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Properties of Boron-doped μc-Ge:H Films D...  CNKI文献

Boron-doped hydrogenated microcrystalline Germanium(μc-Ge:H) fi lms were deposited by hot-wire CVD. H2 diluted Ge H4 and B2H6 were used as precursors and the substrate temperature ...

黄海宾 沈鸿烈... 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Sci...》 2015年03期 期刊

关键词: Boron / μc-Ge / H / film

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