RF-PECVD制备硼掺杂氢化非晶硅氧(a-SiO_x∶H)...  CNKI文献

采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法,在不同CO_2与硅烷气体流量比(R_C=[CO_2]/[SiH_4]=0.0、0.5、1.0、2.0)、衬底温度(T_S=200℃)、乙硼烷掺杂浓度(R_B=[B_2H_6]/[SiH_4]=1.5%)、高氢稀释比(R_H=...

刘小娇 施光辉... 《太阳能学报》 2018年06期 期刊

高效纳米晶硅/晶硅异质结太阳电池的研究  CNKI文献

硅异质结SHJ(Silicon Heterojunction)太阳电池,由单晶硅片和非晶硅薄膜(a-Si:H)构成,因具有低成本、高效率的特点而备受国内外研究人员关注。为进一步提高SHJ太阳电池的转换效率,使用宽带隙...

乔治 导师:刘彩池 河北工业大学 2015-05-01 博士论文

晶体硅太阳电池低温气相外延制结研究  CNKI文献

在较低温度下实现气相外延沉积在制备pn结方面具有巨大的应用潜力，本文探索了采用射频等离子辅助化学气相沉积法（RF-PECVD）在基片温度200oC低温条件下进行掺杂硅薄膜的气相外延的可行性，并研究了快速...

崔冶青 导师:周浪 南昌大学 2014-06-30 硕士论文

P型非晶硅薄膜制备及其在HIT太阳电池中应用  CNKI文献

采用RF-PECVD沉积技术制备P型非晶硅薄膜材料,研究硼烷浓度和加热温度对薄膜性能的影响。通过对两者优化,制备出了宽光学带隙、高电导率和致密性较好的P型非晶硅材料。作为窗口层应用到HIT~#...

齐晓光 杨瑞霞... 《人工晶体学报》 2014年02期 期刊

HIT太阳电池的制备与性能研究  CNKI文献

开发低成本、稳定以及高效的太阳能电池是光伏领域研究的目标，而HIT太阳电池既具有晶硅太阳电池的高效特性又具有薄膜太阳电池的低成本特点，成为光伏领域研究的热点。本文利用射频等...

齐晓光 导师:杨瑞霞 河北工业大学 2013-12-01 硕士论文

用于HIT太阳能电池的非晶硅薄膜制备与性...  CNKI文献

采用射频等离子体增强化学气相沉积技术(RF-PECVD),在不同硅烷浓度下制备本征非晶硅薄膜,研究薄膜材料的微结构和光电性能。研究表明,在硅烷浓度为5%时,制备的薄膜材料处于非晶/微晶相...

齐晓光 雷青松... 《人工晶体学报》 2013年11期 期刊

非晶硅薄膜及太阳电池的高速制备  CNKI文献

在当前晶硅材料严重短缺、晶体硅太阳电池制造成本居高不下的背景下,硅薄膜电池技术得到了前所未有的重视和发展。在工业化生产过程中,实现高效稳定非晶硅薄膜的高速制备是降低电池制造成本的有效途径之一。本文介绍了...

章曙东 王永谦... 第十届中国太阳能光伏会议论文集：迎接光伏发电新时代 2008-09-19 中国会议

PECVD法制备本征/掺硼纳米非晶硅薄膜及其性能...  CNKI文献

纳米非晶硅(hydrogenated nano-amorphous silicon，na-Si：H)因具有类似非晶硅(a-Si：H)的高光吸收系数(达10~5数量级)和光敏性，同时又具有纳米晶硅(nano-crystalline silicon，nc-Si：H)的宽带隙...

冯仁华 导师:韩高荣 浙江大学 2007-06-01 硕士论文