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Si和6H-SiC衬底上β-FeSi_2薄膜的制备  CNKI文献

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宁耀斌 蒲红斌... 《人工晶体学报》 2016年03期 期刊

关键词: β-FeSi2薄膜 / 6H-SiC衬底 / Si衬底 / 磁控溅射

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