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反应磁控溅射与脉冲电弧制备DLC薄膜技术研究  CNKI文献

类金刚石(DLC)薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性能好、热传导率高等一系列优异的性能,更因在红外波段的较宽透明范围,使得其常被用作于红外增透保护膜。本文在选用反应磁控溅射与脉冲真空电弧

张艳茹 导师:杭凌侠 西安工业大学 2013-04-28 硕士论文

关键词: 反应磁控溅射 / 脉冲真空电弧离子镀 / 类金刚石 / 红外增透保护膜

下载(131)| 被引(2)

硅/锗掺杂类金刚石薄膜特性研究  CNKI文献

类金刚石(diamond-like carbon, DLC)薄膜是一种亚稳态的非晶碳膜,它具有诸多类似于金刚石薄膜的优异性能。在光学方面,由于DLC薄膜在红外区透明,且具备高硬度、耐磨损等性能,因此常用作红外...

黄国俊 导师:潘永强 西安工业大学 2011-05-04 硕士论文

关键词: 类金刚石(DLC)薄膜 / 掺杂 / 脉冲电弧离子镀 / 红外光学特性

下载(564)| 被引(2)

脉冲偏压电弧离子镀C-N-V薄膜的成分、结...  CNKI文献

脉冲偏压电弧离子镀方法在硬质合金基体上制备了一系列不同成分的C-N-V薄膜.用X射线光电子能谱、激光Raman光谱、X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和纳米压痕等方法分别研究了薄膜的成...

李红凯 林国强... 《物理学报》 2010年06期 期刊

关键词: C-N-V薄膜 / 类金刚石薄膜 / 纳米复合薄膜 / 电弧离子镀

下载(136)| 被引(3)

脉冲偏压电弧离子镀制备C_(1-x-y)N_xZr_y超硬...  CNKI文献

脉冲偏压电弧离子镀方法在保持石墨靶弧流恒定的条件下,通过同步改变锆靶弧流与氮流量,在硬质合金基体上制备了一系列不同成分的C1-x-yNxZry复合薄膜.随着锆靶弧流与N流量增加,薄膜中Zr与N...

李红凯 林国强... 《无机材料学报》 2010年05期 期刊

关键词: 类金刚石薄膜 / 超硬复合薄膜 / 脉冲偏压 / 电弧离子镀

下载(147)| 被引(6)

脉冲电弧沉积的掺钛多层类金刚石薄膜性能研究  CNKI文献

为了降低类金刚石薄膜的应力,采用电弧离子镀膜技术在金属基底(TC4)上制备了由不同钛含量的纳米层类金刚石组成的多层薄膜,钛含量从基底向表层减少,最外层是用离子束辅助方式制备的类金刚石薄膜。研究结果表明,不同过...

任妮 赵栋才... TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集 2009-08-15 中国会议

关键词: 类金刚石 / 多层膜 / 掺钛

下载(32)| 被引(0)

脉冲偏压电弧离子镀CN_x薄膜研究  CNKI文献

脉冲偏压电弧离子镀通过控制不同的氮流量在(100)单晶Si基片上制备了不同成分的CNx薄膜.用光学显微镜,XPS,XRD,激光Raman和Nanoindenter等方法研究了薄膜的形貌、成分、结构和性能.结果表明...

李红凯 林国强... 《物理学报》 2008年10期 期刊

关键词: CNx薄膜 / 脉冲偏压 / 电弧离子镀 / 硬度

下载(126)| 被引(2)

氮含量对脉冲偏压电弧离子镀CN_x薄膜结...  CNKI文献

脉冲偏压电弧离子镀设备在保持脉冲偏压一致和工作气压恒定的条件下,控制不同氮流量在硬质合金基体上制备了不同氮含量的CN_x薄膜,用SEM,GIXRD,XPS,激光Raman谱和纳米压入等方法分别研究了...

