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纳米金刚石膜二次形核增强的研究  CNKI文献

为了满足生命科学、医学、微电子和光学等前言科学对高品质真空窗口的需求,制备高致密度高质量的纳米金刚石真空窗口变得越来越迫切,窗口膜层的结构致密性和机械强度直接影响真空窗口的性能,而二次形核率的提高...

李艳春 导师:马志斌 武汉工程大学 2019-05-30 硕士论文

关键词: MPCVD / 纳米金刚石膜 / 二次形核 / 真空窗口

下载(37)| 被引(0)

复合膜结构高频声表面波器件设计、制备及应用  CNKI文献

声表面波器件具有低损耗、小体积、实时信号处理能力强等特性,广泛应用于无线通信、射频标签、传感检测、量子研究等领域,是现代信息系统的重要组成元件。但是由于5G和物联网等技术需要,向高频段拓展成为声表面波器件...

王磊 导师:陈书明 国防科技大学 2018-12-01 博士论文

关键词: 声表面波器件 / 高频 / 复合膜结构 / 纳米电极

下载(64)| 被引(0)

纳米金刚石及其复合材料的制备和场发射  CNKI文献

纳米金刚石是一种重要的场发射材料,因其具有很多优良的性质,在很多情况下具有很好的应用前景,故仍然一直受到研究者的关注。本文主要研究纳米金刚石及其复合材料的制备及场发射特性,探讨其应用前景。纳米金刚石及其复...

王维彪 梁静秋... 2016真空电子学分会第二十届学术年会论文集(下) 2016-08-23 中国会议

关键词: 纳米金刚石 / 场发射 / 复合材料

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应用于半导体器件钝化的类金刚石膜仿真模型的建立  CNKI文献

为建立类金刚石膜材料仿真模型,采用PECVD法在石英及硅衬底沉积出适用于功率半导体器件钝化的类金刚石膜,借助光谱吸收法测量其禁带宽度,结合材料电特性、能带结构及其与衬底的相互作用,将材...

王亚飞 戴小平... 《大功率变流技术》 2016年04期 期刊

关键词: 半导体器件 / 类金刚石膜 / 钝化 / Silvaco

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金刚石真空窗口的制备  CNKI文献

CVD金刚石具有很多卓越的性能,与铍、钛等真空窗口材料相比,金刚石将其优异性能结合在了一起,金刚石不仅具有很好的机械性能(例如高硬度、高杨氏模量),其光学和热学性能(例如高热导率、低热膨胀系数...

高攀 导师:马志斌 武汉工程大学 2016-05-31 硕士论文

关键词: MPCVD / 金刚石真空窗口 / 焊接 / 乙醇

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金刚石微机械零件复印制备机理研究  CNKI文献

微机械具有微型化、集成化、智能化、低能耗、可批量生产和低成本等优点,在工业自动化、医疗科学、生物工程、军事、航空航天等领域有广泛的应用前景。硅材料的高摩擦系数、传热性能差等性能限制了硅基材料的微机械在...

王红军 导师:左敦稳 南京航空航天大学 2016-03-01 博士论文

关键词: 微机械 / 金刚石微零件 / 金刚石微齿轮 / ICP刻蚀

下载(62)| 被引(0)

不同织构CVD金刚石膜的Hall效应特性  CNKI文献

采用热丝化学气相沉积法在p型硅衬底上制备了不同织构的多晶金刚石膜,使用XRD表征了CVD金刚石膜的结构特征,研究了退火后不同织构金刚石膜的电流特性,使用Hall效应检测仪研究了金刚石膜

苏青峰 刘长柱... 《物理学报》 2015年11期 期刊

关键词: 金刚石膜 / 载流子浓度 / 迁移率 / 霍尔效应

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纳米针状金刚石膜的制备  CNKI文献

利用高功率微波等离子体化学气相沉积方法在硅衬底上沉积了多晶金刚石薄膜,然后利用电子束蒸发方法在金刚石薄膜表面上沉积了5 nm厚的Pt薄膜.利用Pt的自组织化效应,再通过氢等离子体照射、氧等离子...

伞志鹏 顾广瑞... 《延边大学学报(自然科学版)》 2015年01期 期刊

关键词: 微波等离子体化学气相沉积 / 金刚石薄膜 / 纳米针 / 扫描电子显微镜

下载(80)| 被引(0)

纳米片状金刚石膜的生长过程  CNKI文献

采用微波等离子化学气相沉积系统(MPCVD)在镀钛的单晶硅衬底上制备纳米金刚石薄膜。反应气体为CH4和H2,其流量比为1∶1,微波功率为1 800 W,反应气压为10 kPa。利用扫描电镜(SEM)和Raman光谱分析薄膜的形貌...

姚宁 崔娜娜... 金刚石与磨料磨具工程》 2011年06期 期刊

关键词: 纳米片状金刚石 / 生长过程 / 微波等离子化学气相沉积

下载(164)| 被引(3)

金刚石膜/硅复合基片的制备工艺研究  CNKI文献

通过等离子体喷射法硅衬底制备金刚石的试验,研究了硅片规格、硅片前期预处理、金刚石膜沉积以及后期热处理等对制备复合基片性质和裂纹产生的影响,对各个工序进行优化和改进,确定了制备金刚石膜

王志娜 李国华... 金刚石与磨料磨具工程》 2011年06期 期刊

关键词: 等离子体喷射法 / 金刚石膜/硅复合基片 / 裂纹

下载(72)| 被引(0)

大面积金刚石膜/Si衬底复合片均匀性研究  CNKI文献

对直流电弧等离子体喷射化学气相沉积技术,在φ76.2 mm的Si衬底上沉积得到的金刚石膜,通过SEM和激光Raman表征其质量均匀性。为缓解金刚石膜/Si复合片的内应力,采用台阶式冷却的方式,对样品在1 050...

