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射频溅射法制备纳米硅(nc-Si:H)薄膜的研究  CNKI文献

本文主要研究了用射频(RF13.56Hz)溅射法制备的纳米硅(nano-crystalline silicon——nc-Si:H)薄膜的表面物理结构及光电特性,试验中对射频溅射功率、反应气压、溅射时间、气体比例等工艺参数进行了调整,制备出了不同厚...

于化从 崔容强... 21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集 2003-06-30 中国会议

关键词: 射频溅射 / 纳米硅薄膜 / 表面形貌 / 光电特性

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高频溅射法生长纳米硅薄膜  CNKI文献

纳米薄膜是具有纳米微结构的薄膜材料,具有卓越的光敏性和电子学特性,在量子器件及光电器件方面,有很好的应用前景,因而激发了人们的研究兴趣。纳米硅薄膜已经由多种方法成功地制得,如RF溅射方法和RF-PECVD方法。我们...

赵占霞 崔容强... 21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集 2003-06-30 中国会议

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微型单片集成晶体硅太阳电池的研究  CNKI文献

本文报道了用微型单片集成晶体硅太阳电池为MEMS供电的研究结果。研究发现:采用高效太阳电池将光能转换为电能,为MEMS供电是一种切实可行的方案,可在同一块单晶硅衬底上采用与MEMS相兼容的工艺技术,实现太阳电池的分割...

于化从 杨宏... 21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集 2003-06-30 中国会议

关键词: 微型 / 硅太阳电池 / 串联集成 / MEMS

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