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3~5μm红外窗口增透涂层的制备与性能研究  CNKI文献

利用直流非平衡磁控溅射技术,在100℃条件下,在单晶硅上制备了具有红外增透效果的类金刚石薄膜,研究了偏压对薄膜结构、机械性能和红外光学性能的影响,解释了薄膜结构与性能之间的关系。利用...

王浩 曾宪光... 《红外技术》 2017年08期 期刊

关键词: 红外窗口 / 类金刚石薄膜 / 脉冲负偏压 / 力学性能

下载(150)| 被引(2)

类金刚石薄膜及其发展现状  CNKI文献

随着现代科技和高端技术的发展,类金刚石(diamond-like carbon,DLC)薄膜以其硬度高、摩擦系数小、化学稳定性强、热导率高、红外波段透明等特性,被广泛地用作红外光学元件表面的减反射保护膜,目前已经被使用在导弹、卫...

苏俊宏 葛锦蔓... 第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集 2014-10-26 中国会议

关键词: 类金刚石薄膜 / 发展现状

下载(263)| 被引(0)

ZnS基底沉积类金刚石薄膜研究  CNKI文献

针对不能直接在红外光学材料ZnS基底上沉积类金钢石薄膜(下述简称DLC膜)的问题,介绍了在红外光学材料ZnS基底上沉积DLC膜的方法,指出了采用在ZnS基底表面镀制DLC膜的方法,来解决在ZnS基底表面上镀制...

黄光伟 谢启明... 《新技术新工艺》 2014年06期 期刊

关键词: 类金刚石薄膜 / 红外光学 / 硫化锌 / 反射率

下载(105)| 被引(2)

类金刚石薄膜制备工艺与特性研究  CNKI文献

随着科学技术的不断进步,红外光学系统对红外光学元件的性能要求越来越高。光学薄膜作为红外光学元件的重要组成部分,特别是用作增透保护膜的类金刚石薄膜,其优异性能不仅能够满足~...

陈林林 导师:黄伟 中国科学院研究生院(光电技术研究所) 2013-05-01 硕士论文

关键词: 类金刚石薄膜 / RFPECVD / 光学常数 / Raman光谱

下载(1796)| 被引(7)

氮气压强对脉冲激光沉积类金刚石薄膜红外光学  CNKI文献

为了研究氮气压强对脉冲激光沉积(PLD)类金刚石(DLC)薄膜红外光学特性的影响,在脉冲激光沉积类金刚石薄膜的实验过程中,把沉积腔抽真空到10-5Pa,再在沉积腔中分别充入10-3、10-2和10-1Pa的...

罗乐 汪毅... 《中国激光》 2011年09期 期刊

关键词: 薄膜 / 类金刚石 / 脉冲激光沉积法 / 氮气压强

下载(181)| 被引(6)

ZnS基底沉积类金刚石薄膜的研究  CNKI文献

针对不能直接在红外光学材料ZnS基底上沉积DLC膜的问题,本文介绍了在ZnS基底上沉积DLC膜的方法,该技术解决了ZnS表面上镀制高效减反膜,膜层不足以抵抗恶劣环境的问题。同时,我们在膜系设计时,通过优化设计,以及使用组...

黄光伟 杨静... 中国光学学会2011年学术大会摘要集 2011-09-05 中国会议

关键词: 类金刚石薄膜 / 红外光学 / 硫化锌 / 反射率

下载(43)| 被引(0)

硅/锗掺杂类金刚石薄膜特性研究  CNKI文献

类金刚石(diamond-like carbon, DLC)薄膜是一种亚稳态的非晶碳膜,它具有诸多类似于金刚石薄膜的优异性能。在光学方面,由于DLC薄膜在红外区透明,且具备高硬度、耐磨损等性能,因此常用作红外...

黄国俊 导师:潘永强 西安工业大学 2011-05-04 硕士论文

关键词: 类金刚石(DLC)薄膜 / 掺杂 / 脉冲电弧离子镀 / 红外光学特性

下载(571)| 被引(2)

激光脉冲能量对类金刚石薄膜及其红外光学特性...  CNKI文献

为了研究在氮气中激光的脉冲能量对类金刚石薄膜的微结构组成、表面形貌和红外光学特性的影响,在KrF准分子脉冲激光沉积(PLD)类金刚石薄膜的实验中,在沉积腔中充入10-1Pa氮气并保持其他实验参数不变...

罗乐 张君芳... 《中国激光》 2010年12期 期刊

关键词: 光谱学 / 类金刚石薄膜 / 激光脉冲能量 / 表面形貌

下载(179)| 被引(10)

射频磁控溅射法制备类金刚石薄膜的研究  CNKI文献

类金刚石碳(DLC)膜,具有高硬度、高耐磨性、低摩擦系数、高热导率、高红外透过率、高化学稳定性等一系列与金刚石膜相似的优异性能。与金刚石膜相比,其具有沉积温度低、沉积面积大、膜面平整光滑...

