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用于超导纳米线单光子探测器的NbN薄膜及纳米线的均匀...  CNKI文献

超导纳米线单光子探测器(SNSPD)因其在探测效率、暗计数、探测速度、时间抖动以及响应频谱等性能方面的优异表现,成为目前综合性能最佳的单光子探测器,在量子通信、高速深空通讯、激光测距、生物荧光检测等领域有诸多...

周晓颖 导师:贾小氢 南京大学 2018-05-26 硕士论文

关键词: 超导纳米线单光子探测器 / NbN薄膜 / 常温和加热 / 元素分布均匀性

下载(237)| 被引(1)

NbN薄膜NbN/SiN_x纳米多层膜的制备及性能研...  CNKI文献

氮化铌(NbN)薄膜优异的电学和力学性能使其在超导电子学和保护涂层等领域有着广阔的应用前景,目前NbN薄膜的研发和应用已经成为材料科学领域的研究热点。本论文利用磁控溅射方法,以N_2/Ar作为放电气体,在Si(100)衬底上...

马治军 导师:郑伟涛 吉林大学 2008-04-03 硕士论文

关键词: NbN薄膜 / 纳米多层膜 / 力学性能 / 择优取向

下载(369)| 被引(4)

具有TiN过渡层的Si基NbN薄膜的制备与性能  CNKI文献

目前,超导氮化铌(NbN)薄膜是制备高性能单光子超导器件(SSPD)和超导热电子测辐射热仪(HEB)的首选超导材料,受到广泛的研究和关注。NbN具有较高的超导临界转变温度(Tc>16K)和临界电流密度。通常,采用磁控...

郑磊 导师:苏晓东 苏州大学 2013-04-01 硕士论文

关键词: NbN薄膜 / TiN过渡层 / Si基片 / 磁控溅射

下载(174)| 被引(1)

磁控溅射Ti掺杂NbN薄膜的机械和摩擦学特性研究  CNKI文献

为研究Ti掺杂的NbN薄膜的机械和摩擦学特性,采用射频和直流磁控共溅射技术制备了Ti掺杂的NbN(Ti:NbN)薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、能量色散X射线光谱仪(EDX)、扫描电子显微镜(SEM)、纳米压痕仪、高温摩擦磨损实验机分...

韩玉蕊 杜安天... 《延边大学学报(自然科学版)》 2019年03期 期刊

关键词: 磁控溅射 / NbN薄膜 / 机械性能 / 摩擦学性能

下载(62)| 被引(0)

NbN薄膜的制备与性能研究  CNKI文献

采用磁控溅射和直流偏压二极溅射两种方法制备了NbN薄膜。用XRD和TEM测量比较了两种不同溅射方法获得的NbN薄膜的特点,并测量了NbN薄膜的超导转变温度Tc。采用两种溅射方法都得到了致密、均匀、单一δ相的多晶NbN薄膜...

彭松 肖斌平... 《光谱学与光谱分析》 2005年04期 期刊

关键词: 磁控溅射 / 直流偏压二极溅射 / 氮化铌(NbN) / 超导转变温度

下载(433)| 被引(12)

N_2分压对磁控溅射NbN薄膜微结构与力学性能的影响  CNKI文献

采用反应磁控溅射法在不同的氮分压下制备了一系列NbN薄膜.用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微观结构,力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量,AFM观察了薄膜的表面形貌并测量了压痕尺寸以校验硬度值的准确性.研究了氮分压...

韩增虎 胡晓萍... 《上海交通大学学报》 2004年01期 期刊

关键词: NbN薄膜 / 微结构 / 力学性能 / 磁控溅射

下载(216)| 被引(15)

NbN薄膜的制备及等离子体诊断  CNKI文献

为了解决核材料铀的腐蚀磨损导致的失效问题,本论文首先用朗缪尔探针对新颖的双谐振腔微波ECR多功能等离子体源离子注入(PSII)系统进行了等离子体诊断,然后根据诊断结果,以45#钢作为替代品,在其表面上以及硅片(10...

王金刚 导师:邓新绿 大连理工大学 2004-06-01 硕士论文

关键词: 氮化铌 / 薄膜 / 朗缪尔探针 / 发射光谱

下载(382)| 被引(4)

溅射方式对NbN薄膜结构及热稳定性的影响  CNKI文献

用射频磁控溅射和直流磁控溅射的方法分别在Si(100)衬底和Cu膜间制备了30nm的NbN薄膜,Cu/NbN/Si样品在高纯氮气保护下退火至700℃。用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM、SEM、XRD、AES研究了溅射方式对NbN薄膜扩散阻挡性能...

