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激光加工石英微通道技术的研究  CNKI文献

激光微通道加工是近来研究的热门,微型通道的加工有多种方法,大致把它分为两种:热致型和非热致型.热致型里有激光诱导等离子加工法(LIPAA)和激光脉冲热加工法。用激光脉冲热加工的通道尺寸很小,深宽比较适中,缺...

彭长屏 导师:秦水介 贵州大学 2007-05-01 硕士论文

关键词: 激光诱导等离子体 / 离子体 / 激光加工 / 微通道

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激光加工石英微通道技术的研究  CNKI文献

本文主要介绍用激光诱导等离子体加工法(LIPAA)在高纯度的石英上加工出微米量级的通道,以及加工过程中激光参数对通道成型和通道质量的影响.激光加工法的优点在于不污染加工材料,加工能力很强且快速,加工方式多样等....

彭长屏 秦水介 中国光学学会2006年学术大会论文摘要集 2006-09-01 中国会议

关键词: 激光加工 / 激光诱导等离子体 / 加工材料 / 微通道

下载(52)| 被引(1)

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