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微机电系统集成设计方法与实现技术  CNKI文献

针对微机电系统设计所存在的多学科交叉、周期长等问题 ,提出自顶向下设计与自底向上修正的双向微机电系统集成设计方法 ,将设计流程分为系统级、器件级和工艺级三个阶层 ;以微惯性器件为典型对象研究了各阶层的关键实...

常洪龙 苑伟政... 《中国机械工程》 2004年10期 期刊

关键词: 微机电系统 / 集成设计 / 设计平台 / 系统级

下载(652)| 被引(32)

基于“Top-Down”的MEMS集成设计方法及关键技术研究  CNKI文献

MEMS是新兴的技术领域,具有广阔的应用前景,世界各国都将其作为研究和发展的重点。但目前MEMS的发展面临着产品研发周期长、成本高等问题,研究表明MEMS的设计水平落后于制造水平是问题的原因所在。因此,人们通过寻...

常洪龙 导师:苑伟政 西北工业大学 2002-02-02 硕士论文

关键词: 微型机电系统 / 集成设计 / Top-Down方法 / 系统级建模

下载(527)| 被引(15)

音叉电容式微机械陀螺的误差源分析与消除  CNKI文献

误差源是以弱小信号处理为特征的微机械陀螺精度提高的主要制约因素。分析了音叉电容式微机械陀螺由本身工作模式和加工误差造成的两类误差源 ,并探讨了相应的消除方法。首先采用分离电极方法消除了驱动模态位移电流对...

常洪龙 苑伟政 《西北工业大学学报》 2004年06期 期刊

关键词: 音叉电容式 / 微机械陀螺 / 误差源 / 耦合

下载(318)| 被引(14)

大输出微控制力矩陀螺的设计  CNKI文献

为了提高微控制力矩陀螺的输出力矩,提出了一种微型控制力矩陀螺的设计方案。所设计的微型控制力矩陀螺用角振动代替了传统控制力矩陀螺的转动,由转子角振动系统及框架角振动系统组成,实现了基于科氏效应的控制力矩输...

常洪龙 白滨... 《传感技术学报》 2011年08期 期刊

关键词: 微机电系统 / 微控制力矩陀螺 / 陀螺阵列 / 姿态控制

下载(222)| 被引(2)

Notching效应在MEMS风速仪制造工艺中的应用  CNKI文献

深反应离子刻蚀(DRIE)工艺在目前的硅微机械高深宽比结构加工中应用十分广泛。在SOI硅片DRIE刻蚀过程中,存在着一些被认为对刻蚀速率和结构轮廓不利的效应,如横向刻蚀(Notching)效应。通过在结构旁布置牺牲结构-硅岛,...

常洪龙 周平伟... 《传感技术学报》 2013年02期 期刊

关键词: MEMS风速仪 / 悬空硅 / 横向刻蚀效应 / 深反应离子刻蚀

下载(116)| 被引(1)

一种可支持任意流程的MEMS设计工具  CNKI文献

当前MEMSCAD软件中可以支持的设计流程比较固定和单一,已不能完全满足由MEMS器件种类日益增多所带来的设计新需求.论文提出了一种可支持任意流程的MEMS设计方法,并基于此建立了设计工具原型系统.该方法采用通用的系统...

常洪龙 谢建兵... 《传感技术学报》 2006年05期 期刊

关键词: MEMS设计工具 / 设计自动化 / 任意流程 / 网表

下载(150)| 被引(8)

支持任意流程的微机电系统设计工具  CNKI文献

论述了微机电系统设计工具的发展概况,并针对微机电系统的多样性对设计工具的需求提出了一种可支持任意流程的微机电系统设计工具架构。该架构以系统级行为建模与仿真、器件级物理建模与仿真和工艺级版图设计与工艺仿...

常洪龙 苑伟政 《机械工程学报》 2008年11期 期刊

关键词: 微机电系统 / 设计工具 / 流程 / 接口

下载(138)| 被引(3)

一个单芯片硅微惯性测量组合  CNKI文献

论文基于普通的体硅工艺设计实现了一个单片集成式硅微惯性测量组合.通过对敏感表头的结构优化设计达到异构图形长和宽的较高一致度,从而有效降低刻蚀延迟效应(RIELag)对大面积结构深刻蚀造成的影响.所加工的样片在不...

常洪龙 蒋庆华... 《传感技术学报》 2006年05期 期刊

关键词: 硅微惯性测量组合 / 单片集成 / 体硅工艺 / 硅微陀螺

下载(180)| 被引(2)

模态局部化传感器研究进展  CNKI文献

模态局部化现象由诺贝尔奖获得者ANDERSON于1958年发现,对理解在紊乱固体中的电子传递过程具有重大意义,是固态物理领域的重要发现。近些年,模态局部化现象开始应用于传感器设计。模态局部化传感器以不同谐振器之间的...

张钊 常洪龙 《机械工程学报》 2020年13期 期刊

关键词: 模态局部化现象 / 弱耦合谐振器 / 振幅比 / 传感器

下载(244)| 被引(0)

一种低噪声MEMS加速度计设计与制作  CNKI文献

为了提高微加速度计的噪声性能,研究了一种基于绝缘体上硅(SOI)技术的单轴MEMS加速度计的设计和加工方案。该微加速度计采用大面积质量块的电容式检测结构,通过增加检测质量,在保证灵敏度的前提下,有效地降低了微加速...

宋萌 常洪龙... 《传感器与微系统》 2014年09期 期刊

关键词: 微电子机械系统 / 加速度计 / 低噪声 / 高灵敏度

下载(370)| 被引(7)

基于模态局部化效应的微机械加速度计研究进展  CNKI文献

模态局部化效应是安德森局部化在结构动力学中的一种具体表现形式,其利用振动模态的能量局部集中效应实现了灵敏度的大幅度提高。因此,模态局部化效应近年来逐渐被用于研制高精度的谐振式传感器。介绍了模态局部化效应...

