主  题

不  限

  • 不  限
  • 1915年
  • 1949年
  • 1979年

不  限

  • 不  限
  • 1979年
  • 1949年
  • 1915年
  • 全  文
  • 主  题
  • 篇  名
  • 关键词
  • 作  者
  • 作者单位
  • 摘  要
  • 参考文献
  • 基  金
  • 文献来源
  • 发表时间
  • 中图分类号

主  题

不  限

  • 不  限
  • 1915年
  • 1949年
  • 1979年

不  限

  • 不  限
  • 1979年
  • 1949年
  • 1915年
  • 全  文
  • 主  题
  • 篇  名
  • 关键词
  • 作  者
  • 作者单位
  • 摘  要
  • 参考文献
  • 基  金
  • 文献来源
  • 发表时间
  • 中图分类号

全  文

不  限

  • 不  限
  • 1915年
  • 1949年
  • 1979年

不  限

  • 不  限
  • 1979年
  • 1949年
  • 1915年
  • 全  文
  • 主  题
  • 篇  名
  • 关键词
  • 作  者
  • 作者单位
  • 摘  要
  • 参考文献
  • 基  金
  • 文献来源
  • 发表时间
  • 中图分类号
设置
  • 关闭历史记录
  • 打开历史纪录
  • 清除历史记录
引用
筛选:
文献类型 文献类型
学科分类 学科分类
发表年度 发表年度
作者 作者
机构 机构
基金 基金
研究层次 研究层次
排序:
显示:
CNKI为你找到相关结果

激光接触式酒精蒸汽探测系统滤光膜的研制  CNKI文献

随着人们生活水平的日益提高,酒后驾驶现象屡禁不止,交通事故时有发生,饮酒对驾驶员的反应能力及驾驶车辆等相关技能产生很大的影响,且很多人仍抱有侥幸心理酒后继续驾驶,安全性得不到保障。因此,对酒后驾驶人员采取相...

王野 导师:付秀华 长春理工大学 2020-06-01 硕士论文

关键词: 光学薄膜 / 酒精蒸汽 / 近红外双通滤光膜 / 拆分设计

下载(51)| 被引(0)

渐变膜系减反膜激光损伤阈值变化规律研究  CNKI文献

光学减反膜元件是激光系统中极其重要的器件之一,如何提高减反膜的抗激光损伤阈值成为关注的一个热点。渐变折射率薄膜具有提高激光损伤阈值且实现宽带减反的特点。采用PECVD技术制备的渐变折射率薄膜

王燕 导师:杭凌侠 西安工业大学 2019-06-10 硕士论文

关键词: 梯度化 / 减反膜 / 透过率 / 电场

下载(179)| 被引(0)

球面光学元件表面193nm增透膜光谱均匀性优化技...  CNKI文献

以ArF准分子激光器作为光源的193nm光刻机,其半导体集成电路加工制程覆盖130 nm至22 nm,是目前以及未来长时间内半导体光刻工艺中的核心设备。在193nm光刻机设备的制造过程中,光学镀膜是一个关键步骤。为了保证...

柳存定 导师:李斌成 中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所) 2019-06-01 博士论文

关键词: 193nm光刻机 / 球面光学元件 / 增透膜 / 薄膜厚度均匀性

下载(474)| 被引(1)

等离子体源参数对氧化物薄膜的影响及褶皱滤光片的设...  CNKI文献

褶皱滤光膜是基于非均匀膜层设计的截止滤光片,能够克服高、低折射率膜层分界面之间的跃变,有效降低高级次反射带并完全抑制在设计中采用大折射率对比度结构的二次谐波,在激光防护、光谱分析等领域具有重要作用...

惠冰 导师:付秀华 长春理工大学 2019-05-01 硕士论文

关键词: 薄膜技术 / 等离子体源 / 褶皱滤光片 / TiO_2

下载(85)| 被引(0)

大口径主镜薄膜制备及其特性研究  CNKI文献

大口径主镜是大型光学系统的核心元件,如大型天文望远镜,其空间分辨率和聚光能力主要与主镜直径密切相关。随着科学研究发展的需要,大型光学系统的需求日益突出,主镜口径越来越大。大口径主镜不仅制造工艺...

