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地面静电加速度计的位移检测电路设计  CNKI文献

高精度静电悬浮加速度计可作为海空重力测量仪器中的核心传感器,检验质量的位移检测电路是加速度计控制系统的核心,其精度直接影响了加速度计零偏和标度因数的稳定性,因此需要研究分辨率高、噪声小的位移检测系...

贺晓霞 郑峥嵘... 《导航与控制》 2020年03期 期刊

关键词: 高精度静电悬浮加速度计 / 位移检测 / 地面悬浮 / 高压控制

下载(73)| 被引(0)

转子式陀螺电极结构建模分析与检测技术研究  CNKI文献

随着惯性器件的发展,世界范围内展开了对于陀螺仪的研究。目前的转子式微陀螺都存在着一定的问题,为了解决这些问题并获得更高的精度,哈工大MEMS中心提出了新型球碟-转子式陀螺结构。在陀螺系统中,电容检测部分直接决...

李祎楠 导师:刘晓为 哈尔滨工业大学 2015-06-01 硕士论文

关键词: 球碟-转子式陀螺 / 差分电容 / 电极结构 / 电容检测

下载(84)| 被引(1)

运动学矢量参数测量方法  CNKI文献

研究了用于测量运动学矢量参数的测量方法.建立矢量测量装置的广义运动学模型及带有补偿的数学模型,得到敏感器运动分离后的简化模型.然后,通过具有电磁和静电支撑补偿的天平描述敏感器的运动...

李威 院老虎... 《动力学与控制学报》 2014年03期 期刊

关键词: 矢量测量装置 / 信息技术 / 运动学 / 数学模型

下载(38)| 被引(0)

静电悬浮转子悬浮控制系统探析  CNKI文献

为了实现静电转子的稳定悬浮,建立了针对于悬浮转子的静电支承模型。在模型的建立过程中,分析了静电力作用机理,给出了静电力计算公式。接着建立了以DSP TMS320F283...

孙爱良 《自动化与仪器仪表》 2012年02期 期刊

关键词: MEMS / 微陀螺 / 静电悬浮 / 电容检测

下载(65)| 被引(2)

硅微静电电机的悬浮系统研究  CNKI文献

静电悬浮微电机是一种集合静电支承技术与微机电系统制造技术的微型执行器,采用基于静电悬浮的无接触支承可消除传统机械接触式轴承产生的摩擦力矩,延长电机寿命。静电悬浮电机的主要应用包括...

付真斌 导师:韩丰田 清华大学 2010-06-01 硕士论文

关键词: 静电悬浮 / 可变电容微电机 / 电容式位移检测 / 悬浮控制

下载(375)| 被引(5)

框体零件内表面的形位误差检测与加工技术研究  CNKI文献

本文以静电悬浮加速度计敏感结构为研究对象,针对目前敏感结构电极框的存在的限制因素多、加工与检测精度低、难以满足需求这一瓶颈问题,探索敏感结构的高精度加工与检测技术,力争突破制约我国高精度静电悬浮

刘景坡 导师:郑子文 国防科学技术大学 2009-11-01 硕士论文

静电悬浮加速度计地面试验系统微位移驱动器控制  CNKI文献

介绍了超磁致伸缩驱动器(GMA)的结构,从有助于理解压磁效应的角度,建立了GMA的静态位移力模型和磁-机耦合模型,并对后者进行了仿真研究。仿真结果显示机械部分响应时间比较缓慢,减小阻尼会带来一些不利影...

宋仁旺 陈琳英 《科学技术与工程》 2007年02期 期刊

关键词: 超磁致伸缩 / 微位移驱动器 / 位移-力 / 磁机耦合

下载(136)| 被引(0)

水平方向静电悬浮系统的数学模型与仿真  CNKI文献

建立了水平方向静电悬浮非线性系统微分方程形式的数学模型,指明了该微分方程的解是振动周期函数.采用物理方法求出了振幅的表达式,并对振幅随初始速度的变化特性进行了仿真,结果表明振幅随初始速度的增大...

库少平 严鹤... 《武汉大学学报(工学版)》 2006年04期 期刊

关键词: 静电悬浮 / 数学模型 / 仿真

下载(84)| 被引(1)

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