李红凯 林国强... 《金属学报》 2008年08期 期刊

关键词: 氮化碳薄膜 / 脉冲偏压 / 电弧离子镀 / 结构

下载(161)| 被引(7)

医用NiTi形状记忆合金表面类金刚石薄膜的生物摩擦磨...  CNKI文献

利用脉冲电弧离子镀在医用N iTi形状记忆合金基底上沉积无氢类金刚石(DLC)薄膜,采用Ram an光谱分析薄膜的微观结构,在UMT-2MT型摩擦磨损试验机上考察了薄膜的体外生物摩擦磨损特性.结果...

程峰 李波... 《摩擦学学报》 2006年06期 期刊

关键词: 脉冲电弧离子镀 / 类金刚石薄膜 / NiTi形状记忆合金 / 生物摩擦学特性

下载(306)| 被引(7)

脉冲电弧沉积类金刚石薄膜特性的研究  CNKI文献

利用脉冲电弧镀技术在硅基片上沉积类金刚石薄膜,研究薄膜的光谱特性、摩擦磨损特性、硬度、电阻率和稳定性。用椭圆偏振法测试拟合得到薄膜的光学常数,傅立叶变换红外光谱仪测试薄膜的...

刘缠牢 梁海锋... 《表面技术》 2006年04期 期刊

关键词: 类金刚石薄膜 / 脉冲电弧 / 光学特性 / 机械特性

下载(192)| 被引(7)

增强型脉冲离子源镀制DLC薄膜拉曼光谱研究  CNKI文献

本文利用增强型脉冲电弧离子源在硅基底上沉积类金刚石薄膜,拉曼光谱分析表明DLC薄膜中sp3键含量比不加磁过滤装置时脉冲离子源所镀的类金刚石薄膜高,折射率更接近金刚石折射率2...

陈朝平 朱昌... 《真空科学与技术学报》 2006年03期 期刊

关键词: 增强型脉冲弧离子源 / 磁过滤装置 / 类金刚石薄膜 / 拉曼光谱

下载(232)| 被引(4)

不锈钢(3Cr13)镀类金刚石薄膜的研究  CNKI文献

利用脉冲真空电弧离子镀技术在3Cr13不锈钢基底上制备类金刚石(DLC)薄膜,采用X射线光电子能谱技术分析DLC薄膜中sp3键及sp2键含量和组分.采用显微硬度计测试了薄膜的显微硬度,利...

苗树翻 严一心... 《西安工业大学学报》 2006年02期 期刊

关键词: 脉冲电弧 / 类金刚石薄膜 / 3Cr13不锈钢 / 表面形貌

下载(200)| 被引(1)

脉冲电弧沉积类金刚石薄膜的厚度建模  CNKI文献

从理论和实验出发,分析脉冲电弧源的放电机理,讨论了脉冲电弧源发散特性,得到影响膜厚空间分布的主要因素,建立膜厚空间分布和主要因素之间的数学模型,结果表明和实验数据吻合。

刘缠牢 吴玲玲... 《真空》 2005年06期 期刊

关键词: 脉冲电弧 / 发散特性 / 数学模型

下载(93)| 被引(2)

脉冲真空电弧离子镀在不锈钢上沉积类金刚石  CNKI文献

利用脉冲真空电弧离子镀技术在3Cr13不锈钢上制备了类金刚石(DLC)薄膜,通过Raman光谱分析了膜的结构特征,采用摩擦磨损试验机测试了薄膜在不同载荷下的摩擦系数,运用划痕仪研究了膜基的...

周顺 严一心 《真空》 2005年04期 期刊

关键词: 类金刚石薄膜 / 脉冲电弧 / 摩擦系数 / 不锈钢

下载(329)| 被引(14)

钛镍合金上制备类金刚石薄膜的性能研究  CNKI文献

Ti Ni形状记忆合金是目前唯一用作生物医学材料的形状记忆合金。它的主要缺点是不具有生物活性,会对机体造成不利影响。DLC膜以其优异的生物相容性、抗腐蚀性及化学稳定性倍受关注。利用脉冲真空电弧离子...

