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以P_w/p_g为组合变量的微晶硅薄膜... CNKI文献
本文定义了一个组合参量,等离子体功率与气压的比值,P_(w/P_g),并以P_(w/P_g)为主要变量,建立了射频PECVD制备硅薄膜的沉积相图。用光发射谱(OES)监测了等离子沉积过程,比较了不同沉积条件,相同P_(w/P_g)值下发光基元...
孙振中
刘丰珍...
第十届中国太阳能光伏会议论文集：迎接光伏发电新时代
2008-09-19
中国会议
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2008-09-19
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