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超精密机床热形变及其对运动精度的影响研究  CNKI文献

超大口径超精密机床研制是大口径光学元件加工的必要基础,超大口径超精密机床在大行程、长工作周期的加工过程中,由于导轨发热引起的机床热形变将严重影响运动部件的直线度与光学元件的#~

陈熠 王振忠... 《制造技术与机床》 2023年02期 期刊

关键词: 超大口径元件 / 超精密加工 / 机床热形变 / 运动误差

下载(92)| 被引(0)

单晶硅激光辅助超精密切削工艺优化与表面特性  CNKI文献

为了获得优化的单晶硅激光辅助超精密切削工艺,探究切削加工后单晶硅元件的表面特性,采用正交实验方法对单晶硅的激光原位辅助单点金刚石切削工艺参数进行优化,并对切削加工单晶硅表面质量、面形精...

陈肖 柯金洋... 《光学精密工程》 2023年01期 期刊

关键词: 激光辅助超精密切削 / 单晶硅 / 工艺优化 / 表面粗糙度

下载(156)| 被引(0)

极紫外及X射线波段超光滑反射镜的超精密加工与检测  CNKI文献

极紫外、X射线为微观物质认识、宏观空间探测提供了高精度的观测手段,但这类观测的实现需要大量高精度光学反射元件的支撑。由于极紫外、X射线在光学表面更易发生散射,其光学反射镜基底的精度需求和制作技术也明显区...

余俊 王占山... 《光学精密工程》 2022年21期 期刊

关键词: 超精密加工 / 极紫外 / X射线 / 反射镜基底

下载(157)| 被引(0)

蓝宝石复杂表面光学元件精密超精密磨削机理...  CNKI文献

蓝宝石复杂表面光学元件因其优异机械性能和光学性能被广泛应用于高端科技和航空航天等领域,而蓝宝石的高硬脆性和复杂表面的高精度要求对光学制造能力提出了巨大挑战。分析了蓝宝石复杂表面光学元件的磨削机理及关键...

王盛 赵清亮... 《航空制造技术》 2022年09期 期刊

关键词: 高硬脆材料 / 蓝宝石 / 磨削机理 / 超精密磨削

下载(688)| 被引(1)

光学非球面超精密切削的在位测量及补偿加工  CNKI文献

开发一种采用接触式测头与电容式位移传感器相结合的在位测量装置及非球面测量与补偿加工软件,进行C3604黄铜球面非球面的单点金刚石超精密切削加工,并开展在位测量及补偿~#...

张亮 郭曦鹏... 《金刚石与磨料磨具工程》 2022年01期 期刊

关键词: 非球面 / 超精密加工 / 在位测量 / 补偿加工

下载(333)| 被引(1)

光学元件超精密加工成套装备的研发与应用  CNKI文献

一、概述精密超精密加工,是现代机械制造业最主要的发展方向之一,在提高机电产品的性能、质量和发展高新技术中起着至关重要的作用,并且已成为在国际竞争中取得成功的关键技术。我国目前正处于工业化...

林鸿榕 刘文志... 《世界制造技术与装备市场》 2022年01期 期刊

关键词: 光学元件 / 非球面 / 精密磨削 / 精密加工

下载(546)| 被引(1)

先进光学制造技术最新进展  CNKI文献

在激光核聚变、大型天文望远镜等国家大光学工程及各种光机电产品的驱动下,高面形精度、高表面质量、多结构型式光学组件的需求量日益增加,因此,先进光学制造技术显得尤为重要。主要综述了近十年来光学超精密加工

王振忠 施晨淳... 《机械工程学报》 2021年08期 期刊

关键词: 光学 / 超精密加工 / 加工机理 / 机床设备

下载(2564)| 被引(12)

基于空间光调制器的光学面形测量关键技术的研究  CNKI文献

相干干涉测量是对光学面形进行高精度测量的常用测量方式。传统干涉仪只能针对光学平面或者球面等基础光学面形进行面形测量。通过无像差测量方法,在测量光路中增加反射平面或者球面,能够将干涉测量的范围...

曾臻 导师:房丰洲 天津大学 2021-03-01 博士论文

关键词: 超精密加工 / 干涉测量 / 液晶空间光调制器 / 相位补偿

下载(4)| 被引(0)

非正交超精密切削加工金刚石刀具非均化磨损技...  CNKI文献

本文考虑了在车床上采用旋转获得球面和刀具附加直线运动的加工方案,即非球面刀具的切削部分与切削层和加工层(平面、球面非球面)的接触条件。还尝试根据切削条件和每个单独点...

AREFULIN NIKOLAI 导师:孙涛 哈尔滨工业大学 2020-06-01 硕士论文

关键词: 摆臂车床 / 非球面加工 / 镜片加工 / 镜面加工

下载(78)| 被引(0)

微透镜阵列的快刀伺服超精密加工技术研究  CNKI文献

微透镜阵列光学元件体积小,重量轻,集成度高,主要应用于成像以及照明等光学系统中,所以越来越受科研工作者的重视。本文基于单点金刚石快刀伺服超精密加工技术,研究微透镜阵列的快刀伺服车削工艺参数,并进行矩形...

刘昌 导师:薛常喜 长春理工大学 2020-03-01 硕士论文

关键词: 单点金刚石车削技术 / 微透镜阵列 / 快刀伺服 / 单点金刚石刀具

下载(388)| 被引(8)

大口径自由曲面超精密车削关键技术研究  CNKI文献

在空间光学技术和民用光学技术的推动下,自由曲面光学元件,尤其是大口径自由曲面光学元件越来越多地应用到现代空间探测和民用消费领域中。鉴于大口径自由曲面在超精密加工领域中还存在刀具磨损严重、程序数据量...