赵海龙 导师:刘正堂 西北工业大学 2007-03-01 硕士论文

关键词: 类金刚石(DLC)膜 / 红外增透保护膜 / 膜系设计 / 射频磁控溅射

下载(808)| 被引(13)

RF-PECVD法制备大面积类金刚石薄膜性能的研究  CNKI文献

采用RF-PECVD法在锗、硅红外光学窗口上制备了大面积(基底直径φ=150~250 mm)类金刚石薄膜。采用拉曼光谱分析了大面积DLC膜的结构组成,对RF-PECVD法制备的大面积DLC膜的均匀性、红外光学性能、机...

李钱陶 熊长新... 《光学与光电技术》 2006年04期 期刊

关键词: 类金刚石膜 / 均匀性 / 红外 / 射频等离子体增强化学相沉积法

下载(386)| 被引(18)

类金刚石薄膜光学特性测量与参数反演  CNKI文献

本文主要研究薄膜新材料——类金刚石(Diamond-Like Carbon,简写为DLC)薄膜光学特性的测量和参数反演。文中详细介绍了薄膜常用制备方法以及光学常数的测量方法,对参数反演用到的椭圆偏振测量...

王党社 导师:吴振森 西安电子科技大学 2006-01-01 硕士论文

关键词: 椭偏法 / 类金刚石薄膜 / 粒子群算法 / 遗传模拟退火算法

下载(507)| 被引(9)

掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能研...  CNKI文献

采用俄歇电子能谱、原子力显微镜、拉曼散射分析、傅里叶红外光谱和红外椭圆偏振光谱等设备 ,对射频等离子增强化学气相沉积法制备的掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能进行了研究 .结果表明...

居建华 夏义本... 《应用科学学报》 2001年02期 期刊

关键词: 掺氮类金刚石薄膜 / 微观结构 / 红外光学性能

下载(265)| 被引(23)

类金刚石薄膜红外增透作用研究  CNKI文献

利用PLD(PulseLaserDeposition)技术,在硅或光学玻璃基底上制备的类金刚石薄膜,通过实验条件的调控,其折射率在17~22之间.理论分析和实验验证都得出同一结论:这种新型的...

薛运才 《焦作工学院学报》 1998年04期 期刊

关键词: 金刚石 / 薄膜 / 增透膜

下载(75)| 被引(0)

类金刚石薄膜红外光学材料中的应用  CNKI文献

用脉冲碳离子源直接在NaCl和KBr晶体表面镀制了类金刚石薄膜.用红外光谱仪进行测试,晶体两面镀膜后在25~20μm波长范围内平均透过率达到84%,最大透过率达90%.

朱昌 严一心... 《西安工业学院学报》 1998年01期 期刊

关键词: 类金刚石薄膜 / 镀膜 / 红外光谱

下载(137)| 被引(12)

金刚石薄膜红外光学性能  CNKI文献

采用热灯丝化学气相沉积法在硅衬底上沉积出金刚石薄膜,用傅立叶变换红外光谱仪分析独立式金刚石薄膜红外光谱特性,其结果表明:在6.25μm~25μm波段,平均红外透过率为65%。由于生长...

张贵锋 耿东生... 《激光与红外》 1997年01期 期刊

关键词: 化学气相沉积 / 金刚石膜 / 类金刚石膜 / 红外光学

下载(135)| 被引(10)

高性能的类金刚石红外光学薄膜  CNKI文献

综述了类金刚石红外光学薄膜红外光学领域的应用,表明该薄膜不仅是一种高性能的红外光学材料,而且是各种红外镀膜元件的高性能保护膜。文中还提出了在类金刚石薄膜进一步开发、研究...

姜杰 《红外技术》 1996年04期 期刊

关键词: 类金刚石薄膜 / 红外多层抗反射膜 / 射频等离子化学气相沉积

下载(214)| 被引(19)

类金刚石薄膜红外光学常数的计算机拟合  CNKI文献

报道了一种对类金刚石薄膜红外透射率曲线最小二乘法拟合的方法,确定类金刚石薄膜红外光学常数─—折射率、吸收系数以及薄膜厚度及表面粗糙度。介绍了相应的数学模型,并给出了对类金

宋强 邢中菁... 《光学学报》 1995年08期 期刊

关键词: 类金刚石薄膜 / 红外光学常数 / 曲线拟合

下载(98)| 被引(3)

类金刚石薄膜的结构和红外光学性能研究  CNKI文献

本文用辉光放电等离子体化学气相沉积(PCVD)法在Si、Ge玻璃等基片上制备出品质较好的类金刚石薄膜。首先,用拉曼光谱和红外吸收谱研究了所制备薄膜的结构,并且研究了制备膜的光吸收和光学带隙,然后,研究了...

毛友德 刘声雷... 《红外与激光技术》 1992年06期 期刊

关键词: 红外光学 / 辉光放电等离子体 / 化学气相沉积 / 类金刚石碳膜

下载(53)| 被引(0)

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