等离子体增强化学气相沉积 / 磁控溅射 / 类金刚石膜 / 结合力

下载(694)| 被引(7)

类金刚石磁盘保护膜的性能、应用与制备  CNKI文献

类金刚石膜在磁盘和读写磁头之上形成一层关键的保护膜。磁存储密度的飞速发展可以使存储密度上限达到 1万亿字节 /英寸2 。这要求读写磁头距离磁盘更近 ,即需要一层仅 1nm~ 2nm厚的类金刚石薄膜。四面体...

丁万昱 高鹏... 《真空科学与技术学报》 2005年01期 期刊

关键词: 类金刚石 / 磁盘 / 磁过滤弧 / 等离子体增强化学气相沉积

下载(286)| 被引(16)

常温生长类金刚石薄膜的实验研究  CNKI文献

利用射频等离子体增强化学气相沉积 (RFPECVD)工艺在常温下实现在不锈钢、硅片、玻璃等基底上大面积沉积类金刚石 (DL C)膜。薄膜表面光滑致密 ,与衬底的结合力较高。用 Raman,FTIR,SEM,EDX研究了薄膜的形...

蔺增 巴德纯... 《真空》 2004年04期 期刊

关键词: 类金刚石膜 / 常温生长 / 等离子体增强化学气相沉积

下载(211)| 被引(5)

氟化类金刚石膜的制备、结构和性能的研究  CNKI文献

本文尝试了以CHF_3、CH_4/CHF_3和C_2H_2/CHF_3为源气体,利用微波ECR等离子体源离子注入技术和等离子增强化学气相沉积技术来制备氟化类金刚石膜的方法,并对DLC薄膜和FDLC薄膜的结构和性能进行...

张茹芝 导师:刘贵昌 大连理工大学 2004-06-01 硕士论文

关键词: 类金刚石 / 氟化类金刚石 / 等离子源离子注入 / 化学气相沉积

下载(388)| 被引(5)

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