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Cu掺杂提高类金刚石膜场致发射特性研究  CNKI文献

采用双磁过滤阴极真空弧和磁控溅射沉积法,在Cu基体表面上制备了以钛(Ti)和钛化碳(TiC)过渡层材料的Cu掺杂非晶类金刚石(DLC)薄膜。自行设计制作了薄膜材料场致发射特性测试装置,探讨了Cu掺杂影响DLC薄膜...

李建 童洪辉... 《真空科学与技术学报》 2020年12期 期刊

关键词: 类金刚石膜 / 场致发射 / 磁过滤阴极真空弧沉积 / 磁控溅射

下载(14)| 被引(0)

偏压对高功率脉冲磁控溅射DLC膜层结构及性能的影响  CNKI文献

采用高功率脉冲磁控溅射技术制备DLC膜层,研究了偏压的变化对膜层结构及主要力学性能的影响.利用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、纳米压入仪、划痕仪和磨擦磨损试验仪分析检测了DLC膜...

林松盛 高迪... 《材料研究与应用》 2020年01期 期刊

关键词: 类金刚石膜 / 高功率脉冲磁控溅射 / 偏压 / 微观结构

下载(108)| 被引(0)

紫铜表面掺钨类金刚石膜的制备及耐蚀性与细胞相容性...  CNKI文献

采用阳极层流型矩形气体离子源与非平衡磁控溅射的复合技术在紫铜基体制备了掺钨类金刚石(W-DLC)薄膜。对膜层的微观形貌、相组成及显微硬度进行了表征,测试了紫铜和W-DLC膜在生理盐水(0.9%NaCl溶液)中的...

徐丽萍 林松盛 《电镀与涂饰》 2019年13期 期刊

关键词: 紫铜 / 类金刚石膜 / / 掺杂

下载(42)| 被引(0)

类金刚石薄膜应力调控及其激光损伤特性  CNKI文献

类金刚石(DLC)薄膜具备很多与金刚石薄膜性能相似的优点,如红外波段透过率大、电阻率大、硬度大、摩擦系数小、热导率大等,是一种优良的红外增透保护材料,可用在航天器等其他精密光学仪器的红外窗口上。但...

王娜 导师:吴慎将 西安工业大学 2019-06-10 硕士论文

关键词: 类金刚石膜 / 射频磁控溅射 / 工艺参数 / 表面形貌

下载(90)| 被引(0)

不同比例钛掺杂对类金刚石薄膜性能的影响  CNKI文献

为研究钛掺杂对类金刚石薄膜性能的影响,采用磁控溅射制备不同比例钛掺杂类金刚石膜,并通过扫描电镜(SEM)、X-ray光电子谱仪、拉曼光谱仪(Roman)以及洛氏硬度压痕仪等设备对类金刚石薄膜的微...

张而耕 张致富... 《陶瓷学报》 2019年02期 期刊

关键词: 类金刚石膜 / 磁控溅射离子镀 / 结合力 / 内应力

下载(238)| 被引(0)

射频偏压辅助磁控溅射制备类金刚石薄膜及其性...  CNKI文献

类金刚石薄膜具有优异的力学、耐摩擦性能、抗腐蚀性能和生物相容性,且可以在低温下沉积,在摩擦学、生物医用等领域有着很大的应用潜力。目前,类金刚石薄膜走向应用的主要障碍是缺乏一种可以工业化大面积高效率沉积出...

朱和康 魏秋平... TFC’17全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集 2017-08-19 中国会议

关键词: 射频偏压 / 磁控溅射 / 类金刚石膜 / Cr掺杂

下载(62)| 被引(0)

利用射频磁控溅射法制备类金刚石膜  CNKI文献

类金刚石膜性能优良,硬度高,膜表面光滑,摩擦系数小,耐腐蚀,生物相容性好。目前广泛应用于核反应堆的润滑层、潜艇的耐腐蚀保护层、航空器件的固体润滑剂,手机屏幕保护膜,眼镜的增透保护膜等领域,是21世纪不可或...

