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快速热处理中退火温度对Sol-gel法制备PZT铁电...  CNKI文献

利用Sol-Gel法在Pt/TiO2/SiO2/Si基底上用快速热处理(Rapid Thermal Processing,RTP)退火工艺制备出了致密的PZT铁电薄膜,主要研究了在退火时间为500s时退火温度对薄膜的结晶结构、表面形貌和铁电性能的影...

胡绍璐 赵海臣... 《信息通信》 2014年03期 期刊

关键词: 退火温度 / 快速热处理(RTP) / Sol-Gel法 / 铁电性能

下载(118)| 被引(1)

溶胶–凝胶法制备Pb(Zr_x,Ti_(1–x))O_3薄膜研究进展  CNKI文献

Pb(Zrx,Ti1-x)(PZT)铁电薄膜因具有优良的铁电性、压电性、热释电性和声光性能而受到广泛关注,其电、光性能与其制备过程密切相关。简要介绍了PZT薄膜制备工艺流程,系统地从前驱体溶液、摩尔比r(Zr:Ti)、...

王锡彬 熊杰... 《电子元件与材料》 2012年07期 期刊

关键词: Pb(Zrx / Ti1–x)O3 / 铁电薄膜 / 综述

下载(252)| 被引(4)

多孔氧化铝模板结合sol-gel旋转涂敷法制备PZT...  CNKI文献

利用溶胶-凝胶旋转涂敷法在通孔的多孔阳极氧化铝(PAA)模板中制备了锆钛酸铅(PZT)纳米管,研究了溶胶浓度对样品形貌的影响。利用SEM和TEM观察了纳米管阵列和单根纳米管的形貌,采用XRD和EDS图谱分析了纳米管的相...

宋晔 蒋龙飞... 《功能材料》 2012年12期 期刊

关键词: 氧化铝模板 / sol-gel法 / PZT / 纳米管

下载(192)| 被引(9)

PZT薄膜热退火工艺的研究及微传感器的制备  CNKI文献

锆钛酸铅(PZT)是一类压电智能材料,它具有良好的压电、铁电、热释电等特性。PZT能够以固体、纤维和膜的形式存在,还能与其它材料共同形成压电复合材料,广泛地应用于频率器件、超声波器件、发生器元件和减...

黄玲 导师:黄志雄 武汉理工大学 2011-04-01 硕士论文

关键词: Sol-Gel法 / Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3薄膜 / 热退火工艺 / 铁电性能

下载(335)| 被引(5)

Sol-Gel法在不同衬底上制备的LaNiO_3导电薄膜的性能...  CNKI文献

采用溶胶凝胶法快速成膜工艺分别在Si(100),SiO2/Si,Pt/Ti/SiO2/Si不同基底上制备LaNiO3导电薄膜,并分别以LNO和Pt/Ti为基底制备PZT薄膜。通过XRD,AFM,EDS等测试手段对LNO导电薄膜的结构及组成进行表征,并通过X...

汪静 姚熹 《山东科技大学学报(自然科学版)》 2010年06期 期刊

关键词: 溶胶凝胶法 / LaNiO3薄膜 / PZT薄膜 / XRD

下载(272)| 被引(3)

玻璃基LSCO/PZT/LSCO电容器的制备和铁电性能  CNKI文献

采用磁控溅射法制备La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜、sol-gel法制备Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(PZT)薄膜,在玻璃和Ti-Al/Si衬底上构架了LSCO/PZT/LSCO电容器,研究了衬底对LSCO/PZT/LSCO电容器结构和铁电性能...

赵敬伟 刘保亭... 《电子元件与材料》 2010年03期 期刊

关键词: 玻璃基LSCO/PZT/LSCO电容器 / 磁控溅射法 / sol-gel法 / 铁电性能

下载(123)| 被引(2)

退火温度对Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3薄膜结构及其性能的影...  CNKI文献

采用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对其晶格结构和微观形貌进行了表征,通过改变退火温度制得了具有单一钙钛矿结构的Pb(Zr0.53Ti0.47)O...