张营营 李成明... 金刚石与磨料磨具工程》 2010年05期 期刊

关键词: 金刚石膜 / 均匀性 / 真空退火 / 表面粗糙度

下载(135)| 被引(2)

基于工业应用的CVD金刚石薄膜制备工艺及性能研究  CNKI文献

CVD金刚石薄膜具有优异的物理和化学性质,在力学、声学、热学以及电子学等领域具有广泛的应用前景。本文采用自行设计的大功率热丝CVD系统在单晶硅片和硬质合金衬底上制备了金刚石薄膜,并对

陈峰武 导师:周灵平 湖南大学 2010-04-01 硕士论文

关键词: CVD金刚石薄膜 / 大面积 / 均匀性 / 表面粗糙度

下载(339)| 被引(6)

硅衬底上高增透金刚石膜的制备研究  CNKI文献

采用甲烷和氢气作为工作气体,在热丝化学气相沉积(HFCVD)设备上采用五段式沉积法制备了金刚石薄膜,用扫描电子显微镜(SEM)、激光拉曼光谱仪、X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)以及傅立叶红外光谱仪研究了~#...

王鸿翔 左敦稳... 《功能材料》 2009年12期 期刊

关键词: HFCVD / 金刚石膜 / 增透

下载(137)| 被引(3)

纳米金刚石薄膜的制备  CNKI文献

采用微波等离子体化学气相沉积系统,利用氢气、甲烷、氩气和氧气为前驱气体,在直径为5 cm的(111)取向镜面抛光硅衬底上沉积出高平整度纳米金刚石薄膜。利用扫描电镜、X射线衍射谱和共焦显微显微拉曼光谱我...

杨保和 崔建... 《光电子.激光》 2008年05期 期刊

关键词: 纳米金刚石薄膜 / 微波等离子体化学气相沉积

下载(835)| 被引(15)

纳米金刚石薄膜的制备机理及其机械性能研究  CNKI文献

化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)金刚石膜是集优异的力学、电学、热学、声学和化学性能于一体的材料,在高科技领域有着广泛的应用前景。为了探索纳米晶对CVD金刚石薄膜机械性能的影响,本文对...

徐锋 导师:王珉 南京航空航天大学 2007-11-01 博士论文

关键词: 双偏压HFCVD / 纳米CVD金刚石 / 制备系统 / 温度场

下载(1960)| 被引(27)

纳米非晶碳膜制备及其场致电子发射性能研究  CNKI文献

本论文研究了微波等离子化学气相沉积系统(MPCVD)制备条件对非晶碳膜场发射特性的影响,制备出了开启电场低、电流密度大的纳米含氢非晶碳薄膜;研究了非晶碳膜场致电子发射电流衰减的原因;研究了非晶碳膜中薄膜结构...

鲁占灵 导师:张兵临 郑州大学 2006-05-01 博士论文

关键词: 纳米非晶碳膜 / 场电子发射 / 开启电场 / 电流密度

下载(516)| 被引(6)

纳米金刚石薄膜和p型金刚石薄膜的制备和性能研...  CNKI文献

本文采用自制石英管热丝化学气相沉积系统,深入研究了低温低压下在硅衬底上纳米金刚石膜的制备及性能研究。生长纳米金刚石膜所用的硅衬底为p型单晶硅,气源为CH_4和H_2,石英管生长室内的气压...

张衡 导师:韩高荣 浙江大学 2006-03-03 硕士论文

关键词: 化学气相沉积 / 纳米金刚石膜 / 硼掺杂 / p型金刚石

下载(469)| 被引(5)

CVD金刚石膜的光电性能及其在辐射探测器中的应用研究  CNKI文献

CVD金刚石膜具有优异的电、光、热、机械及抗辐照性能,已成为苛刻环境下工作的辐射探测器首选材料。探测器级CVD金刚石膜的制备和探测器的研制已经成为国际前沿课题。另外,CVD金刚石膜在气体探测器...

张明龙 导师:夏义本 上海大学 2005-03-01 博士论文

关键词: CVD金刚石膜 / 光电性能 / 微机多道谱仪 / CVD金刚石探测器

下载(778)| 被引(3)

热丝CVD法制备金刚石膜  CNKI文献

采用热灯丝CVD、分次连续沉积的办法在硅衬底上制备金刚石膜.用RAMAN光谱、X ray衍射、扫描电子显微镜(SEM)等多种技术对金刚石膜的形貌、成份、晶态等特性进行了分析,证实所获膜质量较好.

梁继然 常明... 《天津理工大学学报》 2005年01期 期刊

关键词: 金刚石膜 / 热灯丝CVD / Xray衍射 / 扫描电子显微镜(SEM)

下载(354)| 被引(12)

高频SAW器件高性能压电薄膜的制备及性能研究  CNKI文献

随着现代电子设备信息处理量的扩大,通信载波频率必须向更高频的频率区移动,声表面波(SAW)滤波器是现代无线移动通信系统的关键部件之一,其工作频率f是由材料的声表面波传播速度V和叉指电极的周期L决定的,即了=V/L:由...

王芳 导师:杨保和 天津理工大学 2005-01-01 硕士论文

关键词: 声表面波滤波器 / 磁控溅射 / 氧化锌薄膜 / 铌酸锂薄膜

下载(476)| 被引(5)

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