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基于电光效应的MEMS微结构动态测试研究  CNKI文献

MEMS(微机电系统)三维动态性能测量,用来表征MEMS器件在高速运动状态下的稳定性和可靠性,在MEMS产品研发过程中举足轻重。随着时代的发展,MEMS微结构动态机械性能的测量日益重要。传统的M

刘颖 导师:张瑞峰 天津大学 2015-11-01 硕士论文

关键词: MEMS测量 / 相位去包裹 / 频闪显微视觉 / 频闪显微干涉

下载(84)| 被引(1)

微机电系统动态测试技术的发展及应用  CNKI文献

微机电系统动态测试主要是对微结构的微小位移和变形进行测试研究,其结果直接影响微结构的运动特征和功能,因此在微机电的发展过程中非常重要。随着MEMS的迅速发展,对测试技术不断提出新的要...

张立平 卢清华 《机电工程技术》 2015年04期 期刊

关键词: MEMS / 动态测试 / 光学测试 / 综合测试

下载(298)| 被引(2)

基于亚像素定位匹配算法的MEMS面内运动测量  CNKI文献

目前,MEMS技术已经进入了我们生活的方方面面,其产业化进程正在有序推进,其中MEMS动态机械性能的测量占据着非常重要的地位。MEMS具有元件尺寸小、运动幅度小和响应频率高的“两小一高”的特点。传...

王少阳 导师:张瑞峰 天津大学 2014-12-01 硕士论文

关键词: MEMS / 频闪显微视觉 / 频闪显微干涉 / 同步控制

下载(76)| 被引(1)

MEMS微变形镜测试技术及算法研究  CNKI文献

介绍了基于计算机控制的频闪显微干涉测量技术,实现了对MEMS微变形镜的表面形貌、离面变形、静态电压-位移曲线和谐振频率的测量。采用频闪成像、计算机微视觉技术以及基于最小二乘曲面拟合法的亚像...

陈家凤 肖风华 《光学技术》 2012年02期 期刊

关键词: 光学测量 / 微变形镜 / 频闪成像 / 亚像素定位

下载(132)| 被引(2)

基于面内补偿的微机电系统离面运动测试  CNKI文献

频闪成像技术和相移显微干涉技术相结合,提出了一种基于面内补偿的微机电系统(MEMS)离面运动测试方法。首先通过相移显微干涉技术自动采集MEMS结构运动周期内不同准静态位置处的数帧相移干...

陈澄 李艳宁... 《光电子.激光》 2012年02期 期刊

关键词: 微机电系统(MEMS) / 频闪成像 / 相移显微干涉 / 双相位展开

下载(72)| 被引(6)

基于相移显微干涉和面内补偿的MEMS离面运动测试  CNKI文献

MEMS动态测试技术是MEMS测试技术的重要组成部分,是目前国内外的研究热点之一。常用的MEMS动态测试系统多基于光学干涉技术或激光多普勒技术,光学干涉技术中的频闪成像技术有着...

陈澄 导师:李艳宁 天津大学 2011-12-01 硕士论文

关键词: MEMS / 测试 / 离面运动 / 频闪成像

下载(151)| 被引(0)

基于计算机微视觉的微运动测量关键技术研究  CNKI文献

现代科学技术正迅速向微小、超精密领域发展,由微米级、亚微米级进入到纳米级阶段。随着微纳制造、微电子、生物医学工程等技术的高速发展,对微运动测量技术提出了更高的要求。研制高精度的新测量手段已经成为微纳制造...

黄赞 导师:张宪民 华南理工大学 2011-06-17 博士论文

关键词: 微运动测量 / 计算机微视觉 / 同态滤波 / 单演相位

下载(750)| 被引(10)

MEMS结构离面微运动测试系统设计与实现  CNKI文献

利用频闪成像和显微干涉技术设计开发了微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)离面微运动测试系统。系统在计算机控制下通过相对延时和五步相移干涉技术自动采集MEMS结构运动周...

谢勇君 史铁林... 《计算机工程与应用》 2010年07期 期刊

关键词: 微机电系统结构 / 频闪成像 / 显微干涉 / 离面微运动

下载(196)| 被引(8)

MEMS周期运动测试频闪成像与运动激励...  CNKI文献

微结构运动测试技术已成为MEMS测试技术的重要组成部分。由于MEMS器件中微结构的运动频率较高,频闪成像法得到了广泛的应用。本文针对静电型MEMS周期运动测试的要求,设计并研制了...

胡晓东 孙彬... 《传感技术学报》 2008年07期 期刊

关键词: MEMS测试 / 频闪成像 / 运动激励 / 同步控制

下载(120)| 被引(3)

微纳结构形貌干涉显微测量关键技术研究  CNKI文献

干涉显微法是一种基于光学干涉原理的表面形貌测量方法,具有测量速度快、精度高、非接触的优点,主要用于MEMS等基于IC平面工艺制造的微纳结构表面形貌及其运动的测量。本文通过深入研究干涉显微法原理,对相移干...