毛薇 秦岩... 《功能材料》 2009年12期 期刊

关键词: 退火温度 / Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜 / sol-gel法 / 铁电性能

下载(93)| 被引(1)

胶凝剂对Sol-Gel法合成PZT95/5粉体的影响  CNKI文献

在以无机盐为主要反应前驱物、水为主要溶剂的溶胶-凝胶法制备PZT95/5粉体中,胶凝剂具有重要的作用。研究表明:胶凝剂主要起到调节溶液pH值的作用,可影响溶胶和凝胶的形成,并影响凝胶的微观结构和PZT粉体...

王军霞 王进... 《中国陶瓷》 2008年09期 期刊

关键词: PZT95/5 / Sol-Gel / 胶凝剂

下载(74)| 被引(0)

ZnO薄膜压电微力传感器/执行器研究  CNKI文献

用MEMS技术探索制作的悬臂梁式ZnO薄膜压电微力传感/执行系统,具有微型化、灵敏度高,能实现传感器/执行器的功能集成以及系统智能化等诸多优点。但是,由于悬臂梁式ZnO薄膜压电微力传感/执行系统存在悬空结构,有...

王敏锐 导师:王立鼎 大连理工大学 2006-12-01 博士论文

关键词: 微力传感器/执行器 / ZnO压电薄膜 / Sol-Gel法 / 工艺兼容

下载(1435)| 被引(8)

NiTi SMA/PZT复合材料的制备及阻尼特性研究  CNKI文献

本论文采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)在NiTi形状记忆合金(SMA)基体上沉积PbZrTiO_3(PZT)铁电陶瓷薄膜而制备NiTi SMA/PZT复合材料。探讨了用柠檬酸代替有机醚制备PZT先驱体的反应机理。通过对不...

刘远锋 导师:刘庆锁 天津理工大学 2006-12-01 硕士论文

关键词: NiTi / SMA/PZT / Sol-Gel法 / 晶化

下载(206)| 被引(0)

Nb和Co掺杂对PZT铁电薄膜电性能的影响  CNKI文献

Sol-Gel法在ITO玻璃衬底上制备了不同比例Nb和Co掺杂的PZT铁电薄膜,薄膜呈以(1 0 1)为首要方向的多晶结构.测试结果表明:Co掺杂的PZT薄膜的剩余极化、矫顽场、介电常数和漏电流密度均大于PZT

刘国营 柳擎 《重庆工学院学报》 2006年08期 期刊

关键词: Co和Nb掺杂PZT / 铁电薄膜 / Sol-Gel法 / 电学性质

下载(150)| 被引(2)

Nb和Co掺杂对PZT铁电薄膜电性能的影响  CNKI文献

sol-gel法在ITO玻璃衬底上制备了不同比例Nb和Co掺杂的PZT铁电薄膜,薄膜呈以(101)为首要方向的多晶结构。结果表明,Co掺杂的PZT薄膜的剩余极化强度、矫顽场强、相对介电常数和漏电流密度均大于~#...

刘国营 柳擎... 《电子元件与材料》 2006年08期 期刊

关键词: 无机非金属材料 / Co和Nb掺杂 / PZT铁电薄膜 / sol-gel法

下载(135)| 被引(1)

ITO玻璃衬底上PLZT铁电薄膜的制备与电性能  CNKI文献

sol-gel法在掺Sn的In2O3导电透明膜(ITO)衬底上,制备了La掺杂的PbZr0.5Ti0.5O3(PLZT)铁电薄膜。研究了La掺杂量对薄膜的铁电、介电和漏电性质的影响。结果表明,x(La)为5%的PLZT薄膜经650℃退火,有优良的铁电特...

刘国营 刘祖黎... 《电子元件与材料》 2006年02期 期刊

关键词: 无机非金属材料 / PLZT铁电薄膜 / 掺锡氧化铟 / sol-gel法

下载(283)| 被引(8)

分散剂在sol-gel法制备PZT粉体中的应用  CNKI文献

采用sol-gel法制备了PZT纳米粉体。针对硝酸铅会从干凝胶中析出的问题,分析了硝酸铅的析出原因,采取在溶胶中加入柠檬酸三铵作为分散剂来消除硝酸铅的偏析。实验结果表明:当柠檬酸三铵的加入量为醋酸铅的...