康昊 常洪龙 《导航与控制》 2018年06期 期刊

关键词: 模态局部化 / 弱耦合谐振器 / 谐振式传感器 / 加速度计

下载(166)| 被引(2)

多环谐振微机械陀螺的研究现状及发展趋势  CNKI文献

微机械陀螺是一种新型的陀螺,近年来随着微机电技术的发展,其性能不断得到提高。基于多环谐振微机械陀螺的发展现状,详细评述了多环谐振陀螺的来源以及其由单环到多环的结构发生改变的优点。并基于驻波进动原理,介绍了...

杜宜璋 常洪龙... 《导航与控制》 2019年04期 期刊

关键词: 微机械环形陀螺 / 微加工技术 / 驻波进动原理 / 键合

下载(269)| 被引(5)

一种用于MEMS陀螺的高精度电容读出电路的设计  CNKI文献

针对电容式MEMS陀螺,设计了一种高精度CMOS接口读出电路。从理论上分析了接口寄生电容、器件的不匹配对接口电路的影响,采用连续时间电压读出方式的检测方法,设计了一款带有输入输出共模反馈的低噪声全差分电荷运算放...

陈方 常洪龙... 《传感技术学报》 2010年11期 期刊

关键词: MEMS陀螺 / 高精度 / 电容分辨率 / CMOS

下载(230)| 被引(8)

虚拟陀螺技术研究  CNKI文献

提出了一种基于阵列数据融合的虚拟陀螺技术来提高微机械陀螺的精度.其将多个同类型的陀螺组合形成阵列.采用Allan方差方法提取微机械陀螺的速率随机游走、角度随机游走等噪声,并利用阵列陀螺间同类噪声的相关性建立卡...

张鹏 常洪龙... 《传感技术学报》 2006年05期 期刊

关键词: 微机械陀螺 / 随机漂移 / Allan方差 / 卡尔曼滤波

下载(316)| 被引(15)

基于间断性腐蚀法的铂热敏传感器的研制  CNKI文献

针对铂湿法刻蚀工艺,提出了间断性腐蚀法,并与边腐蚀边搅拌法和静止法进行了对比,结果显示该方法腐蚀铂曲线光滑、效果好。之后,以普通硅片作为衬底材料,二氧化硅作为隔热层,采用上述微机电(MEMS)工艺加工制作了铂热敏...

杨勇 常洪龙... 《传感技术学报》 2012年10期 期刊

关键词: MEMS / 传感器 / 间断性腐蚀法 / 电阻温度系数

下载(77)| 被引(2)

基于PDMS薄膜的微透镜制作方法  CNKI文献

提出了一种基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜的软模压印制作微透镜的方法。首先,采用具有钝化层的普通硅片作为基底加工出PDMS薄膜;然后,将薄膜粘于刻有对应孔径的硅模板上,薄膜在负压作用下产生凹陷,滴入快速固化的光固...

洪水金 常洪龙... 《微纳电子技术》 2014年04期 期刊

关键词: PDMS薄膜 / 聚合物 / 微透镜 / 软模压印

下载(371)| 被引(8)

微纳米光电器件用单层MoS_2的制备与结构表征  CNKI文献

为了满足高性能光电器件对单层MoS_2的需要,文中采用扫描电镜和拉曼光谱,研究了保温生长时间和氩气流速对硫化三氧化钼化学气相沉积法在蓝宝石衬底上生长MoS_2形貌、尺寸、结构和层数的影响.研究结果表明:在反应物质量...

坚佳莹 常洪龙... 《西安工业大学学报》 2018年04期 期刊

关键词: 单层二硫化钼 / 化学气相沉积 / 微纳米光电器件 / 拉曼光谱

下载(198)| 被引(1)

基于三分量地磁滤波技术的微型AHRS算法研究  CNKI文献

针对常规的微型姿态参照系统(AHRS)算法存在过载干扰和滤波发散的问题,设计了一种基于三分量地磁滤波技术的微型AHRS算法。采用一种简化的Sage-Husa自适应滤波算法进行了AHRS的信息融合;采用姿态误差角和陀螺漂移作为...

赵彦明 常洪龙... 《机电工程》 2014年06期 期刊

关键词: 微型AHRS / 三分量地磁矢量 / Sage-Husa自适应滤波 / 抗过载性

下载(166)| 被引(2)

基于杠杆的微机械陀螺结构设计与仿真  CNKI文献

提出了一种基于机械杠杆放大机构的微机械陀螺设计方案,用于提高微机械陀螺的灵敏度和精度。该杠杆放大机构使用在陀螺的驱动模态中,通过杠杆将驱动梳齿位移放大后传递到质量块上,在陀螺驱动模态谐振频率一定的情况下...

李小卿 常洪龙... 《微纳电子技术》 2012年05期 期刊

关键词: 微机械陀螺 / 杠杆 / 放大 / 机械灵敏度

下载(205)| 被引(8)

一种用电晕放电仪实现PDMS改性与键合方法  CNKI文献

聚二甲基硅氧烷(PDMS)的表面改性与键合是微流控芯片制作中的关键技术之一。本文比较分析了PDMS常用表面改性方法的优缺点,利用电晕放电仪在常温环境下产生的氧等离子体实现了对PDMS表面改性及不可逆键合,优化了电晕放...

丁继亮 常洪龙... 《功能材料与器件学报》 2012年03期 期刊

关键词: PDMS / 表面改性 / 键合 / 微流控

下载(296)| 被引(6)

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