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磁控溅射技术制备TiO_2薄膜的研究进展  CNKI文献

介绍了磁控溅射法镀膜的基本原理,综述了近年来关于溅射功率、工作压强、氩氧比例、沉积温度和退火等工艺参数以及掺杂对T iO2薄膜结构、形貌和光学性质影响的研究进展,并对磁控溅射技术制备T iO2薄膜的发展方向进行了...

卫会云 张笑妍... 《光谱实验室》 2012年02期 期刊

关键词: 二氧化钛薄膜 / 工艺参数 / 结构 / 形貌

下载(504)| 被引(16)

退火对TiO_2薄膜形貌、结构及光学特性影响  CNKI文献

利用射频磁控溅射技术在熔融石英基片上制备TiO2薄膜,采用X射线衍射、扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱以及透过谱研究了退火温度和退火气氛对TiO2薄膜的结构、形貌和光学特性的影响.实验结果表明:在大气环境下退火,退火...

邢杰 卫会云... 《物理实验》 2011年05期 期刊

关键词: TiO2薄膜 / 金红石 / 锐钛矿 / 射频磁控溅射

下载(278)| 被引(7)

二氧化钛薄膜的制备及退火对其形貌、结构的影响  CNKI文献

利用磁控溅射技术,在石英基片上沉积Ti膜,分别在400、600、700、900℃的大气中退火获得TiO2薄膜。采用这种制备方式获得的TiO2薄膜呈现不同的颜色,退火温度为400℃的样品为暗紫红色,600℃时为黑色,而在700℃和900℃时...

卫会云 邢杰... 《光谱实验室》 2011年06期 期刊

关键词: 二氧化钛薄膜 / 退火温度 / 锐钛矿 / 金红石

下载(716)| 被引(4)

Ti靶及TiO_2靶溅射TiO_2薄膜微观形貌、结构及光学性质研究  CNKI文献

利用射频磁控溅射技术通过Ti靶及TiO2靶在氩氧气氛中同时溅射制备TiO2薄膜,并对所得的样品进行不同温度的退火处理。采用X射线衍射、扫描电子显微镜、拉曼光谱和吸收谱研究了不同的靶材及退火温度对TiO2薄膜晶体结构、...

张笑妍 邢杰... 《化工新型材料》 2012年03期 期刊

关键词: TiO2薄膜 / 退火 / 锐钛矿 / 金红石

下载(212)| 被引(2)

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