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双焦干涉表面微观轮廓检测  CNKI文献

本文论述一种高灵敏度的新型表面轮廓检测系统。该系统由双焦透镜偏振共路干涉系统及共模抑制电子处理系统两部分组成。可用于各种材料表面的无损检测。该系统的纵向灵敏度小于20A,横向灵敏度小于2μm。与Talysurf-6触...

卓永模 杨甬英... 《仪器仪表学报》 1993年02期 期刊

关键词: 共模抑制 / 干涉系统 / 电子处理系统 / 材料表面

下载(105)| 被引(30)

双焦干涉球面微观轮廓仪  CNKI文献

本文论述一种高分辨率的球面微观轮廓仪。仪器由三部分组成:双焦透镜偏振共路干涉系统;五维球面扫描工作台及其驱动系统;共模抑制电子处理系统。可用于各种球形表面(如光学透镜,球面反射镜及滚珠等)的无损精密检...

卓永模 杨甬英... 《仪器仪表学报》 1995年03期 期刊

关键词: 显微物镜 / 横向分辨率 / 共模抑制技术 / 纵向分辨率

下载(96)| 被引(18)

双波长数字波面干涉术及其误差的消除  CNKI文献

本文论述双波长数字波面干涉术的原理及算法,分析该技术的主要误差及其校正方法。整个软件在IBM—PC上运行通过,完成了自动检测过程并给出表面形貌及主要参数。

卓永模 李天平 《浙江大学学报(自然科学版)》 1989年04期 期刊

关键词: 双波长 / 干涉术 / 等效波长 / 误差修正

下载(54)| 被引(3)

激光风洞模型测角系统的研究  CNKI文献

本文论述一种用于超音速风洞飞机模型攻角测量的激光测角系统。该系统包括测角、跟踪和补偿三个部分,文中详述这三部分的作用原理。介绍初步的实验。该测角系统的测角精度为0.005°,测角速度为120°/秒,测角范...

卓永模 杨甬英 《光电工程》 1990年01期 期刊

关键词: 激光测角仪 / 风洞 / 冲角 / 光栅剪切干涉仪

下载(47)| 被引(2)

共路剪切条纹扫描干涉仪  CNKI文献

本文论述共路剪切扫描干涉仪原理,提出两种共路剪切干涉系统及一种新的条纹扫描方法。该干涉仪能有效地对光学表面、透镜进行精密检测,特别适用于光学非球面的检测,电适用于在没有严格环境控制的加工现场,对光学元件进...

卓永模 任晓明 《仪器仪表学报》 1989年03期 期刊

关键词: 位相调制 / 干涉条纹 / 条纹扫描 / 光学表面

下载(44)| 被引(2)

带扫描器的低频激光测振仪  CNKI文献

本文论述一种测量低频正弦振动的振幅和标定低频振动加速度计的激光测振仪。该仪器具有对垂直振动台和水平振动台逐点扫描的性能。振幅测量范围为±30μ~±40mm,频率范围为0.1Hz~600Hz,测量精度为1%~0.1%...

卓永模 龚兆元 《应用激光》 1984年01期 期刊

关键词: 信噪比 / 干涉条纹 / 激光测振仪 / 光强变化

下载(63)| 被引(1)

散射板干涉仪中散射板反转对称误差和口径的确定  CNKI文献

散射板是散射板干涉条仪的最重要元件。本文从干涉条纹对比角度来分析散射板的影响,由此可确定散射板反转对称误差及口径的容限。

卓永模 逢建华 《浙江大学学报》 1986年05期 期刊

关键词: 散射板 / 对称中心 / 散射点

下载(14)| 被引(1)

用相位细分调制法测量高频振动的振幅  CNKI文献

本文介绍一种用于频率范围2~5O千周,振幅500~3000埃的高频振动的测振方法,它以激光波长为标准,是一种振幅绝对测量法.此法的干涉系统通过测量光束与标准高频振动台发生联系,当振动台振动时,移动的干涉条纹经光电转换...

卓永模 《激光》 1978年Z1期 期刊

关键词: 相位细分 / 高频振动

下载(37)| 被引(0)

一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针  CNKI文献

一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针卓永模牟旭东杨甬英(浙江大学光科系杭州310028)本文论述一种微型干涉光探针,它可用于扫描力显微镜中探测微探针的纵向偏摆,进而精确测出样品表面三维超精细结构。论文...

卓永模 牟旭东... 《大连理工大学学报》 1997年S2期 期刊

关键词: 扫描力显微镜 / 微探针 / 干涉效应

下载(32)| 被引(0)

宽范围大曲率半径数字化非接触测量系统  CNKI文献

本文提出了一种新颖的利用激光偏振干涉体系产生非接触的牛顿环并与 CCD图像处理技术相结合的测量方法。可测量的曲率半径为 1~ 2 5m,具有很宽的测量范围 ;非接触测量不会损坏高精度表面 ;并可测试任意反射率的凹、凸...

