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镍基棱镜型高能X射线聚焦组合折射透镜的研制  CNKI文献

组合折射透镜是聚焦高能X射线(能量大于50keV)的主要聚焦元件,因此成为同步辐射聚焦技术的研究的前沿与热点。为实现优异的聚焦性能,透镜的优化设计是前提,优良的制备工艺是保证和关键。我们研制了一种棱...

刘静 常广才... 《电子器件》 2020年04期 期刊

关键词: X射线聚焦透镜 / LIGA技术 / 棱镜型透镜 / 高能X射线

下载(88)| 被引(0)

基于LIGA技术制作金属微针阵列  CNKI文献

MEMS微针在生物领域中的应用日益广泛,为了方便微针刺入皮肤且减少疼痛,要求微针具有足够的强度和锐利的尖端。传统LIGA工艺只能制造出具有高深宽比的垂直侧壁结构。对传统LIGA工艺进行调整,对光刻...

白万青 李以贵... 《微纳电子技术 2012年02期 期刊

关键词: MEMS微针 / 移动LIGA工艺 / X射线曝光 / 电镀

下载(492)| 被引(10)

PMMA材料制作X射线组合透镜技术研究  CNKI文献

给出了基于衍射理论的评价X射线聚焦组合透镜三维聚焦性能的理论方法。利用该理论方法分析得出X射线组合透镜的聚焦性能与透镜的工作波长、透镜材料、单元透镜数量及凹面半径等参数之间的关系。用LIGA

梁静秋 乐孜纯 《光学精密工程》 2005年S1期 期刊

关键词: X射线组合透镜 / 三维聚焦性能 / PMMA透镜 / 软X射线光刻

下载(140)| 被引(10)

LIGA工艺的发展及应用  CNKI文献

介绍了LIGA(lithographie,galvanoformungandabformung)技术以及在此基础上开发出来的准LIGA(like-LIGA)技术、SLIGA(sacrificialLIGA)、M2LIGA(movingmaskLIGA)技术和抗...

孔祥东 张玉林... 《微纳电子技术 2004年05期 期刊

关键词: LIGA / 光刻胶 / X射线 / 曝光

下载(1530)| 被引(53)

上海第三代同步辐射装置及其在光刻LIGA中的...  CNKI文献

对即将动工的上海第三代同步辐射装置(SSRF)及其主要参数作了介绍。叙述了目前同步辐射x射线光刻LIGA的一些技术进展情况,并对未来SSRF光刻/LIGA实验站的应用前景作了简要分析

谢常青 叶甜春 《半导体技术 2000年01期 期刊

关键词: 第三代同步辐射光源 / x射线光刻 / LIGA

下载(89)| 被引(0)

我国深度X射线光刻技术获突破  CNKI文献

我国深度X射线光刻技术获突破最近,由中国科学院长春光机所采用自制的加厚金掩膜,与中国科学院高能物理所密切合作,在经改进的同步辐射束线上光刻出微电机联轴器部件的光刻胶膜图形。联轴器外径...

李峰 《高技术通讯》 1997年12期 期刊

关键词: 光刻技术 / 科学院

下载(30)| 被引(0)

微三维机械加工的最新技术──LIGA技术  CNKI文献

较详细地介绍了LIGA技术,总结其特点,并展望了其应用前景

揭景耀 《机械科学与技术 1997年05期 期刊

关键词: LIGA技术 / 微机械加工 / X射线光刻

下载(224)| 被引(15)

LIGA技术研究与进展  CNKI文献

本文综述了LIGA技术。介绍了国内外对LIGA技术的改进与推广,并讨论了LIGA技术在传感技术中的应用

揭景耀 《电子器件》 1997年02期 期刊

关键词: ILGA技术 / X射线光刻 / 细微加工 / 微传感器

下载(330)| 被引(24)

同步辐射X射线深度光刻实验  CNKI文献

深度同步辐射光刻LIGA技术的关键工艺环节。利用同步辐射X射线的高平行性、硬射线的高强度,可以光刻出非常深的胶结构,并且这一结构有着很好的尺寸精度和垂直精度,对加工出微型机...

伊福廷 习复... 《微细加工技术 1997年02期 期刊

关键词: LIGA技术 / 同步辐射 / X射线光刻

下载(78)| 被引(11)

微机械加工技术LIGA技术  CNKI文献

简要介绍了LIGA(利嘎)工艺过程、特点和应用实例。

张光照 王香文 《传感器技术 1997年02期 期刊

关键词: X射线 / 光刻 / 微电镀 / 复制

下载(217)| 被引(4)

合肥国家同步辐射实验室同步辐射光刻研究  CNKI文献

同步辐射光刻技术X射线光刻技术的重要发展,适用于深亚微米乃至纳米级图形的 超微细加工,特别是LIGA技术的出现大大拓展了同步辐射光刻的应用领域.使它不仅适合于超大规模 集成电路...

胡一贯 《物理》 1996年02期 期刊

关键词: X射线光刻 / 同步辐射光刻 / 超微细加工 / LIGA技术

下载(46)| 被引(0)

深度同步辐射X射线光刻技术  CNKI文献

深度同步辐射X射线光刻技术深度同步辐射X射线光刻LIGA技术的关键技术之一,而在80年代中期,德国W。Ehrfeld教授[1]及同事创造的LIGA技术被认为是进行三维超...

田扬超 《物理》 1995年02期 期刊

关键词: 光刻技术 / 同步辐射

下载(55)| 被引(0)

同步辐射X射线光刻应用新领域──LIGA技术  CNKI文献

介绍了一种超微细加工新方法-LIGA技术,并就LIGA技术对掩模材料、光刻胶和光源的要求予以讨论,同时还介绍了国外在这方面的最新研究成果。LIGA技术是深度X射线刻蚀、电...

田扬超 胡一贯... 《原子能科学技术 1994年04期 期刊

关键词: LIGA技术 / X射线光刻 / 同步辐射 / 超微细加工

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