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硼碳氮薄膜的制备及其带隙调控  CNKI文献

硼碳氮(BCN)材料因其优异的物理化学特性而得到广泛关注。理论与实验表明,BCN三元化合物的性质与其成分和结构都有关联。特别是,当对BCN薄膜的结构和组分在一定范围内进行可控调节时,其相应的性能也...

李宇婧 导师:殷红 吉林大学 2019-06-01 硕士论文

关键词: 硼碳氮薄膜 / 六角氮化硼 / 生长取向 / 磁控溅射

下载(129)| 被引(0)

溅射温度对BCN薄膜质量的研究  CNKI文献

近年来,研究者们对硬质薄膜的研究越来越广泛,而BCN薄膜由于其优异的性能深的研究者的青睐,其应用的范围也是极其广泛。本文主要通过射频磁控溅射法制备BCN薄膜,在溅射功率,气体流量,工...

王键 《科学技术创新》 2017年31期 期刊

关键词: 磁控溅射 / BCN薄膜 / 气体流量 / 表征

下载(45)| 被引(0)

碳含量对电弧增强反应磁控溅射方法制备BCN薄膜  CNKI文献

利用电弧增强反应磁控溅射(AEMS)方法在高速钢基体上制备了BCN薄膜,通过改变石墨靶功率来调整BCN薄膜中碳元素的含量,采用傅里叶变换红外光谱仪、高分辨透射电镜、显微硬度计和划痕仪等设备研究了~...

陈向阳 张瑾... 《机械工程材料》 2017年10期 期刊

关键词: 电弧增强反应磁控溅射 / BCN薄膜 / 热稳定性

下载(51)| 被引(1)

石墨靶功率对BCN薄膜质量的研究  CNKI文献

随着社会的发展,人们对材料的需求越来越大,并且对其性能的要求越来越高,尤其对于一些大型机械设备,由于长时间的工作,设备的老化以及机械零件的磨损是不可避免的,这样就可能增加维护的费用和生产的成本。那么,如何提...

王健 《科技视界》 2017年21期 期刊

关键词: 磁控溅射 / BCN薄膜 / 靶材

下载(26)| 被引(0)

(C_f-SiC_f)/SiBCN陶瓷与Nb连接工艺及机理研究  CNKI文献

(C_f-SiC_f)/SiBCN是一种经过改良的超高温陶瓷,各项性能都有显著提高,鉴于其高温特性,该陶瓷在航空航天等领域具有广泛的应用前景。为了解决烧结工艺对其外形尺寸的限制及扩大使用范围,本文提出钎焊和间接扩散焊两种...

步澜斌 导师:Dusan P. Sekulic 哈尔滨工业大学 2017-06-01 硕士论文

关键词: SiBCN / TiZrNiCu / 磁控溅射 / Pd-Ag中间层

下载(132)| 被引(0)

射频磁控溅射沉积系统制备BCN薄膜的研究(英文...  CNKI文献

在自然界中,金刚石是最硬的一种材料,但把金刚石高温暴露在空气中时变得容易被氧化,所以在该条件下它不能用来做成切割工具。立方氮化硼有许多优异的特性,但它的内应力比较大,很大程度上影响了它在工业生产上的发展。...

王健 张东... 《沈阳师范大学学报(自然科学版)》 2015年03期 期刊

关键词: CN薄膜 / 磁控溅射 / 基片 / 靶材

下载(70)| 被引(0)

不同氮含量BCN薄膜的微观结构与摩擦学行为  CNKI文献

用电弧增强反应磁控溅射方法(AEMS)在高速钢(W18Cr4V)基体上制备出具有耐磨减摩性能的BCN薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电镜(HRTEM)和X射线光电子能谱(XPS)研究了氮含量对薄膜微观结构的影...

陈向阳 张瑾... 《稀有金属材料与工程》 2014年08期 期刊

关键词: AEMS / BCN薄膜 / 微观结构 / 硬度

下载(98)| 被引(0)

BCN薄膜的制备与研究  CNKI文献

BCN是一种人工合成的新型材料,具有键长短、键共价性强等特点。理论研究表明BCN具有与氮化硼(BN)相似的六方和立方型结构,特别是立方BCN(c-BCN)的性质应介于金刚石和立方BN(c-BN)之间,既有金...

毕凯 导师:戴起勋 江苏大学 2013-11-01 博士论文

关键词: BCN薄膜 / 磁控溅射 / 附着性能 / 摩擦学性能

下载(593)| 被引(3)

反应磁控溅射方法制备BCN薄膜的高温抗氧化性  CNKI文献

为了考察BCN薄膜的高温抗氧化,用反应磁控溅射方法在高速钢基体上制备了BCN硬质薄膜材料,用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电镜(HRTEM)、扫描电镜(SEM)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)和显微硬度计...

陈向阳 张瑾... 《安徽理工大学学报(自然科学版)》 2013年03期 期刊

关键词: BCN薄膜 / 抗氧化 / C含量

下载(76)| 被引(0)

磁控溅射制备B-C-N薄膜及其表征  CNKI文献

采用射频磁控溅射方法,分别以石墨靶材和甲烷气体作为碳源,通过调控石墨靶功率、基片溅射温度、基片的负偏压,CH4/N2/Ar气体流量比一系列实验参数,在硅基片上沉积非晶B-C-N薄膜。利用傅里叶变换红外...

王健 导师:白亦真 大连理工大学 2011-11-01 硕士论文

关键词: B-C-N薄膜 / 实验参数 / 磁控溅射 / 硬度

下载(145)| 被引(0)

反应磁控溅射制备组分可控的B-C-N薄膜  CNKI文献

采用射频磁控溅射方法,以硼和石墨为溅射靶材,通过调控工作气压、基片温度、溅射功率、CH4/N2/Ar气体流量比一系列实验参数,在Si(100)基片上制备不同组分的非晶B-C-N薄膜。利用傅里叶变换红外...

