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10kV等离子体表面改性高压脉冲电源  CNKI文献

研制的10 kV高压脉冲电源采用脉冲单元叠加技术,将12组相互独立的各脉冲单元模块串联起来,采用同步驱动技术,实现了10 kV的高压脉冲输出。可通过增减脉冲单元的数量,满足不同输出电压的需要,实现了模块化设计。该电源...

巩春志 田修波... 《强激光与粒子束》 2007年11期 期刊

关键词: 等离子体表面改性 / 高压脉冲电源 / 脉冲单元模块 / 串联

下载(409)| 被引(9)

TiN涂层轴承钢电子束辐照过程电子行为及温度特性研究  CNKI文献

目的研究辐照过程中电子行为及温度场的分布规律。方法采用束斑直径为60 mm,平均能流密度为12 J/cm~2,脉冲时间为3μs的电子束,对表面有2μm厚TiN涂层的9Cr18轴承钢进行强流脉冲电子束辐照模拟,通过建立Monte-Carlo仿...

巩春志 王雪松... 《精密成形工程》 2018年01期 期刊

关键词: 强流脉冲电子束 / 温度场 / 薄膜 / 数值模拟

下载(88)| 被引(0)

管筒内壁自激射频放电等离子体浸没离子注入方法研究  CNKI文献

为了提高管筒状零部件的性能和使用寿命,人们常采用表面改性技术。离子注入做为一种有效的表面改性手段一直受到人们的重视,但对于细管筒内表面的处理均匀性无能为力。本文以管筒内部等离子体产生与内壁离子注入为目标...

巩春志 导师:杨士勤 哈尔滨工业大学 2008-09-01 博士论文

关键词: 管筒 / 等离子体浸没离子注入 / 自激射频放电 / 等离子体粒子模拟

下载(364)| 被引(1)

脉冲射频/40kV高压直接耦合等离子体离子注入电源系统研制  CNKI文献

研制的用于等离子体浸没离子注入(PIII)的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40 kV高压脉冲电源与13.56 MHz射频电源直接耦合,由单一输出电缆连接到实验靶台上,通过射频与高压脉冲的时序控制,实现了40 kV的高压脉...

巩春志 田修波... 《真空科学与技术学报》 2011年03期 期刊

关键词: 脉冲射频 / 高压脉冲 / 直接耦合 / 等离子体离子注入

下载(262)| 被引(0)

利用射频与高压直接耦合等离子体注入进行不锈钢表面改性  CNKI文献

介绍了一种新的等离子体离子注入在不锈钢表面改性上的应用。将高压脉冲和射频脉冲直接耦合到工件上,不需外部等离子体源,利用工件自身加射频产生等离子体,随后施加高压对不锈钢表面进行了注氮处理。XPS分析显示,在基...

巩春志 田修波... 《微细加工技术》 2008年04期 期刊

关键词: 射频 / 高压 / 耦合 / 等离子体离子注入

下载(160)| 被引(1)

第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研...  CNKI文献

由中国力学学会等离子体技术专业委员会、哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室、中国农业机械化科学研究院以及北京大学深圳研究生院共同主办的第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及...

巩春志 《真空》 2018年01期 期刊

关键词: 哈尔滨工业大学 / 第五届 / 高层论坛 / 研讨会

下载(36)| 被引(0)

微细硬质合金刀具沉积金刚石薄膜的形核研究  CNKI文献

形核是HFCVD金刚石薄膜沉积的重要阶段,对金刚石薄膜质量至关重要。为实现金刚石薄膜在微细硬质合金刀具表面的高质量形核,选取了形核过程中的几个核心参数:热丝功率(P_f)、碳氢比(X)以及形核气压(p),设计了三因素三水...

孔维星 巩春志... 《真空与低温》 2019年03期 期刊

关键词: 微细硬质合金刀具 / 金刚石薄膜 / 形核 / 正交试验

下载(154)| 被引(1)

基于PLC的微弧氧化电源控制系统研制  CNKI文献

基于可编程序控制器(PLC)研制了微弧氧化电源智能控制系统,系统人机通讯良好,不仅实现了电压、电流以及过程控制,更重要的是利用PLC内部和外接电路协调作用实现了PLC的脉冲宽度和频率控制,实现了恒流、恒压脉冲精确控...

李一 巩春志... 《机械工程师》 2009年07期 期刊

关键词: PLC / 脉冲控制 / 微弧氧化电源

下载(188)| 被引(6)

等离子体离子注入PIC仿真的MATLAB实现  CNKI文献

MATLAB是当今先进计算软件之一,它提供的各类工具箱和内置函数给应用者带来了极大的方便。本文通过调用MATLAB中偏微分方程工具箱和插值函数实现了方管内表面等离子体离子注入的Particle-In-Cell模拟,并与传统其他语言...

裴宪军 巩春志... 《真空科学与技术学报》 2012年06期 期刊

关键词: MATLAB / 等离子体离子注入 / 方管 / Particle-in-Cell

下载(360)| 被引(3)

低气压射频空心阴极放电氩等离子体发射光谱分析  CNKI文献

利用射频空心阴极作为放电结构,测试了放电结构在低气压下的发射光谱,并计算了电子温度,分析了不同放电条件对光谱强度及电子温度的影响。研究发现,随着气体流量的增加,氩原子谱线强度和等离子体电子温度呈现出先增加...

许建平 巩春志... 《真空科学与技术学报》 2013年10期 期刊

关键词: 射频放电 / 发射光谱 / 空心阴极 / 电子温度

下载(190)| 被引(3)

基于同步信号的多路延时IGBT驱动电路设计  CNKI文献

基于同步信号设计了一种可实现相互之间高压隔离的IGBT多路延时驱动电路系统,并应用到Marx电路中,实现了可柔性调节的阶梯型脉冲高压输出。试验结果表明,延时驱动电路可实现最大30μs的延时,且具有IGBT驱动电压欠压保...

