本文对SiCl_4氢还原的复杂化学反应体系的平衡状态作了计算.给出体系在低压(P=0.1大气压、P=0.01大气压)和常压(P=1大气压),温度T从900K至1500K,及不同初始成分条件下的平衡成分图、产率图、外延生长控制参数的阈值图...
SiCl_4外延生长硅晶体中碳沾污的热力学分析 CNKI文献
本文采用热力学计算方法对引起SiCl_4外延生长硅晶体中碳沾污的三个来源作了较详细的分析.所得结果对外延硅中SiC沾污问题的认识,外延工艺和H_1、SiCl_4原材料制备及提纯工艺的改进将有一定的参考意义.
本文用碱式甲酸铍为源,在源区温度250—330℃,沉积区温度440—650℃的条件下,利用热解CVD方法制得了BeO薄膜,并对BeO 薄膜的物理和化学性能做了测量和试验.
试图制备某一方面性能超过现有材料的新一代材料,一直是材料科学的一个发展方向。人们知道金刚石是硬度材料之王,然而美国Soienoe等报道:从经验模型和量子力学从头计算出发,预估碳氮之间的假想的共价化合物β-C_3N_4若...
关键词： 氮化碳薄膜 / 等离子体化学气相沉积法 / 沉积温度
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按照石门坪水电站所处流域的水文资料,结合电站的引水特点,综合本站水轮发电机组的运行特性,依据发电量的计算公式,确定经济运行的主要方向。从而探索出一条适合电站特点的经济运行模式,以便使电站取得最大的经济效益...
H_2气氛中微量H_2O和O_2对硅外延生长温度限制的热力学分析 CNKI文献
本文用热力学方法计算得出了H_2气氛中微量H_2O和O_2在硅衬底上产生SiO_2的临界值.计算结果对从事低温硅外延生长有一定参考价值.
本文介绍了采用热喷涂法制备以 NiO 为主体成分的薄膜材料,并根据其性能制作热敏电阻.用5DX—FT—IR 测定了不同工艺条件制备的薄膜样品的红外吸收光谱.用差热分析方法测量了样品的温度稳定性。结果表明,这种方法制得...
本文采用PECVD技术制备了SiO_xN_y薄膜。用光电子能谱仪和红外光谱仪等对薄膜的结构、组成和其它物理性质作了测量。对温度、功率等工艺参数对薄膜性质的影响作了研究。结果表明,该薄膜是一种非晶态无序结构的、具有良...
SiH_4-SiCl_4-H_2、SiH_4-HCl-H_2混合硅源CVD法生长硅晶体... CNKI文献
本文从热力学角度,通过计算机计算,研究了SiH_4—SiCl_4—H_2及SiH_4—IICl—H_2混合硅源气相生长硅晶体体系的平衡状态。给出了不同配比的混合硅源沉积硅的产率和产率随温度、压力等控制参数变化的图解。根据准平衡理...
徐宝琨 夏欣夫... 《计算机与应用化学》 1984年03期 期刊
关键词： 摩尔分数 / SiH_4-HCl-H_2 / SiH_4-SiCl_4-H_2 / 热力学研究
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In-Ga合金源汽相外延生长In_xGa_(1-x)As体系的热力学分析 CNKI文献
本文采用独立组元法对In-Ga合金源汽相外延生长In_xGa_(1-x)As体系的平衡状态作了热力学计算和分析,所得结果对认识该体系外延生长的规律性及改进工艺条件有一定参考价值.
本文用热力学方法研究了SiCl_4-H_2外延系统中的各种腐蚀反应和沉积反应。所得结果可以用于认识硅外延生长过程中的硅迁移效应。
关键词： HCI / 气相腐蚀 / SiCl_4-H_2 / 氢还原
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用直、交流方法分析高分子电阻型湿敏元件的敏感机理 CNKI文献
利用接枝共聚反应合成了具有良好湿敏特性的功能高分子材料 ,用该材料制作了特性良好的电阻型湿度传感器 .利用瞬时直流极性反转法研究了该元件在不同的温度环境中的导电粒子 ;利用复阻抗分析进一步研究了元件在不同的...
纳米TiO_2光催化降解水中有机污染物的研究与发展 CNKI文献
光催化降解水中有机污染物是一项新兴的颇有发展前途的废水处理技术。纳米ＴｉＯ２因其活性高、稳定性好而在该领域广泛被用作光催化剂。本文系统介绍了纳米ＴｉＯ２的制备、光催化降解水中有机污染物的机理、动力学规...
纳米晶La_（1－_x）Sr_xFeO_3的合成及气敏特性的研究 CNKI文献
用柠檬酸盐法合成出Ｌａ_（１－_ｘ）Ｓｒ_ｘＦｅＯ_３（ｘ＝０．１，０．２，０．３，０．４）原粉，再经固相反应得到纳米晶粉末，用ＴＧ、ＤＴＡ、ＸＲＤ、ＩＲ进行了表征，确证复合氧化物Ｌａ_（１－_ｘ）Ｓｒ_ｘ...
本文通过分析独立组元的本质,提出了一个按独立组元来计算复杂化学平衡的方法。这个方法中的未知数和方程数比现有的自由能最小化法、质量作用方程组的方法和反应进度的方法中的未知数和方程数显著减少,因而计算过程大...
LaFeO_3 栅膜 FET 气体传感器的研究 CNKI文献
本文采用溶胶－凝胶技术制备ＬａＰｅＯ３纳米晶薄膜，并摸索出该薄膜的光刻方法，将这一成膜技术与集成电路平面工艺相结合，首次研制出了纳米晶薄膜作为栅极的场效应晶体管气体传感器，它对乙醇具有较高的灵敏度和良...
A series of studies were carried out to investigate the effect of crystal forms of TiO 2 on the activities in the photocatalyzing degradation of aqueous methyl orange. It is shown that the rutile co...
采用硬脂酸凝胶 (SAG)法制备了TiO2 纳米材料 ,用差热分析 ,热重分析 ,X射线衍射对合成过程进行了研究。用X射线光电子能谱 (XPS)对其表面状态进行了分析。TiO2 纳米材料对甲基橙溶液光催化降解结果表明 :催化剂浓度、...
本文通过热力学理论分析方法,配合实验,对丝网印刷薄膜CdS/CdTe太阳电池制作过程中的复杂化学反应体系的平衡状态作了计算。给出了体系在常压下、温度从600—1100K及不同初始条件下的各物种的平衡分压图及CdO的产率图...
Bi—Sn—Zn三元合金体系的垂直截面图的直接计算 CNKI文献
本文根据相图中紧邻相区及其边界关系的理论,提出了一个直接而简便的计算恒压相图中垂直截面图的方法。利用这个方法计算了Bi—Sn—Zn三元系恒压相图中若干不同类型、不同位置的垂直截面图。