刘军 导师:殷红 吉林大学 2017-05-01 硕士论文

关键词: 类金刚石膜 / 射频磁控溅射 / 工艺参数 / 表面形貌

下载(336)| 被引(4)

手表装饰用类金刚石薄膜的性能研究  CNKI文献

采用多弧离子镀与离子束辅助磁控溅射复合工艺在316L不锈钢上制备了手表装饰用类金刚石(DLC)梯度薄膜(Cr–WC–DLC),研究了薄膜的外观、组成、硬度、耐蚀性、耐磨性、防刮花性能及结合力。结果表明,该方法...

赵可沦 刘海华... 《电镀与涂饰》 2017年08期 期刊

关键词: 不锈钢 / 类金刚石薄膜 / / 碳化钨

下载(127)| 被引(1)

类金刚石膜研究进展  CNKI文献

类金刚石膜具有高硬度、高热导率、低摩擦因数、良好的耐磨性能和化学惰性等优异的物化性能,在热沉、微电子、抗核加固、生物和汽车工业等领域具有重大的应用前景,近年来吸引了众多研究和关注。文章综述了

陈青云 施凯敏... 《材料工程》 2017年03期 期刊

关键词: 类金刚石膜 / 成膜机理 / 结合力 / 摩擦性能

下载(700)| 被引(20)

中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备类金刚石膜的...  CNKI文献

利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术在载玻片上制备了类金刚石(DLC)薄膜,研究了沉积气压对薄膜厚度、微观结构、机械性能和光学性能的影响。厚度测试结果表明,DLC膜厚度随沉积气压的增加而增加。X射线光电子...

王俊玲 代海洋 《真空》 2016年01期 期刊

关键词: 类金刚石膜 / 沉积气压 / 脉冲非平衡磁控溅射技术 / 结构

下载(134)| 被引(2)

电压对中频脉冲非平衡磁控溅射类金刚石薄膜结构与性...  CNKI文献

制备参数对类金刚石(DLC)薄膜的性能和结构有显著影响。利用中频脉冲非平衡磁控溅射新技术制备了DLC薄膜,采用Raman光谱、X射线光电子能谱仪、纳米压痕仪、光谱型椭偏仪研究了溅射电压对DLC薄膜微观...

王俊玲 代海洋 《材料保护》 2015年12期 期刊

关键词: 类金刚石膜 / 中频脉冲非平衡磁控溅射 / 溅射电压 / 膜结构

下载(90)| 被引(1)

甲烷压强对类金刚石薄膜结构与性能的影响  CNKI文献

以氩气、氩气-甲烷为辅助气体,高纯石墨为靶材,采用脉冲非平衡磁控溅射技术制备了无定形碳膜(a—C)及氢化无定形碳膜(a—C∶H)。利用台阶仪、傅里叶红外光谱、Raman光谱、纳米压痕测试仪、椭偏仪对所制备类金

刘海增 代海洋... 《兵器材料科学与工程》 2014年03期 期刊

关键词: 类金刚石膜 / 甲烷压强 / 脉冲非平衡磁控溅射技术 / 结构

下载(175)| 被引(1)

工况参数对类金刚石膜摩擦学性能的影响  CNKI文献

采用非平衡磁控溅射技术在高速钢基体上以C2H2为反应气源制备了含氢类金刚石(DLC)膜。使用激光拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪和原子力显微镜分析和观察了DLC膜的微观结构及表面形貌,结果表明:DLC膜表面由...

曾群锋 于飞... 《真空科学与技术学报》 2013年04期 期刊

关键词: 非平衡磁控溅射 / 类金刚石膜 / 结构分析 / 摩擦磨损性能

下载(301)| 被引(19)

辅助气体压强比例对中频脉冲非平衡磁控溅射沉积  CNKI文献

以高纯石墨为靶材、氩气(Ar)和甲烷(CH4)为辅助气体,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术在不同气体压强比例下制备了类金刚石薄膜,采用原子力显微镜、拉曼光谱仪、傅立叶变换红外光谱仪、纳米压痕测试仪对所...