杨甬英 卓永模 《仪器仪表学报》 2002年01期 期刊

关键词: 干涉仪 / 曲率半径 / 干涉图分析 / CCD列阵

下载(189)| 被引(20)

双焦干涉球面轮廓仪机构分析  CNKI文献

介绍了双焦干涉球面微观轮廓仪的总体设计,对议器结构的核心部分:扫描工作台和调焦系统的设计作了详细的分析并通过不同R的球面进行了实测示例。

徐敏 卓永模... 《光学仪器》 1996年04期 期刊

关键词: 双焦干涉 / 轮廓仪 / 球面测试

下载(48)| 被引(1)

偏振共路扫描剪切干涉仪及其二维剪切波面重构的研究  CNKI文献

本文在共路剪切实时干涉仪的基础上,着重分析了利用斜率法和网格变维法进行二维(?)面重构的算法,并给出了计算机模拟计算结果。

杨甬英 卓永模 《浙江大学学报(自然科学版)》 1991年01期 期刊

关键词: 剪切 / 干涉仪 / 干涉术 / 非球面

下载(85)| 被引(6)

基于时域有限差分方法的点衍射波前误差分析  CNKI文献

小孔的直径影响小孔衍射波前的误差,进而会影响点衍射干涉(PDI)检测的精度。基于矢量衍射理论中的时域有限差分(FDTD)方法,精确分析了可见光情况下衍射小孔直径接近以及小于入射光波长时所对应的衍射波前相对于标准球...

陈琛 杨甬英... 《中国激光》 2011年09期 期刊

关键词: 光学测量 / 点衍射干涉检测 / 时域有限差分法 / 波前误差

下载(312)| 被引(35)

激光扫描力显微轮廓术的研究  CNKI文献

本文论述了一种用于超高分辨率精密检测技术的激光扫描力显微镜(SFM)。它是以一钨丝微探针作为力传感器,用双焦干涉仪作为光探针来检测样品扫描时微探针受力产生的偏摆。微探针以谐频振动,当样品与探针距离变化...

杨甬英 卓永模... 《仪器仪表学报》 1996年S1期 期刊

关键词: 双焦透镜 / 干涉仪 / 光探针 / 激光扫描

下载(72)| 被引(7)

点衍射球面检测中的斜反射波前像差校正  CNKI文献

针对高精度点衍射球面检测系统中金属反射介质的偏振效应,分析了不同偏振态光束在不同孔径角范围情况下所引入的斜反射波前像差。通过数值仿真,对金属反射介质所引入的斜反射相移曲线特征进行了分析,并以此为基础,提出...

王道档 杨甬英... 《光学学报》 2011年06期 期刊

关键词: 测量 / 点衍射干涉仪 / 像差校正 / 偏振效应

下载(288)| 被引(20)

激光双焦干涉球面轮廓仪实时扫描及数据处理系统  CNKI文献

介绍了一种双焦干涉球面扫描轮廓仪,该仪器利用计算机及自动控制系统对曲率半径从±5mm~±30mm的球面进行扫描驱动及采样,并将球面轮廊信号通过A/D转换及数据处理后显示打印表面轮廓参数。整个系统功能齐全...

杨甬英 卓永模... 《光学仪器》 1994年Z1期 期刊

关键词: 双焦干涉 / 轮廓仪 / 实时扫描 / 数据处理

下载(82)| 被引(2)

非球面非零位检测中的回程误差分析与校正  CNKI文献

光学测试中常用非零位法来对非球面进行初步检测。由于非零位法偏离了零位条件,导致检测得到的被测非球面而形与其真实面形存在一定程度的偏差(称之为回程误差)。分析了非球面非零位检测系统中的回程误差问题,得出了回...

刘东 杨甬英... 《光学学报》 2009年03期 期刊

关键词: 非球面检测 / 非零位检测 / 回程误差 / 误差校正

下载(424)| 被引(22)

适于大口径精密光学表面疵病图像的拼接算法  CNKI文献

在大口径精密光学表面疵病检测中,针对原有图像拼接算法在子孔径图像数目较多时易产生拼接错位的情况,提出了基于特征分类的多层次图像拼接算法.该算法分为特征分类和多层次拼接2部分:前一部分通过重叠区域内特征的提...

肖冰 杨甬英... 《浙江大学学报(工学版)》 2011年02期 期刊

关键词: 疵病检测 / 图像拼接 / 特征分类

下载(397)| 被引(21)

非球面部分补偿检测系统的误差分析与处理  CNKI文献

为了实现非球面通用化、高精度检测,提出非球面部分补偿法,并进行误差分析与处理.在光学设计软件ZEMAX中对部分补偿检测系统进行系统建模并优化,分析器件姿态误差及装调精度对重构非球面面形的影响.通过对系统误差的分...

骆永洁 杨甬英... 《浙江大学学报(工学版)》 2012年04期 期刊

关键词: 非球面检测 / 部分补偿法 / 误差分析 / 误差存储

下载(326)| 被引(16)

高精度单幅闭合条纹干涉图相位重构技术  CNKI文献

在干涉检测中,常用各种调制手段将被测信息加载到干涉图中,通过对检测得到的条纹图样进行分析,便可以得到被测信息。如果实验条件不允许施加任何调制手段,探测器检测得到的将很有可能是具有闭合条纹的单幅干涉图。正则...

刘东 杨甬英... 《中国激光》 2010年02期 期刊

关键词: 测量 / 干涉图 / 闭合条纹 / 相位重构

下载(384)| 被引(13)

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