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离子束刻蚀技术与设备常见故障分析  CNKI文献

介绍了离子束刻蚀技术的特点及其基本原理,并以某型号离子束刻蚀机为例,重点介绍了该设备组成结构与工作原理。同时,根据以往维修经验,总结归纳了该设备的常见故障,并对故障原因进行了深入分析,给出了相应的解决措施。

程壹涛 刘成群... 《电子工业专用设备》 2021年05期 期刊

关键词: 离子束刻蚀 / 射频离子源 / 中和器 / 离子光学系统

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Influence of magnetic filter field on the radio-freque...  CNKI文献

In the design of negative hydrogen ion sources, a magnetic filter field of tens of Gauss at the expansion region is essential to reduce the electron temperature, which usually results in ...

王英杰 黄佳伟... 《Plasma Science and Technology》 2021年11期 期刊

关键词: radio-frequency / negative / hydrogen / ion

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High-capacity Bi_2O_3 anode for 2.4 V neutral aq...  CNKI文献

Aqueous battery-supercapacitor hybrid devices(BSHs) are of great importance to enrich electrochemical energy storage systems with both high energy and power densities.However,further improvement of B...

Mingze Xu Yanli Niu... 《Journal of Energy Chemistry》 2022年02期 期刊

关键词: Bismuth / oxide / Phase / conversion

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碳离子束对不同东北粳稻品种生理指标影响及辐照敏感性差异...  CNKI文献

以12个东北粳稻(Oryza sativa subsp.japonica)品种为研究对象,探究碳离子束辐照处理后不同水稻品种的辐照敏感性差异以及差异较大品种间苗期生理指标的区别。实验结果表明碳离子束(0、80、160Gy,80 Me V·u~(-1)...

王佳琪 周利斌... 《植物生理学报》 2021年11期 期刊

关键词: 碳离子束 / 粳稻 / 辐照敏感性 / 抗氧化系统

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利用~(12)C~(6+)重离子辐射和尖孢镰刀菌毒素筛选杂交兰抗茎...  CNKI文献

为创建抗茎腐病杂交兰资源,本研究以玉女兰类原球茎为材料,采用~(12)C~(6+)重离子辐射技术结合尖孢镰刀菌(Fusarium oxysporum)粗毒素筛选抗茎腐病突变体。结果表明,经不同剂量~(12)C~(6+)重离子辐射后,玉女兰类原球茎...

郭和蓉 张腾... 《核农学报》 2021年12期 期刊

关键词: 杂交兰 / 突变体筛选 / 粗毒素 / 重离子辐射

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离子束溅射沉积Sm-Fe系薄膜的沉积速率计算  CNKI文献

文中首先介绍如何用离子束溅射沉积法(IBSD)在铍青铜基片上制备Sm-Fe/Fe多层膜,详细描述镀膜方案和镀膜过程。其次,利用推导出的公式计算得出薄膜的理论沉积速率,并与称重法测得的薄膜实际沉积速率进行对比。最后,分析...

刘凯 《质量技术监督研究》 2021年05期 期刊

关键词: Sm-Fe/Fe多层膜 / 沉积速率

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Numerical study of the grid erosion of field emission ...  CNKI文献

In this paper, the immersed finite element particle-in-cell Monte Carlo collision(IFE-PIC-MCC)model is used to study the cause of the grid erosion in field emission electric propulsion(FEEP).The simu...

鹿畅 罗杨... 《Plasma Science and Technology》 2021年10期 期刊

关键词: IFE-PIC-MCC / FEEP / grid / erosion

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Investigation of variable aperture on the performance ...  CNKI文献

Beam flatness is an important parameter that determines the performance and the lifetime of a gridded ion thruster. To improve the beam flatness of the 30 cm(LIPS-300) ion thr...

陈娟娟 贾艳辉... 《Plasma Science and Technology》 2021年10期 期刊

关键词: ion / thruster / variable / aperture

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The far-field plasma characteristics of LHT40 low-powe...  CNKI文献

To achieve a better insight into the far-field plasma spatial distribution and evolution characteristics of the 300 W class low-power Hall thruster(LHT) for commercial aerospace applications, a dedic...

陈新伟 顾左... 《Plasma Science and Technology》 2021年10期 期刊

关键词: low / power / Hall / thruster

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Physical properties of relativistic electron beam  CNKI文献

It is known that ion channel can effectively limit the radial expansion of an artificial electron beam during its longrange propagation in the space plasma environment. Most prior studies...

薛碧曦 郝建红... 《Chinese Physics B》 2021年10期 期刊

关键词: ion / channel / space / plasma

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Study on Preparation and Ns-Laser Damage of HfO_2 Sing...  CNKI文献

The effects of the main parameters of argon flux, oxygen flux and beam voltage on the surface morphology, transmittance spectrum and laser damage of the HfO_2 single layers prepared by ion beam sputt...

