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面向火星探测的CO_2工质射频离子推力器离子源性能研究  CNKI文献

火星是太阳系的行星之一,研究其磁场、大气、气候、构成以及地形地貌将有利于空间资源的开发和利用。CO_2是火星大气的主要成分,以CO_2为工质的电推进技术的研究对火星探测以及更远距离的深空探测具有重要意义。开展了...

杨谨远 张思远... 《真空与低温》 2022年01期 期刊

关键词: 火星探测 / 二氧化碳 / 射频离子推力器 / 离子源

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等离子体特性及其对钨的辐照行为研究  CNKI文献

本文依托四川大学直线等离子体装置(SCU-PSI)产生高通量氢等离子体,采用朗缪探针对氢等离子体特性进行诊断,研究了氢等离子体特性随放电电流、气体流量等输入条件的演变...

陈波 王宏彬... 《四川大学学报(自然科学版)》 2021年05期 期刊

关键词: 氢等离子体 / / 等离子体特性 / 辐照

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基于发射光谱的微波等离子化学气相沉积中的电子温度...  CNKI文献

在气压40~80 Pa和微波功率400~800 W条件下,使用光学发射光谱法(OES)对Ar、CH4等气体产生的等离子体进行电子温度诊断。实验结果表明,OES法测试得到的电子温度介于0.75 eV到4 eV之间。在含碳气体的微波...

陈驰 张朝阳... 《光子学报》 2021年09期 期刊

关键词: 电子温度诊断 / 微波等离子体 / 朗缪尔探针 / 发射光谱

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基于平面探针的大功率射频负离子源等离子体特...  CNKI文献

中性束注入(Neutral beam injection,NBI)由于加热效率高、物理机制清楚(可有效外推到大装置)成为磁约束核聚变主要的辅助加热和电流驱动的手段之一。射频源相比较与灯丝源有无灯丝升华污染、免维护的优点,此外负离子...

彭旭峰 导师:许永建 安徽大学 2021-06-01 硕士论文

关键词: 射频负离子源 / 朗缪尔探针 / 平面探针 / 等离子体参数

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基于朗缪探针和发射光谱的空心阴极羽流区~#...  CNKI文献

电推进因其喷气速度高可以大量节省在轨卫星的燃料,因此现已被广泛应用于升轨与离轨、阻力补偿和卫星组网等空间任务,寿命需求在几千到数万小时之间。空心阴极作为电子源与中和器,是现有两款主流电推进霍尔和离子推力...

Chepsarakov Sergei 导师:宁中喜 哈尔滨工业大学 2021-06-01 硕士论文

关键词: 空心阴极 / 朗缪尔探针 / 发射光谱 / 等离子体参数

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朗缪探针在射频离子源中的测量误差研究  CNKI文献

磁约束核聚变在反应过程中需要极高的温度,中性束注入加热是一种加热效率又高、原理又简单的辅助加热手段,在核聚变研究中经常使用。为实现中性束注入加热技术,射频离子源的研制十分关键,它是中性束注入加热过程中的重...

侯文琦 导师:阳璞琼 南华大学 2021-05-01 硕士论文

关键词: 朗缪尔探针 / 射频离子源 / 感性耦合 / 等离子体参数

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射频容性耦合Ar/O_2等离子体的轴向诊断  CNKI文献

实验通过朗缪探针辅助激光诱导解离技术对27.12 MHz驱动的不同含氧量条件下容性耦合Ar等离子体进行了诊断研究.通过质量流量计改变通入Ar与O_2的流量以得到不同含氧量的等离子体.结果...

操礼阳 马晓萍... 《物理学报》 2021年11期 期刊

关键词: 激光诱导解离技术 / 朗缪尔探针 / 电负性等离子体 / 电负度

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低气压衰亡等离子体调控装置研究  CNKI文献

离子引出过程是原子蒸气激光同位素技术的关键过程之一。对该过程进行模拟实验研究对于深入理解其中的粒子输运机制十分重要。本论文以此为研究背景,开展了低气压金属电弧等离子体射流电子温度的实验测量和用于...

闫东潇(Yan Dongoing) 导师:李和平 华北理工大学 2021-03-01 硕士论文

关键词: 金属等离子体 / 脉冲电源 / 电子温度测量 / 探针法

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朗缪探针诊断脉冲激光锡等离子体特性  CNKI文献

激光作用锡靶等离子体极紫外光转换效率与等离子体特性密切相关。为了对等离子体特性进行诊断,设计了一种用于激光等离子体诊断朗缪探针,取得了不同激光能量下产生的锡...

孙秦 田雷超... 《激光技术》 2021年01期 期刊

关键词: 激光物理 / 等离子体诊断 / 朗缪尔探针 / 极紫外光刻

下载(203)| 被引(1)

朗缪探针在射频离子源中的扰动仿真研究  CNKI文献

准确的等离子体参数信息对射频离子源的研制十分重要,为获得这些关键参数,需要借助朗缪探针作为研究手段。研究利用COMSOL软件作为研究平台,建立射频离子源的几何模型,并加入探针作为变量,...

