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纳米梁非线性振动的动力学分析  CNKI文献

当MEMS谐振梁的尺寸进一步缩小到nm量级时,实验表明在外部激励的作用下,器件运动状态更容易从线性区进入到非线性区。考虑纳米梁的轴向非线性伸长因素,利用连续体弹性理论建立了物理模型,并利用该模型分析了纳米梁的幅...

宋震煜 于虹 《微纳电子技术》 2006年03期 期刊

关键词: 纳机电系统 / 连续体 / 非线性模型 / duffing方程

下载(334)| 被引(18)

纳米梁的非线性行为研究及单晶硅纳米薄膜杨氏模量的分子动...  CNKI文献

随着微加工工艺的不断进步,微电子机械器件的尺寸进一步缩小至亚微米甚至纳米尺度已成为现实,从而使得研究进入了全新的NEMS领域。然而研究NEMS的理论不能像制作工艺一样依托于分析MEMS的宏观线性理论,尺寸的减小,比表...

宋震煜 导师:于虹 东南大学 2006-03-28 硕士论文

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下载(466)| 被引(5)

纳米梁的动态特性研究  CNKI文献

根据Langmuir的单层吸附理论分析了梁对气体的动态吸附,考虑了在气体自由程和梁的尺寸可比拟时的气体阻力作用,并在此基础上对原有的谐振梁振动的非线性模型作了修正。

宋震煜 于虹... 中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一) 2005-08-01 中国会议

关键词: 纳机电系统 / 非线性 / 动态吸附 / 空气阻尼

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