徐旭 导师:李斌成 中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所) 2018-06-01 博士论文

关键词: 保护性银反射镜 / 磁控溅射 / NiCrN_x过渡层 / SiN_x保护层

下载(447)| 被引(5)

超宽光谱太阳防护薄膜的研究与制备  CNKI文献

一些在面向地球的同步轨道卫星上工作的红外遥感系统,有以下两个缺点难以避免:1,系统因设计需要及其运行机制决定其不能完全避免太阳辐射的直接入射。2,系统会因窗口材料吸收太阳辐射而升温。导致卫星在入夜工作时,会...

冯毅东 导师:于天燕 中国科学院大学(中国科学院上海技术物理研究所) 2018-06-01 硕士论文

关键词: 太阳防护光学薄膜 / 超宽光谱 / 分色片 / 硫化锌薄膜

下载(113)| 被引(0)

基于原子层沉积的大曲率光学元件表面光学薄膜...  CNKI文献

大曲率光学元件在光学系统中的应用日益广泛,但相应的薄膜沉积技术却仍存在缺陷。原子层沉积(Atomic layer deposition,简称ALD)作为一种新型沉积方式,凭借独特的自限制反应,在大曲率元件表面

来邻 导师:李旸晖 中国计量大学 2018-04-01 硕士论文

关键词: 光学薄膜 / 原子层沉积 / 流场分析 / 均匀性

下载(76)| 被引(0)

PECVD制备大角度减反膜  CNKI文献

减反膜作为光学薄膜的重要组成部分,广泛的应用于光学系统和光学器件中。在一些特殊环境中对减反膜提出了更高的要求,不再满足于单纯某一波段的减反。例如飞机驾驶室中需要减少仪表表面不必要的反射...

龚勋 导师:杭凌侠 西安工业大学 2016-05-24 硕士论文

关键词: PECVD / 大角度 / 宽带减反膜 / 低折射率

下载(277)| 被引(2)

PECVD制备双陷波滤光片  CNKI文献

随着激光在军事、医疗、工业等领域中的应用不断扩大,人员的安全和光电探测系统的正常使用都面临巨大风险,故采取一定的激光防护措施是必要的。针对532nm和1064nm这两个常用波长激光的威胁,采用薄膜干涉技术研制...

黄发彬 导师:杭凌侠 西安工业大学 2016-05-24 硕士论文

关键词: PECVD / 光学薄膜 / 陷波滤光片 / 激光防护

下载(146)| 被引(0)

硅基热光可调谐薄膜滤波器关键技术的研究  CNKI文献

硅基热光可调谐Fabry-Perot薄膜滤波器分辨率高、可调谐范围广、结构设计灵活以及成本低廉,在光通信和光传感领域有着极为可观的应用前景。多层膜滤波器结构设计、硅基单层膜的均匀性和光学性质以及...

唐海华 导师:刘爽 电子科技大学 2016-04-01 硕士论文

关键词: 硅基薄膜 / PECVD / 可控技术 / 介质DBR

下载(145)| 被引(1)

日盲紫外带通滤光片膜系设计与镀膜工艺研究  CNKI文献

本文以制备高性能日盲紫外带通滤光片为目标,利用光学膜系设计理论、Opti Layer软件、OPTUS-700电子束真空沉积设备及多种现代物理分析方法,从膜系设计、镀膜工艺、样片制备和性能表征几个环节进行...

刘晓丰 导师:刘海 哈尔滨工业大学 2015-06-01 硕士论文

关键词: 紫外带通滤光片 / 日盲 / 电子束蒸发 / 沉积温度

下载(313)| 被引(3)

ArF准分子激光高反射薄膜技术研究  CNKI文献

集成电路制造业是我国给予高度关注的战略产业之一。随着光刻技术的不断发展,集成电路的集成度越来越高,集成电路的尺寸越来越小,自20世纪末以来,ArF准分子193nm激光投影光刻机已成为90nm和65nm节点极大规模集成电...