代海洋 翟凤潇... 《真空》 2012年06期 期刊

关键词: 类金刚石膜 / 中频脉冲非平衡磁控溅射 / 气体压强比例 / 结构与性能

下载(94)| 被引(0)

类金刚石膜和不同氮含量碳氮膜的血液相容性比较  CNKI文献

室温条件下,采用直流磁控溅射方法在单晶Si表面沉积碳氮(CNx)和类金刚石(DLC)薄膜,并通过改变氮气分压合成出不同氮含量的CNx薄膜.俄歇电子能谱(AES)结果显示,两种CNx膜中氮和碳含量的原子百分比分别为0....

赵梦鲤 李德军... 《中国科学:生命科学》 2012年04期 期刊

关键词: 碳氮膜 / 类金刚石膜 / 磁控溅射 / 原子含量百分比

下载(121)| 被引(1)

ECR结合中频磁控溅射制备掺Cu类金刚石膜工艺及...  CNKI文献

为改善DLC膜的内应力及导热问题,采用ECR微波等离子体化学气相沉积及中频磁控溅射的方法制备掺Cu类金刚石膜,研究溅射电流对薄膜中Cu含量、薄膜表面形貌、结构及机械性能的影响。结果表明:改变

佘博西 李书昌... 《润滑与密封》 2012年04期 期刊

关键词: 类金刚石膜 / 电子回旋共振 / 中频磁控溅射 / 气相沉积

下载(157)| 被引(5)

H13钢离子渗氮(PN)与类金刚石(DLC)复合处理的摩擦磨...  CNKI文献

采用阳极层流离子源与非平衡磁控溅射结合的沉积方法在H13钢基体表面沉积出类金刚石膜(DLC),并对H13钢经不同表面预处理对后沉积的DLC膜的摩擦学性能进行了对比研究。结果表明:DLC膜结构致密,且DLC膜与梯...

廖芳 侯惠君... 《真空》 2012年01期 期刊

关键词: 离子渗氮 / 磁控溅射 / 类金刚石膜 / 摩擦系数

下载(216)| 被引(3)

清洗预处理对手表外观件表面镀类金刚石薄膜性能的影...  CNKI文献

为解决手表外观件镀层的附着力和硬度不高而产生的膜层脱落和磨损露底等问题,采用阳极层流型气体离子源结合非平衡磁控溅射技术制备了类金刚石膜层,研究了镀前清洗工艺对膜层附着力和耐磨性能的影响。结果...

胡芳 代明江... 《电镀与涂饰》 2011年03期 期刊

关键词: 手表外观件 / 类金刚石膜 / 非平衡磁控溅射 / 清洗预处理

下载(155)| 被引(1)

掺钛类金刚石膜的制备及在手表外观件上的应用  CNKI文献

为有效提高手表外观件表面的耐磨、耐蚀性能和装饰性能,采用阳极层流型气体离子源结合非平衡磁控溅射技术,制备了梯度过渡掺钛类金刚石(Ti-DLC)膜层,并对其在手表外观件上的应用进行研究。结果表明:此方法...

林松盛 鲍贤勇... 《真空》 2011年01期 期刊

关键词: 手表外观件 / 掺钛类金刚石膜 / 离子源 / 非平衡磁控溅射

下载(243)| 被引(6)

沉积在微纳米结构表面上的DLC薄膜疏水性能研究  CNKI文献

采用磁控溅射法沉积金属薄膜,退火后采用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD)和射频磁控溅射两种镀膜工艺在其上沉积类金刚石碳膜(DLC),研究其疏水性能。 首先分析总结了疏水表面的特征尺...

朱国明 导师:张以忱 东北大学 2010-06-01 硕士论文

关键词: 疏水薄膜 / 类金刚石膜 / 射频等离子体增强化学气相沉积 / 磁控溅射

下载(321)| 被引(3)

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