管昌雨 导师:赵纪军 大连理工大学 2010-11-01 硕士论文

关键词: B-C-N薄膜 / 组分 / 实验参数 / 磁控溅射

下载(112)| 被引(1)

B-C-N薄膜的制备及其表征  CNKI文献

硼碳氮(B-C-N)作为一种新兴的人工合成三元材料,其优良的机械、电学和光学性能使其应用在许多工业领域如:硬盘保护、半导体器件等都有着广泛的应用前景。B、C、N三种原子的成键状态对薄膜的物理性能有重要影响...

贾福超 导师:白亦真 大连理工大学 2010-05-12 硕士论文

关键词: 射频磁控溅射 / BCN薄膜 / N_2流量 / 傅里叶红外光谱

下载(289)| 被引(3)

成份对BCN薄膜结构和纳米力学性能的影响  CNKI文献

利用直流磁控溅射技术制备了三元BCN薄膜,通过在100~500 mA之间调节励磁线圈电流,获得了不同成分的BCN薄膜。分析结果表明随着励磁线圈电流的增加,薄膜中B含量由43 at%上升至53 at%,C含量由2...

徐淑艳 王立海... 《人工晶体学报》 2009年S1期 期刊

关键词: BCN薄膜 / 纳米力学性能 / 磁控溅射

下载(126)| 被引(1)

射频磁控溅射生长BCN薄膜及其表征  CNKI文献

本文采用射频磁控溅射的方法,分别利用六方氮化硼(h-BN)、硼(B)和石墨(C)靶,在氩气和氮气的氛围中,沉积BCN薄膜。经傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明,在1000~1800 cm~(-1)均出现了较宽的吸收峰和2200 cm~(-1)处C≡N...

贾福超 白亦真... 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学... 2009-07-20 中国会议

关键词: 射频磁控溅射 / 六方氮化硼 / BCN / 特征吸收峰

下载(39)| 被引(0)

纳米金刚石理论研究与B-C-N薄膜实验合成  CNKI文献

采用密度泛函理论研究不同形状和尺寸的氢钝化纳米金刚石的稳定性以及红外光谱。形成热计算发现八面体形状的纳米金刚石最利于生成,其优先生长晶向为<111>方向。模拟的红外谱同纳米金刚石的形状和尺寸之间有密切...

庄春强 导师:赵纪军 大连理工大学 2009-05-21 硕士论文

关键词: 纳米金刚石 / 密度泛函理论 / 磁控溅射 / 硼碳氮薄膜

下载(154)| 被引(0)

B-C-N薄膜的制备及其红外光谱表征  CNKI文献

采用射频磁控溅射方法,以石墨和六方氮化硼(h-BN)为复合靶,在氩气和氮气的氛围中,在室温和673 K的条件下,分别改变N2流量,沉积BCN薄膜.经傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明,在1000~1800 cm-1和2200 cm-1处...

贾福超 白亦真... 《材料研究与应用》 2009年01期 期刊

关键词: BCN薄膜 / 傅立叶变换红外光谱 / 射频磁控溅射

下载(272)| 被引(4)

工作气压对磁控溅射法制备硼碳氮薄膜结晶度的...  CNKI文献

本文用六方氮化硼和石墨靶材采用射频(频率为13.56 MHz)磁控溅射法沉积硼碳氮薄膜,得到的硼碳氮薄膜可用红外,拉曼表征。工作气压从0.2 Pa升高到6.0 Pa。我们可以观察到工作气压可以明显的改变硼碳...

龚恩乐 刘镒... 《世界科技研究与发展》 2008年06期 期刊

关键词: 硼碳氮薄膜 / 射频磁控溅射 / 工作气压 / 结晶度

下载(181)| 被引(1)

硼碳氮薄膜磁控溅射法制备及其结构研究  CNKI文献

本论文的主要工作是采用射频磁控溅射制备硼碳氮(BCN)薄膜,研究了各实验参数对硼碳氮薄膜的生长行为和结构的影响,对硼碳氮薄膜制备工艺进行了系统的、深入的研究。采用磁控溅射...

龚恩乐 导师:于杰 哈尔滨工业大学 2008-12-01 硕士论文

关键词: 磁控溅射 / 硼碳氮薄膜 / 结晶度

下载(180)| 被引(5)

电弧增强反应磁控溅射制备BCN薄膜的微观结构与...  CNKI文献

早期研究表明,碳氮薄膜(CN)争立方氮化硼薄膜(c-BN)具有高硬度和低摩擦系数等优异性能,在耐磨减摩表面改性领域应用潜力很大。但CN薄膜高于500℃后热稳定性变差,c-BN虽然热稳定性好,但薄膜制备过程中存在有较大的残余...

陈向阳 马胜利... 第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论... 2008-10-01 中国会议

关键词: AEMS / BCN薄膜 / 微观结构 / 硬度

下载(37)| 被引(0)

FTIR法研究BCN薄膜的内应力  CNKI文献

采用射频磁控溅射技术,用六角氮化硼和石墨为溅射靶,以氩气(Ar)和氮气(N2)为工作气体,在Si(100)衬底上制备出硼碳氮(BCN)薄膜。利用傅里叶变换红外光谱(FTIR)考察了不同沉积参数(溅射功...

王玉新 郑亚茹... 《光谱学与光谱分析》 2008年07期 期刊

关键词: 射频磁控溅射 / 硼碳氮薄膜 / 傅里叶变换红外光谱 / 内应力

下载(160)| 被引(7)

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