王海珊 导师:史铁林 华中科技大学 2008-05-01 博士论文

关键词: 干涉显微法 / 相移干涉法(PSI) / 垂直扫描干涉法(VSI) / 相位包络算法

下载(965)| 被引(11)

用于微型驱动机构的非接触显微测速测振系统研究  CNKI文献

近年来,微机电系统(MEMS)迅速发展,在各个领域的应用不断得到深入。微驱动器作为其中的可动部分,其运动幅度的大小、运动效率的高低以及驱动的可靠性程度等指标决定了系统的优劣,是MEMS中的重要环节,它不...

陈超 导师:章海军 浙江大学 2008-04-01 硕士论文

关键词: MEMS / 微型驱动机构 / 非接触 / CCD

下载(173)| 被引(3)

光流技术在微结构平面微运动测量中的应*用  CNKI文献

在经典的Horn-Schunck光流算法的基础上,根据微机电系统(MEMS)微结构的运动特性,引入标号场,提出基于标号场和邻域优化法相结合的光流算法对微结构的运动序列图像做运动估计。利用光学测量方法,开发了测试

金翠云 靳世久... 《光电子.激光》 2007年11期 期刊

关键词: 微机电系统(MEMS) / 微运动 / 频闪成像 / 光流

下载(114)| 被引(6)

MEMS微结构平面运动测量方法的研究  CNKI文献

微机电系统(MEMS)由微电子和机械元件组成,其运动特性测试MEMS设计、仿真、制造及产品质量控制和性能评价的关键环节,平面运动测试MEMS微结构运动特性测试的重要组成部分。提...

陈治 导师:胡小唐 天津大学 2007-07-01 博士论文

关键词: 微机电系统 / 平面运动特性 / 块匹配 / 相位相关

下载(541)| 被引(2)

频闪成像与运动激励同步控制系统  CNKI文献

微结构运动特性不仅可用于评价MEMS器件性能,而且也可用于分析微结构材料特性和机械力学特性等与MEMS可靠性相关的参数,因此微结构运动测试技术已成为MEMS测试技术的重要组成部分。由于ME

孙彬 导师:胡晓东 天津大学 2007-06-01 硕士论文

关键词: MEMS测试 / 频闪成像 / 运动激励 / 同步控制

下载(247)| 被引(2)

基于频闪法的MEMS动静态测试系统  CNKI文献

为了对MEMS器件的3D形貌、垂向位移与形变、共振频率等特性进行精确的非接触式的测量,研制了一种基于激光频闪法的MEMS动静态测试系统。该系统以改进了的泰曼干涉仪为核心,采用激光照明,结合...

王青玲 向东... 《光电工程》 2007年02期 期刊

关键词: 微机电系统 / 特性测试 / 频闪成像 / 相对延时

下载(277)| 被引(10)

基于自动调焦显微视觉的MEMS运动测量技术  CNKI文献

为了对微机电系统(MEMS)的机械动态性能进行测试,结合自动调焦、机器显微视觉和频闪照明成像等多项技术,设计了基于自动调焦显微视觉的MEMS动态测试系统,可进行MEMS平面运...

郑汉卿 王伯雄... 《清华大学学报(自然科学版)》 2007年02期 期刊

关键词: 微机电系统(MEMS) / 显微视觉 / 自动调焦 / 频闪成像

下载(424)| 被引(11)

基于光流技术的MEMS器件平面微运动测量  CNKI文献

为测量MEMS谐振器周期运动过程中各时刻不同相位的运动特性及其动态参数,提出利用光学测量方法,设计基于机器微视觉的MEMS动态分析仪。其实现机理是基于频闪成像原理获得MEMS谐振器一个周期内...

金翠云 靳世久... 《电子测量与仪器学报》 2007年01期 期刊

关键词: MEMS / 动态分析仪 / MEMS谐振器 / 动态特性

下载(149)| 被引(8)

利用数字散斑相关方法检测微结构平面运动  CNKI文献

微机电系统(MEMS)近几年得到了快速的发展并已步入产业化阶段。在MEMS的产业化进程中,测试技术越来越得到国内外许多MEMS研究机构的重视,其中MEMS动态特性测试技术在MEMS研...

田淑英 导师:胡晓东 天津大学 2007-01-01 硕士论文

关键词: 数字散斑相关 / MEMS测试 / 平面运动 / 频闪成像

下载(235)| 被引(3)

基于光流技术MEMS平面微运动特性的测量  CNKI文献

实现MEMS动态测试技术中平面微运动特性的测量,关键是记录MEMS运动过程中的瞬间运动状态,并恢复MEMS面内的运动历程.为此,介绍了光流技术,并提出利用邻域优化法进行微结构运动的光流计算.组...

张少婧 胡晓东... 《纳米技术与精密工程》 2006年03期 期刊

关键词: 光流 / 邻域优化 / 频闪成像 / MEMS谐振器

下载(121)| 被引(3)

MEMS微结构动态测试方法及关键技术研究  CNKI文献

为提高微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)产品的可靠性和稳定性,推进其产业化进程,对MEMS微结构动态机械特性进行测试具有非常重要的意义。但由于MEMS微结构本身的极微小尺...

谢勇君 导师:史铁林 华中科技大学 2006-07-01 博士论文

关键词: MEMS / 动态测试 / 频闪视觉 / 频闪干涉

下载(1844)| 被引(21)

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