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气体质量流量控制器的分流器的设计  CNKI文献

分流器是气体质量流量控制器中的一个重要部件。分流器是否合适将对气体质量流量控制器的性能指标,如精度、线性等重要指标参数有直接的影响。合适的分流器能够改善产品的精度、线性等性能指标;反之,不合...

苏乾益 杨桂花 《中国仪器仪表》 2016年05期 期刊

关键词: 气体 / 质量流量控制器 / 分流器 / 设计

下载(263)| 被引(3)

大气中二甲基硫在线监测技术研发  CNKI文献

大气中二甲基硫(DMS)是全球硫循环里重要的天然排放产物,其在大气传输过程中易发生光化学氧化反应生成二甲基亚砜、SO2、甲磺酸(MSA)等中间产物,进而生成硫酸或硫酸盐。其中MSA是形成酸雨的重要天然成分,而硫酸盐...

黄昆 导师:曾立民 北京大学 2013-06-01 硕士论文

关键词: 二甲基硫 / 低温捕集 / 在线监测 / 自动化控制

下载(292)| 被引(3)

D07系列质量流量控制器毛细管堵塞的处理方法  CNKI文献

D07系列质量流量控制器被广泛的应用到电子、化工、石油、医药、环保等领域的科研和生产中,当其出现故障时我们要有一个好的解决方法,确保生产正常。

刘学彦 姜学军 《生命科学仪器》 2009年06期 期刊

关键词: D07系列质量流量控制器 / 故障 / 处理方法

下载(148)| 被引(4)

基于质量流量的智能气体配比仪的开发与研究  CNKI文献

目前在工业生产中主要是通过控制两种物料的流量来配置两种混合气体。传统的气体配比采用针孔调节和电位器调节等方法来产生工业生产用的标准气体,方法繁琐而且精度很难保证。因此,为了实现气体配比的自动化和配...

于鹏 导师:于洋 沈阳理工大学 2008-01-01 硕士论文

关键词: 质量流量 / 配比 / 模糊控制 / 分段线性化

下载(399)| 被引(16)

质量流量控制器的原理与维修  CNKI文献

质量流量控制器(Mass Flow Controllers:MFC)是一种精确控制气体流量的部件。实际上它包括质量流量控制(MFC)和质量流量计(Mass Flaw Me-ters:MFM)二部分。故有时将 MFC 称为 MFM。其原理如图...

唐剑平 《电子与封装》 2002年02期 期刊

关键词: 流量控制器 / 电压差 / 气体流量 / 满量程

下载(377)| 被引(10)

质量流量控制器控制原理分析  CNKI文献

质量流量控制器(MFC)是一种闭环控制器,能根据设定值对气体“量”进行精确稳定控制,而不受气体压力、温度的影响。

王胜利 《电子工业专用设备》 1998年04期 期刊

关键词: 半导体生产工艺 / 质量流量 / 控制 / 气体

下载(490)| 被引(17)

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