Kesheng Guo Lang Hu... 美国科研出版社2021年论文汇编Ⅲ 2021-10-01 中国会议

关键词: HfO_2 / Single / Layers / Argon

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X射线光电子能谱和聚焦离子束法研究FeCrAl合金元素含量对涂...  CNKI文献

利用X射线光电子能谱(XPS)和聚焦离子束(FIB)技术,实现对FeCrAl合金涂层在1 200℃水蒸气环境下氧化行为的研究. XPS和FIB法可以检测和观测到材料随深度变化的界面层、化学态和真实结构等信息,具有直观、且信息丰富(含...

苗利静 江柯敏... 《分析测试技术与仪器》 2021年03期 期刊

关键词: X射线光电子能谱 / 聚焦离子束 / FeCrAl合金涂层 / 界面

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西安200 MeV质子应用装置负氢离子源及低能束流传输线实验研...  CNKI文献

对西安200 MeV质子应用装置的负氢离子源及低能束流传输线(LEBT)进行束流实验测量,实验中通过测量不同螺线管电流下的束流发射度相图分布,得到了离子源出口的Twiss参数;根据Twiss参数设计了尺寸紧凑的单螺线管LEBT进行...

王百川 王忠明... 《现代应用物理》 2021年03期 期刊

关键词: 负氢离子源 / 低能束流传输线 / XiPAF / Twiss参数

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双碳目标下源–网–荷多层评价体系研究  CNKI文献

双碳目标下,为促进电力行业能源升级、节能减排,需对电源、电网、用电环节低碳化发展水平进行综合分析,建立源–网–荷多层评价体系。首先,建立源–网–荷多层关键指标体系,电源侧主要考虑现有火电升级改造及新能源发...

李响 牛赛 《中国电机工程学报》 2021年S1期 期刊

关键词: 低碳 / 源–网–荷 / 评价体系 / 熵权法

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基于LNDM模型的碳离子束混合辐射场相同剂量平均LET下关键纳...  CNKI文献

纳剂量学量正在成为新的表征辐射品质的量,也是用于精确计算相对生物学效应(RBE)的基础数据。具有相同剂量平均传能线密度(LET)离子束混合辐射场导致的生物学效应也未必相同。为研究关键纳剂量学指标[电离簇尺寸NI_(C...

杨静芬 张晖... 《原子核物理评论》 2021年03期 期刊

关键词: 纳剂量学 / 相对生物学效应 / 碳离子放射治疗 / 蒙特卡罗模拟

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Design optimization and cold RF test of a 2.6-ce...  CNKI文献

To further improve the performance of accelerators, the first cryogenic normal-conducting RF gun in China was designed and manufactured. As a new and attractive trend, this optimized cryogenic ...

Cheng Wang Jian-Hao Tan... 《Nuclear Science and Techniques》 2021年09期 期刊

关键词: Photoinjector / Cryogenic / structure / C-band

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Electric resistivity of partially ionized plasma in th...  CNKI文献

The lower solar atmosphere is a gravitationally stratified layer of partially ionized plasma.We calculate the electric resistivity in the solar photosphere and chromosphere,which is the key parameter...

Jongchul Chae Yuri E.Litvinenko 《Research in Astronomy and Astrophysics》 2021年09期 期刊

关键词: plasmas / atomic / processes / magnetohydrodynamics

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聚焦离子束再沉积修正方法的元胞自动机验证  CNKI文献

利用聚焦离子束技术加工微结构时,由于溅射过程的再沉积效应,难以获得较为陡直的侧壁,对于高深宽比微结构尤甚。为优化聚焦离子束的加工工艺,提出一种单像素线辅助溅射刻蚀方法,对非陡直侧壁进行局部刻蚀修正,以期改善...

陈杰 马邦俊... 《光学精密工程》 2021年09期 期刊

关键词: 聚焦离子束 / 再沉积效应 / 高深宽比 / 侧壁校正

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新型金属丝靶电子源实验研究(英文)  CNKI文献

电子束在基础科学研究、工农业生产和医疗领域发挥了重要作用。提出了一种新型的电子源技术方案:高功率激光脉冲轰击金属丝靶,可以产生大量能量在百keV量级的热电子,一部分热电子在丝靶表面自生电磁场的作用下沿着丝靶...

殷佳鹏 远晓辉... 《强激光与粒子束》 2021年09期 期刊

关键词: 电子束 / 激光脉冲 / 金属丝 / 束团压缩

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Reconstructions of velocity distributions from fast-~#...  CNKI文献

2D fast-ion velocity-space distributions have been reconstructed from two-view fast-ion D-alpha(FIDA) measurements on experimental advanced superconducting tokamak(EAST). To make up for t...

宿建勋 万宝年... 《Plasma Science and Technology》 2021年09期 期刊

关键词: fast-ion / D-alpha(FIDA) / FIDASIM / velocity-space

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