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压电PZT薄膜上超细电极的制备  CNKI文献

压电PZT薄膜具有横向压电系数大,与MEMS工艺兼容性高等优点,在制作以压电PZT薄膜为核心的MEMS器件,如压电应力光开关时,需要将电极宽度缩小至10μm,甚至5μm,但长度仍需保持在8 000μm,电极长宽比达1 600...

于舜尧 崔岩... 《机电工程技术》 2021年10期 期刊

关键词: PZT / 溶胶凝胶法 / 剥离 / 超细电极

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PZT陶瓷纤维及其柔性复合薄膜的制备与分析  CNKI文献

为了探究锆钛酸铅(PZT)陶瓷纳米纤维在柔性复合薄膜中的应用,文中采用"静电纺丝"工艺制备了PZT陶瓷纳米纤维和PZT/TPU柔性复合薄膜,分析了PZT陶瓷纤维的结构,陶瓷纤维...

郑博辉 周宏伟... 《西安工业大学学报》 2021年04期 期刊

关键词: 陶瓷纤维 / 静电纺丝 / 热塑性聚氨酯 / 复合薄膜

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溶胶-凝胶法制备PZT薄膜研究进展  CNKI文献

随着微机电系统(MEMS)产业的快速发展,铁电薄膜材料作为微机电器件的重要组成部分而愈受重视。锆钛酸铅(PZT)薄膜具有优越的压电性、热释电性及光电性等性能,在微电子、压电、光学及半导体等领域展...

刘立崴 周闯... 《压电与声光》 2021年04期 期刊

关键词: 微机电系统 / 铁电薄膜 / 铁电性能 / PZT薄膜

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结构对钙钛矿压电薄膜电学性能影响的研究进展  CNKI文献

钙钛矿结构的压电陶瓷具有压电系数高、机电耦合性能良好、性能稳定可靠等优点,其应用环境广泛,是当前重要的商用传感器及半导体元件制造材料之一。其中薄膜结构的钙钛矿压电材料的尺寸小,有利于集成复杂电路结...

米庆博 邢志国... 《材料导报》 2021年15期 期刊

关键词: 压电薄膜 / 晶粒取向 / 尺寸 / 晶格失配

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一种采用铜牺牲层去除负性光刻胶残胶的工艺方法  CNKI文献

提出一种采用铜薄膜作牺牲层去除负性光刻胶残胶的方法,利用铜薄膜在湿法腐蚀过程中的侧蚀现象,将基底的平均残胶量从13.4个/mm2减小到0.2个/mm2。分别测试了金、铬和铜薄膜湿法腐蚀的侧蚀,实验表明...

丁飞 杨志峰... 《机电工程技术》 2021年07期 期刊

关键词: 残胶 / 铜薄膜 / 牺牲层 / 湿法腐蚀

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压电多层膜悬臂梁受力的有限元仿真  CNKI文献

采用有限元软件ABAQUS6.14对压电多层膜悬臂梁进行了仿真模拟,在自由端受集中载荷下,预测薄膜结构对悬臂梁曲率半径和自由端及中心固定端等效应力的影响。结果表明自由端受到的载荷越大,则各层所对应的自由端和...

李苏洋 夏鸿建... 《机械设计与制造》 2021年07期 期刊

关键词: 压电多层悬臂梁 / 锆钛酸铅(PZT) / 微机电系统(MEMS / Micro-Eletronics

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基于静电耦合的PZT/BTO多层异质薄膜介电增强研...  CNKI文献

采用溶胶凝胶法制备了PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3/BaTiO_3(PZT/BTO)多层异质薄膜,讨论了保持总厚度相同的情况下,不同周期厚度对多层异质薄膜的铁电和介电性能的影响。研究表明,随着周期厚度的减薄,层...

钟煌 王歆... 《中国陶瓷》 2021年07期 期刊

关键词: 溶胶凝胶 / PZT/BTO / 周期厚度 / 介电

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压电喷墨打印头结构优化及喷射性能研究  CNKI文献

微液滴喷射技术由于其响应快、精度高等优点,在喷墨印刷、增材制造、LCD制造、微流体芯片、太阳能电池、和纳米技术等多个工业领域具有广泛应用。压电喷墨印刷具有控制精度高、印品质量好、能源消耗少及绿色环保等优点...

袁方 导师:武吉梅 西安理工大学 2021-06-30 硕士论文

关键词: 压电喷墨 / 结构优化 / 数值仿真 / 声结构耦合

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不同激光能量和Zr/Ti比对PLD法制备PZT薄膜结晶质量的...  CNKI文献

典型的压电材料Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3因其优异的性能,可用来制备各种类型的压电器件,一直受到许多研究者的关注。采用PLD法在SrTiO_3(100)单晶衬底上制备出了不同组分的PZT薄膜,讨论了不同激光能量和Zr/Ti...

李瑛娟 滕瑜... 《昆明冶金高等专科学校学报》 2021年03期 期刊

关键词: PZT薄膜 / 激光能量 / Zr/Ti比 / 结晶质量

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氧化镓基光电探测器件结构与性能优化研究  CNKI文献

区别于传统红外探测机制,日盲紫外探测技术具备多方面不可比拟的优势。由于辐射源少,紫外探测往往具有探测难度低、虚警率和误报率下降等优点,同时,其属于无源被动式探测,隐蔽安全性好,能够对发动机、导弹、等离子体辐...