吴玲玲 梁海峰... 《表面技术》 2005年02期 期刊

关键词: TiNi合金 / 类金刚石薄膜 / 脉冲电弧

下载(292)| 被引(11)

脉冲真空电弧离子镀沉积类金刚石薄膜的...  CNKI文献

利用脉冲真空电弧离子镀技术在3Cr13不锈钢上制备了类金刚石(DLC)薄膜.通过Raman光谱分析了膜的结构特征,采用摩擦磨损试验机测试了薄膜在不同载荷下的摩擦系数,运用划痕仪研究了膜基的...

周顺 严一心 《西安工业学院学报》 2004年04期 期刊

关键词: 类金刚石薄膜 / 脉冲电弧 / 摩擦系数 / 不锈钢

下载(289)| 被引(7)

NiTi合金表面镀类金刚石薄膜的生物摩擦学性能研究  CNKI文献

脉冲电弧离子镀在镍钛合金基底上沉积了无氢类金刚石(DLC)薄膜,研究和评价了镀膜样片的体外生物摩擦学特性。结果表明,在干摩擦及润滑条件下,DLC薄膜的体积磨损率仅为NiTi合金的3%~7%,有很...

任妮 马占吉... 《真空与低温》 2004年03期 期刊

关键词: 脉冲电弧离子镀 / 类金刚石薄膜 / DLC / 生物摩擦学

下载(268)| 被引(11)

类金刚石薄膜的光学性能的研究  CNKI文献

利用脉冲真空电弧镀的方法,在硅基底上沉积类金刚石薄膜,研究薄膜的光学性能、光学常数和离子能量关系。结果表明:不同的离子能量可以得到不同折射率的薄膜,无氢类金刚石薄膜的折射率在2.5~2.7之间变化;通过改变工艺...

梁海锋 严一心 2004年光学仪器研讨会论文集 2004-06-30 中国会议

关键词: 类金刚石薄膜 / 脉冲电弧 / 光学性能 / 物理汽相沉积

下载(52)| 被引(0)

类金刚石薄膜的光学性能的研究  CNKI文献

利用脉冲真空电弧镀的方法,在硅基底上沉积类金刚石薄膜,研究薄膜的光学性能、光学常数和离子能量关系,结果表明:不同的离子能量可以得到不同折射率的薄膜,无氢类金刚石薄膜的折射率在2.5~2.7之间变化;通过改变工艺条...

梁海锋 严一心 大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集 2004-06-30 中国会议

关键词: 类金刚石薄膜 / 脉冲电弧 / 光学性能

下载(31)| 被引(0)

类金刚石薄膜的光学性能的研究  CNKI文献

利用脉冲真空电弧镀的方法,在硅基底上沉积类金刚石薄膜,研究薄膜的光学性能、光学常数和离子能量关系。结果表明:不同的离子能量可以得到不同折射率的薄膜,无氢类金刚石薄膜的折...

梁海锋 严一心 《光学仪器》 2004年02期 期刊

关键词: 类金刚石薄膜 / 脉冲电弧 / 光学性能 / 物理汽相沉积

下载(416)| 被引(21)

Ti-Ni合金上镀制类金刚石薄膜研究  CNKI文献

利用脉冲真空电弧离子镀技术在Ti_Ni形状记忆合金上成功地镀制了类金刚石薄膜,测试了膜层的电阻率,进行了Raman散射和扫描电镜(SEM)分析,并对两种工艺方法的优劣进行了比较.

吴玲玲 徐昌杰... 《西安工业学院学报》 2003年01期 期刊

关键词: Ti-Ni合金 / 类金刚石薄膜 / 脉冲电弧

下载(105)| 被引(2)

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