严继康 甘国友... 《电子元件与材料》 2006年01期 期刊

关键词: 无机非金属材料 / 分散剂 / 柠檬酸三铵 / sol-gel法

下载(271)| 被引(5)

不同PT厚度的PZT/PT复合薄膜的性能研究  CNKI文献

采用改进的sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备PZT/PT复合薄膜(共10层),PT的层数分别为2,4,6和8层。结果表明,600℃热处理的PZT/PT复合薄膜为钙钛矿结构,无第二相。随着PT厚度的增加,εr变小,100k...

李于利 汪静... 《电子元件与材料》 2006年01期 期刊

关键词: 无机非金属材料 / 复合薄膜 / PZT/PT / sol-gel法

下载(181)| 被引(1)

铁电存储器用Bi_(3.25)La_(0.75)Ti_3O_(12)薄膜的制...  CNKI文献

铁电存储器是一种在断电时不会丢失存储信息的非易失存储器,具有高速、高密度、低功耗和抗辐射等优点,显示出良好的应用前景和极大的发展潜力。而具有性能优良的铁电薄膜是制作铁电存储器的基础。本文以应用于非易失性...

郭冬云 导师:于军 华中科技大学 2005-11-01 博士论文

关键词: 铁电存储器 / 铁电薄膜 / Sol-Gel法 / Bi_4Ti_3O_(12)

下载(422)| 被引(0)

Sol-Gel法制备PZT陶瓷超细粉的研究  CNKI文献

以乙酸铅(Pb(CH3COO)2·3H2O)、钛酸四丁酯(Ti(OC4H9)4)、硝酸锆(Zr(NO3)4·5H2O)替代锆醇盐为原料,采用改进的Sol-Gel工艺,制备出结晶良好、化学组成精确、颗粒分散性好、粒径约为20~30nm的PZT...

夏冬林 刘梅冬... 《压电与声光》 2005年03期 期刊

关键词: 锆钛酸铅(PZT) / 陶瓷超细粉 / Sol-Gel法

下载(245)| 被引(7)

PZT铁电薄膜的制备与研究  CNKI文献

制备PZT薄膜时,通常使用有机醇盐来配制溶胶,其中有机锆价格昂贵、对设备要求高,而无机锆盐可以克服这些缺点。另外,在选用衬底材料时,为了与集成电路兼容,一般选用Si/SiO_2/Ti/Pt多层结构,但工艺较复杂,且成本...

张兴国 导师:刘军 江苏大学 2005-04-01 硕士论文

关键词: Sol-gel法 / PZT / 钙钦矿 / 超细粉体

下载(1035)| 被引(8)

前驱单体溶胶-凝胶法制备多元氧化物薄膜  CNKI文献

本文提供了一新的溶胶-凝胶法制备多元氧化物薄膜技术,此方法相对于传统溶胶-凝胶技术其优势主要体现在能够方便快捷地制备前驱体溶胶液,可任意改变所制备金属多元氧化物中金属离子的摩尔配备及掺杂金属离子种类与掺杂...

陈祝 杨成韬... 2004年中国材料研讨会论文摘要集 2004-11-01 中国会议

关键词: Sol-Gel法 / 前驱单体 / PZT

下载(27)| 被引(0)

前驱单体溶胶-凝胶法制备多元氧化物薄膜  CNKI文献

本文提供了一新的溶胶-凝胶法制备多元氧化物薄膜技术,此方法相对于传统溶胶-凝胶技术其优势主要体现在能够方便快捷地制备前驱体溶胶液,可任意改变所制备金属多元氧化物中金属离子的摩尔配备及掺杂金属离子种类与掺杂...

陈祝 杨成韬... 2004年中国材料研讨会论文摘要集 2004-11-01 中国会议

关键词: Sol-Gel法 / 前驱单体 / PZT

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