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纳米三坐标测量机测控系统关键技术研究 CNKI文献
近年来纳米三维测量技术引起了广泛关注。由新型加工技术如MEMS,LIGA制备的微型工件往往具有介观尺度的大小,而具有纳米级的精度要求。传统的三坐标测量机(CMM)不具备如此高精度的测量...
程方 导师:费业泰 合肥工业大学 2010-03-01 博士论文
关键词: 纳米三坐标测量机 / 线性衍射光栅干涉仪(LDGI / Linear / Diffraction
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