褚旭龙 导师:唐为华 北京邮电大学 2021-06-03 博士论文

关键词: 氧化镓 / 宽禁带半导体 / 光电探测器器件结构 / 性能优化

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多铁性异质结输运性质及电场调控的研究  CNKI文献

随着自旋电子学在信息领域的应用,如何对电子的自旋进行操控实现信息写入是重要的研究课题。目前外场操控电子自旋的手段主要有电场、光场、磁场和电流。由于多铁材料具有磁电耦合效应,使其在电场调控自旋电子学领域具...

任增耀 导师:苗君 北京科技大学 2021-06-01 博士论文

关键词: 多铁性异质结 / 电场调控 / 反常霍尔效应 / 垂直磁各向异性

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基于圆柱壳体振动陀螺的PZT薄厚膜研究  CNKI文献

圆柱壳体振动陀螺(Cylindrical Vibratory Gyroscope,CVG)具备结构简单、测量精度高以及生产成本相对较低的综合优势,在姿态控制和惯性导航等领域具有广阔的发展应用前景。圆柱壳体振动陀螺的驱动与检测一般通过陀螺电...

李嘉豪 导师:崔岩 大连理工大学 2021-06-01 硕士论文

关键词: 圆柱壳体振动陀螺 / MEMS技术 / PZT薄膜 / PZT厚膜

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基于金属薄膜材料的激光超声地震物理模型成像技术研...  CNKI文献

中国地大物博且疆域辽阔,地层储藏丰富、构造复杂。在节能减排与可持续增长的国民经济和社会发展新常态下,驱使人们更加关注地层物理信息的精细分析、深度认识、准确掌握;更加努力地探索地层能源结构的新特征、新规律...

金可臻 导师:荣强周 西北大学 2021-06-01 硕士论文

关键词: 激光超声激励 / 地震物理模型 / 金属薄膜光声功能材料 / 光声效应

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基于界面效应调控的新型二维光电器件研究  CNKI文献

自2004年石墨烯发现以来,二维材料在电子、光电子、谷电子、自旋电子和催化等应用领域表现出巨大潜力,引起了科学和工程领域的广泛关注。其中,该类材料(如石墨烯,过渡金属硫族化合物,黑磷(BP)等)以其层状依赖能带结构...

谢柳 导师:张凯 中国科学技术大学 2021-05-28 博士论文

关键词: 二维材料 / 光电器件 / 窄带隙 / 界面

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缓冲层引导的溅射PZT薄膜的制备研究  CNKI文献

近些年来,择优取向的PZT薄膜由于良好的介电、铁电以及压电等性能而被广泛应用于能量收集器、红外传感器、铁电存储器以及喷墨打印头等设备中。本文通过磁控溅射法在溶胶凝胶缓冲层上制备PZT薄膜。主要包...

李彪 导师:邹赫麟 大连理工大学 2021-05-16 硕士论文

关键词: PZT薄膜 / 磁控溅射法 / 溶胶凝胶缓冲层 / 多层薄膜

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基于压电复合材料的柔性压力传感器的设计、性能与应用研究  CNKI文献

当今社会正在高速发展,人民群众的生活水平不断提高,健康问题已经成为大家耳熟能详的热点问题。由于我国正逐步进入人口老龄化时期,各类心血管类慢性疾病已经逐渐成为影响人们健康的主要因素。截止2019年,受到慢性病困...

林雄威 导师:鲁圣国 广东工业大学 2021-05-01 博士论文

关键词: 复合压电材料 / 静电纺丝 / 柔性传感阵列 / 神经元网络

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硅掺杂二氧化铪铁电薄膜循环耐久性的温度依赖性  CNKI文献

如今是万物互联、信息爆炸的社会,呈指数型暴增的数据量需要性能更优异、运行更可靠的记忆存储器。目前市面上常见的信息存储设备有:只读存储器(PROM、EPROM等)、随机存储器(DRAM、SRAM、FeRAM等)、快闪存储器(NAND/N...

石志鑫 导师:周大雨 大连理工大学 2021-05-01 硕士论文

关键词: 铁电二氧化铪薄膜 / 循环耐久性 / 一阶回转曲线 / 极化翻转行为

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应用于压电微执行器的PZT薄膜改性研究  CNKI文献

近年来随着PZT薄膜制备工艺的成熟,学者们热衷于寻找提升薄膜性能的方法以将其能够应用于更加广阔的领域。本文选取最常见的化学制备方法溶胶凝胶法来制备PZT压电薄膜并对薄膜的性能进...

张仁凯 导师:邹赫麟 大连理工大学 2021-05-01 硕士论文

关键词: 溶胶凝胶法 / PZT薄膜 / 种子层 / 掺杂改性

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应力光开关压电PZT薄膜驱动层的制备与研究  CNKI文献

光开关是实现电路通断的主要器件。目前,利用热-光效应制作的光开关功率约200-500mw,调制速度0.5-1k Hz,但对于大量需要光开关控制的设备,如微波光子等,迫切需要将单个光开关功耗降至nw级别;而对于需要快速控制光路的...

于舜尧 导师:崔岩 大连理工大学 2021-05-01 硕士论文

关键词: 压电PZT薄膜 / 应力光效应 / 光开关 / 驱动层

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Ti_3Al缓冲层对PbZr_(0.4)Ti_(0.6)O_3电容器异质结结构和性...  CNKI文献

铁电薄膜具有良好的铁电性、压电性、热释电、光伏及非线性光学特性等,可广泛应用于微电子、光电子、集成光学和微电子机械系统等领域,其中,应用铁电薄膜制备铁电随机存储器是目前高新技术研究的前沿和热...

李晓博 导师:刘保亭 河北大学 2021-05-01 硕士论文

关键词: 锆钛酸铅 / 外延 / 位错密度 / 铁电

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