石经纬 巩春志... 《电力自动化设备》 2012年01期 期刊

关键词: 延时 / 驱动电路 / Marx电路 / 阶梯型脉冲

下载(354)| 被引(5)

倍频微脉冲复合高功率磁控溅射TiCN薄膜结构及性能研究  CNKI文献

如何提高高功率磁控溅射技术(HIPIMS)的沉积速率一直是PVD领域的研究热点,微脉冲复合高功率磁控溅射技术由于其在常规HIPIMS的单脉冲内耦合多个微脉冲,不仅进一步激励等离子体放电,更有效降低了磁控靶回吸现象,有利于...

张炜鑫 巩春志... 《真空与低温》 2019年02期 期刊

关键词: 微脉冲 / 高功率磁控溅射 / TiCN / 沉积速率

下载(111)| 被引(1)

磁控溅射TiN/Cu-Zn纳米多层膜腐蚀和抗菌性能研究  CNKI文献

采用双靶磁控溅射的方法在不锈钢表面沉积了TiN/Cu-Zn纳米多层膜,研究了多层结构对膜层耐腐蚀性能和抗菌性能的影响,以及表面腐蚀与抗菌的关系。结果表明,Cu-Zn层比较薄时,膜层的耐腐蚀性能比较好,随着Cu-Zn层厚度的增...

韦春贝 巩春志... 《真空科学与技术学报》 2010年01期 期刊

关键词: 磁控溅射 / TiN/Cu-Zn多层膜 / 腐蚀 / 抗菌性能

下载(374)| 被引(12)

直流磁控溅射电源研制及输出特性研究  CNKI文献

磁控溅射技术在薄膜制备领域广泛应用,电源是磁控溅射镀膜的关键设备之一。本文介绍了全桥逆变直流磁控溅射电源主电路和控制电路的设计,该电源输出功率2 kW,采用PI恒流控制,具有过流保护。通过阻性负载测试表明电源具...

曹珍恩 巩春志... 《真空》 2008年02期 期刊

关键词: 磁控溅射 / 电源 / 全桥变换 / 恒流

下载(548)| 被引(19)

真空镀膜设备的简易快捷酒精检漏的有效性研究  CNKI文献

由于缺乏统一规范,如何用酒精高效快速的确定漏点一直是真空镀膜企业重点关注的问题。本文通过对真空镀膜设备的喷酒精检漏的有效性开展研究,并用氦质谱检漏进行验证与标定,系统研究了气压工作范围、抽气速率、漏点结...

靳朋礼 巩春志... 《真空》 2019年05期 期刊

关键词: 真空 / 检漏 / 酒精 / 氦质谱检漏仪

下载(66)| 被引(1)

工艺参数对空心阴极真空电弧电子温度影响  CNKI文献

为了研究空心阴极真空电弧等离子体特性,通过光谱仪获得了空心阴极真空电弧的发射光谱分布,同时利用相对强度法计算了电子激发温度.结果表明,空心阴极真空电弧等离子体主要由氩离子、氩原子构成;随着放电气压的降低和...

许建平 巩春志... 《焊接学报》 2014年06期 期刊

关键词: 空心阴极 / 真空电弧 / 发射光谱 / 电子温度

下载(165)| 被引(2)

Cu-Zn掺杂对TiN复合膜层组织性能的调制  CNKI文献

利用磁控溅射方法在不锈钢表面沉积了Cu-Zn掺杂TiN复合膜,研究不同的Cu、Zn含量对膜层结构和性能(硬度、耐磨性能以及耐腐蚀性能)的影响.结果表明,掺杂的Cu、Zn可以阻止TiN晶粒生长,随掺杂量增加TiN晶粒细化,Cu、Zn含...

韦春贝 巩春志... 《无机材料学报》 2009年06期 期刊

关键词: 磁控溅射 / TiN复合膜 / Cu-Zn掺杂

下载(157)| 被引(7)

阴极弧径向不同位置膜层性能分布规律  CNKI文献

利用阴极弧沉积的方法在201不锈钢基体上制备了TiN薄膜,研究了阴极弧径向不同位置大颗粒、膜厚以及膜层性能的分布规律。分别采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析了膜层的相结构、膜层的表面形貌和截面形貌。...

魏永强 巩春志... 《稀有金属材料与工程》 2009年05期 期刊

关键词: 多弧离子镀 / 硬度 / TiN / 摩擦磨损

下载(144)| 被引(8)

V型铝槽内腔微弧氧化的不均匀性  CNKI文献

采用恒压模式于硅酸盐体系中在V型内腔试件表面制备微弧氧化膜,研究V型角度对微弧氧化膜不均匀性的影响。采用数字式测厚仪、扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究其微观结构,利用电化学分析仪进行耐蚀性的评定。结果表明...

马英鹤 巩春志... 《中国有色金属学报》 2011年11期 期刊

关键词: 纯铝 / V型槽 / 微弧氧化 / 不均匀性

下载(122)| 被引(2)

脉冲偏压对矩形平面大弧源离子镀TiN膜层性能的影响  CNKI文献

采用矩形平面大弧源离子镀技术在201奥氏体不锈钢基体表面制备TiN硬质薄膜,研究了脉冲偏压对TiN膜层的表面形貌、相结构、硬度和耐磨性能的影响.结果表明,随着脉冲偏压的增大,薄膜中大颗粒的数目先增加后减少,这是大颗...

林永清 巩春志... 《材料研究学报》 2008年04期 期刊

关键词: 无机非金属材料 / 离子镀 / 矩形靶 / 脉冲偏压

下载(175)| 被引(6)

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