侯文琦 阳璞琼... 《智能计算机与应用》 2021年01期 期刊

关键词: 射频离子源 / 朗缪尔探针 / 理论模拟

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基于LabVIEW的朗缪尔单探针数据处理系统  CNKI文献

朗缪尔单探针处理系统是使用单探针对符合麦克斯韦电子分布的等离子体放电进行测量诊断的基于Lab VIEW运行的处理软件。该系统通过格拉布斯准则实现了对大误差数据的剔除。使用Savitzk...

殷冀平 乔宏... 《真空》 2020年06期 期刊

关键词: 朗缪尔单探针处理系统 / Lab / VIEW / 格拉布斯准则

下载(128)| 被引(1)

双平装探针诊断的理论和实验研究  CNKI文献

飞行器再入空间大气层时,表面极易因化学热防护材料的烧蚀以及激波加热等原因形成致密的等离子体鞘套。该鞘套会在一定程度上造成电磁波信号的反射、散射,折射等,从而与外界通讯信号中断,对测控通讯产生严重影响...

余鹏程 导师:曹金祥 中国科学技术大学 2020-06-01 博士论文

关键词: 双平装探针 / 边缘效应 / 玻姆速度 / 鞘层碰撞

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脉冲激光诱导液滴等离子体的研究  CNKI文献

随着半导体产业的发展,芯片集成度得到了大幅度提升,对于制备芯片至关重要的光刻技术也需要进一步提高。未来最有发展前景的光刻技术为极紫外光刻技术,可实现7 nm及以下的特征尺寸。基于液滴靶的激光等离子体凭...

尹培琪 导师:王新兵 华中科技大学 2020-06-01 硕士论文

关键词: 激光等离子体 / 液滴靶 / 羽辉膨胀 / 朗缪尔探针

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27.12MHz容性耦合脉冲Ar/O2等离子体探针诊断  CNKI文献

低温等离子体由于其较宽的电子温度和较高的化学活性等在集成电路、太阳能电池、光学器件等领域具有广泛的应用前景,其中,容性耦合等离子体由于其易产生大面积、高密度、均匀的等离子体而成为工业应...

周瑜 导师:辛煜 苏州大学 2020-06-01 硕士论文

关键词: 脉冲容性耦合等离子体 / 朗缪尔探针 / 发射探针 / 激光光致解吸

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基于多朗缪探针等离子体电子密度探测系统研...  CNKI文献

朗缪探针技术广泛应用于空间电离层等离子体参数的探测,相比于采用无线电波对空间电离层的探测方法,朗缪探针技术的原位测量可以更准确、更直接的获取空间电离层等离子体参数...

王传安 导师:杜清府 山东大学 2020-05-30 硕士论文

关键词: 等离子体探测 / 朗缪尔探针 / STM32 / 微电流检测

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激光汤姆孙散射测量容性耦合等离子体的电子密度  CNKI文献

设计了一种测量电容耦合等离子体电子密度时间演化的YAG激光汤姆孙散射系统。电容耦合等离子体是在真空条件下由300W射频电源供电的板极装置中产生的。采用最大转换增益5.0×105 V/W的硅雪崩光电二极...

张泽亮 宋海英... 《激光与光电子学进展》 2020年23期 期刊

关键词: 激光光学 / 等离子体诊断 / 电容耦合等离子体 / 汤姆孙散射

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J-TEXT托卡马克偏滤器靶板探针诊断系统的建立  CNKI文献

聚变能是一种蕴含极其丰富的清洁能源,在磁约束热核聚变装置中,要克服的工程及物理难题主要是等离子体与器壁的相互作用。包括能量输出、壁材料防护等。偏滤器作为现代托卡马克装置以及未来聚变堆的关键部件之一...

朱明聪 导师:陈志鹏 华中科技大学 2020-05-01 硕士论文

关键词: J-TEXT托卡马克 / 朗缪尔探针 / 偏滤器 / 热流

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低温氮等离子体朗缪尔双探针诊断  CNKI文献

采用朗缪尔双探针法对低温氮等离子体进行了诊断分析,得到了氮等离子体的电子密度和电子温度。通过朗缪尔双探针研究了不同射频功率、放电压强、轴向距离对等离子体...

李青 李茹... 《当代化工》 2020年04期 期刊

关键词: 低温氮等离子体 / 朗缪尔双探针 / 电子温度 / 电子密度

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磁场对射频感性耦合等离子体均匀性影响的研究  CNKI文献

低温等离子体在传统和新兴工业领域有着越来越突出的地位,其中射频等离子体作为一种重要类型的等离子体也受到人们的广泛关注和深入研究。射频离子源在许多现代工艺领域如表面改性、晶圆刻蚀和薄膜...

吴鑫龙 导师:蔺增 东北大学 2019-12-01 硕士论文

关键词: 磁场 / 射频感性耦合等离子体 / 均匀性 / COMSOL

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正柱区朗缪探针诊断教学实验设计  CNKI文献

朗缪探针诊断教学实验结合等离子体物理学科发展特色,针对直流辉光放电正柱区,同时设计了朗缪尔单探针和双探针诊断实验。实验原理清晰,实验现象明显,实验结果可靠。通...

张莹莹 张家良... 《实验技术与管理》 2019年10期 期刊

关键词: 朗缪尔探针 / 直流辉光放电 / 电流-电压特性曲线

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