王东方 导师:隋永新 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所) 2020-01-01 博士论文

关键词: 大口径自由曲面 / 超精密加工 / 慢刀伺服 / NURBS曲线

下载(1187)| 被引(14)

AlON的超精密磨削加工机理及其保形头罩加工  CNKI文献

保形红外头罩是未来精确制导导弹的核心部件,而多晶Al ON陶瓷优异的光学、机械性能使其成为保形红外头罩的首选材料。采用超精密磨削技术可以加工大孔径、高陡度的保形头罩并获得较好的面型精度。但由于A...

张春雨 导师:赵清亮 哈尔滨工业大学 2019-12-01 博士论文

关键词: Al / ON / 保形头罩 / 超精密磨削

下载(410)| 被引(2)

多面共体折叠成像系统设计与制造的关键技术研究  CNKI文献

多波段光电载荷融合成像具有几何和物理特性共同识别的功能,可有效提升目标识别率和识别效率,在光电成像技术领域发挥着不可替代的作用。传统多波段光电载荷一般选用多镜头分立组合的光学结构,存在系统体积大、图像实...

熊玉朋 导师:戴一帆 国防科技大学 2019-10-01 博士论文

关键词: 多面共体 / 折叠成像 / 超精密加工 / 计算全息

下载(191)| 被引(0)

CVD ZnSe光学透镜超精密加工工艺优化技术研究  CNKI文献

基于对某研究所近半年CVD Zn Se光学透镜及质量情况统计数据的分析,找出了导致CVD ZnSe光学透镜合格率低的主要超差指标为中心厚度超差、表面疵病超差、面形超差和表面粗糙度超差,进一步分析发现表面疵病与表面粗糙度...

马欣 胡海朝 《机械设计》 2019年S1期 期刊

关键词: CVD / ZnSe光学透镜 / 表面疵病 / 粗糙度

下载(222)| 被引(2)

非球面气囊抛光的材料均匀去除研究  CNKI文献

对气囊抛光非球面表面材料去除均匀性进行了研究。根据Preston方程,分析了抛光磨头与零件转速比对去除函数分布的影响,并采用定点抛光试验对分析结果进行验证。在定点抛光表面去除速率分析的基础上,通过优化抛光...

王朋 叶斯哲... 《航空制造技术》 2019年09期 期刊

关键词: 超精密 / 光学加工 / 非球面 / 均匀去除

下载(351)| 被引(5)

双轴半刚性轮式超精密抛光技术研究  CNKI文献

基于计算机控制光学表面成形(Computer-controlled optical surfacing,CCOS)原理的确定性抛光技术,其结合可预测的材料去除规律与三维空间加驻留时间的四维加工控制模式,是实现纳米级精度超精密光学元件可...

卢安舸 导师:金滩 湖南大学 2019-04-23 博士论文

关键词: 超精密加工 / 双轴轮式抛光 / 半刚性抛光轮 / 去除函数

下载(297)| 被引(3)

复杂光学曲面超精密磨削关键技术的研究  CNKI文献

随着现代光电信息技术的快速发展,应用于天文、航空、激光、医疗及通讯等领域的光学元件的功能发生了质的飞跃。在折反射光学系统中,采用复杂曲面光学元件较传统的平面、球面光学元件在减少光学元件数量、简化光...

闫广鹏 导师:房丰洲 天津大学 2019-04-01 博士论文

关键词: 超精密磨削 / 复杂光学曲面 / 磨削机理 / 砂轮路径规划

下载(494)| 被引(0)

一阶不连续光学元件MRF流体动力学分析方法  CNKI文献

一阶不连续光学元件的磁流变抛光问题是制约我国高精高效光学制造领域发展的难题之一,其涉及锥形、矩形等几何形貌元件的光学元件加工问题以及常见光学元件的边缘效应控制问题。提出了基于一阶不连续光学元件的...

杨航 刘小雍... 《强激光与粒子束》 2019年02期 期刊

关键词: 一阶不连续光学元件 / 边缘效应 / 磁流变抛光 / 流体动力学分析

下载(133)| 被引(7)

基于Q-type非球面的光学系统关键技术研究  CNKI文献

非球面球面能更好地校正像差,简化系统结构,在光学系统中得到了广泛的应用。目前有多种非球面的描述方式,但无论是Zemax软件还是非球面轮廓仪中,最常用的还是幂级数多项式。随着对系统越来...

贾孟 导师:薛常喜 长春理工大学 2019-03-01 硕士论文

关键词: Q-type非球面多项式 / 红外光学系统 / 超精密加工 / 面形检测

下载(228)| 被引(3)

单晶硅非球面超精密加工机理与关键工艺技术研究  CNKI文献

单晶硅非球面是红外光学系统中不可或缺的光学元件,广泛应用于各种光学系统,如:夜视仪、导弹导引系统等。然而目前单晶硅非球面的加工周期长,重复性、稳定性难以保证。金刚石车削是应对非球面加工的有效手段。然而单晶...

徐飞飞 2018年版中国工程物理研究院科技年报 2018-11-01 中国会议

关键词: 单晶硅表面 / 精密加工 / 切削表面 / 非球面

下载(292)| 被引(1)

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