常艳贺 导师:金春水 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2014-04-01 博士论文

关键词: ArF准分子激光 / 193nm / 高反射薄膜 / 氟化物

下载(544)| 被引(2)

激光(1.064μm)/红外(3~5μm)光学系统中滤光膜...  CNKI文献

由于蓝宝石在近红外波段以及中红外波段有较高的透过率,同时常温下蓝宝石光学、力学以及热冲击、抗雨蚀有很好的性能,因而是激光红外光学系统的首选材料。由于目前材料加工的工艺水平的不足,使得蓝宝石的...

杨永亮 导师:刘国军 长春理工大学 2013-01-01 博士论文

用于激光防护的梯度折射率薄膜技术研究  CNKI文献

激光防护用负滤光片是指在所要求的高透射光谱范围中滤除特定波长的激光,这种滤光片主要用于保护光学系统探测器或人眼不被激光损伤。近年来,随着激光技术的发展,激光武器在军事上的应用越来越广泛,激光防护技术...

宁晓阳 导师:杭凌侠 西安工业大学 2012-05-01 硕士论文

关键词: 光学薄膜 / 负滤光片 / 变折射率 / 单源混蒸

下载(463)| 被引(6)

光学薄膜鲁棒设计、参数表征和反向工程等若干关键技...  CNKI文献

光学薄膜作为关键元件,支撑和确保了事实上几乎所有现代光学系统的各种成功应用,其中光学薄膜软件技术发挥过、也必将持续发挥着关键性的作用。论文围绕光学薄膜软件技术中特别具有实用价值...

吴素勇 导师:龙兴武 国防科学技术大学 2011-12-01 博士论文

关键词: 光学薄膜 / 软件技术 / 鲁棒设计 / 光学参数表征

下载(558)| 被引(2)

TiO_2系光学减反膜的设计与制备  CNKI文献

减反膜作为现代光学薄膜体系中最重要的分支,广泛应用在医学、建筑、工业、军事和宇航技术等领域。为了满足现代光学器件对减反膜宽波段、全方位、高效透光的性能要求,本文以TiO_2系光学减反膜为...

罗小兰 导师:周灵平 湖南大学 2011-04-01 硕士论文

关键词: TiO_2 / 减反膜 / 折射率 / 均匀性

下载(1199)| 被引(10)

PEVCD技术制作减反膜研究  CNKI文献

等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,简称PECVD)技术最早是应半导体工业发展需要而出现的,目前广泛的用于微电子行业。PECVD技术又以其良好的均匀性和阶梯覆盖性、沉积薄膜

张霄 导师:杭凌侠 西安工业大学 2010-05-14 硕士论文

关键词: PECVD / 光学减反膜 / 工艺参数 / 薄膜光学特性

下载(746)| 被引(13)

WO_x气敏薄膜与ZnO/Metal/ZnO金属介质多层膜的正电子...  CNKI文献

本文使用正电子湮没技术,对WOx气敏材料和ZnO/Metal/ZnO金属介质多层膜做了系统地研究,分析了样品的实验数据,并得到一些有意义的物理结论。在完成实验分析的同时,作者还对ZnO/Metal/ZnO金属介质多层膜做了理论...

楼捷 导师:翁惠民 中国科学技术大学 2009-05-02 硕士论文

CeO_2薄膜非均匀性的实验抑制及其分析  CNKI文献

应用膜系设计软件模拟CeO2的负非均匀性对增透膜光谱特性的影响。研究发现:CeO2薄膜的负非均匀性使多层增透膜的反射率增大,使整个反射光谱曲线朝长波方向漂移,从而导致整个膜系的光谱...

贺祥清 王平秋... 《电光与控制》 2008年12期 期刊

关键词: 薄膜光学 / CeO2薄膜 / 非均匀性 / 固相混合共蒸

下载(68)| 被引(0)

可调波长与带宽的光学器件镀膜技术的研究  CNKI文献

本论文应用制备各种规格的干涉截止滤光片来实现光学器件的波长与带宽的可调,尤其对难度较大的短波通滤光片的设计与制备做了详细介绍。根据短波通滤光片的设计原理,分别用二氧化钛和二氧化硅作为高折射率材料和...

黄玲程 导师:付秀华 长春理工大学 2008-04-01 硕士论文

关键词: 短波通滤光片 / 周期膜系 / 晶控

下载(232)| 被引(0)

学术研究指数分析(近十年)详情>>

  • 发文趋势
时间的形状