张宏森 丁明惠... 《材料科学与工程学报》 2010年03期 期刊

关键词: NbN薄膜 / 扩散阻挡层 / Cu互连 / 磁控溅射

下载(218)| 被引(3)

NbC和NbN薄膜的微观结构、力学性能和摩擦学...  CNKI文献

绿色制造与再制造是实现环境与社会可持续发展的重要途径。通过磁控溅射沉积获得低摩擦系数抗磨损涂层可以显著提升新品制造中零件表面的理化性能,增强零件使役性能,满足特殊功能需求,延长服役寿命,实现装备运行中的节...

张侃 导师:郑伟涛 吉林大学 2014-12-01 博士论文

关键词: NbC薄膜 / NbCN薄膜 / 纳米多层膜 / 磁控溅射

下载(588)| 被引(7)

NbN薄膜的反应磁控溅射沉积  CNKI文献

NbN具有较高的临界电流密度 ,较高的临界超导转变温度和良好的力学性能 ,在微电子 ,传感器 ,微机械 ,超导电子学和表面强化领域等方面有广阔的应用前景[1] 。NbN薄膜具有高硬度 ,高耐磨性 ,耐腐蚀性[2 ] 和良好...

韩增虎 赖倩茜... 《电子显微学报》 2002年05期 期刊

关键词: 氮分压 / 磁控溅射沉积 / NbN

下载(117)| 被引(5)

阴极弧等离子体沉积NbN薄膜  CNKI文献

利用磁过滤等离子体沉积装置 ,结合金属等离子体沉积技术 ,在 Si基底上分别用动态离子束增强沉积和非增强沉积的方法来制备 Nb N膜 ,对二者予以比较 ,并探讨了非增强沉积过程中基底温度对 Nb N膜层的影响。温度升高使...

宋教花 张涛... 《真空》 2001年01期 期刊

关键词: 等离子体沉积 / NbN / 动态离子束增强沉积(DIBAD)

下载(92)| 被引(3)

多孔NbN薄膜的制备与性能研究  CNKI文献

超导现象的突破性发现,开辟了低温范围内全新的应用前景,各种新型超导材料可以用于制备在很多应用中有独特优势的超导探测器。超导纳米线单光子探测器的核心是由低温超导材料制备的超薄纳米线,纳米线通过接收光子,产生...

白宇昕 导师:吴志明 电子科技大学 2021-05-11 硕士论文

关键词: 超导 / 氮化铌薄膜 / 纳米多孔阵列

下载(8)| 被引(0)

面向LCT亚毫米波望远镜的超导NbN薄膜的室温生长研究  CNKI文献

太赫兹频段占有宇宙微波背景(CMB)辐射以后宇宙空间近一半的光子能量,对研究宇宙和星系的形成和演化等具有非常重要的意义,已成为当代天文探测最前沿的研究领域之一,引起了世界各国科研机构对开发太赫兹探测器的兴趣。...

张思雨 导师:石旺舟 上海师范大学 2021-05-01 硕士论文

关键词: NbN薄膜 / 离子束溅射法 / 磁控溅射法 / 超导转变温度

下载(39)| 被引(0)

Nb_2N及NbN薄膜的制备及其氧化行为研究  CNKI文献

本文采用反应磁控溅射方法,沉积制备Nb2N及NbN薄膜,研究了N2流量对Nb-N薄膜相结构、组织形貌、机械性能及抗氧化性的影响,探讨了Nb2N及NbN薄膜其氧化行为、氧化热力学及动力学的区别。结果表明Nb2N-NbN纳米复合薄膜的...

吴正涛 祁正兵... 第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛论文摘... 2014-10-28 中国会议

关键词: Nb2N / NbN / 硬度 / 氧化行为

下载(72)| 被引(0)

溶液法制备NbN超导薄膜及性能研究  CNKI文献

目的:构建NbN薄膜生长-微结构-超导性能之间的关联性。方法:采用化学溶液沉积法制备性能优异的NbN薄膜,利用X射线衍射仪和场发射扫描电镜(FE-SEM)对薄膜样品的微结构进行表征,并通过物理性质测量系统(PPMS)对薄膜样品...

惠贞贞 唐婧... 《安徽科技学院学报》 2019年02期 期刊

关键词: NbN薄膜 / 化学溶液沉积法 / 微结构 / 超导性能

下载(120)| 被引(0)

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