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采用SF_6+O_2反应离子刻蚀聚酰亚胺膜  CNKI文献

报道了在O_2或SF_6+O_2混合气体中反应离子刻蚀聚酰亚胺的基本原理.使用牛津等离子科技公司的Plasmalab μp型刻蚀仪,对厚度0—4μm的聚酰正胺膜,进行各向异性的刻蚀,获得了侧墙陡直的微细图形.

孙承龙 杜根娣 ... 《应用科学学报》 1993年01期 期刊

关键词: 反应离子刻蚀 / 聚酰亚胺 / 侧墙

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窥镜下狄奥氏括约肌切开术护理  CNKI文献

在纤维内窥镜下行壶腹括约肌切开术,是在逆行胰胆管造影诊断的基础上发展而来的,胆总管结石或胆总管下端狭窄.可不用剖腹.又不切开十二指肠肠壁而达到类似外科手术疗效.这种手术难度大,是目前窥镜治疗方面的一个重大发...

王斐 杜根娣 《护士进修杂志》 1986年04期 期刊

关键词: 括约肌切开术 / 胰胆管造影 / 电极板

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压电晶体对汞蒸气浓度的标定  CNKI文献

本文介绍了对两个相互串联连接的压电石英晶体探测器,对大气中汞蒸气浓度进行标定的新方法。文中详细阐述了该分析方法的原理、实验装置和实验步骤。对实验结果进行了讨论,并与YYG-2型冷原子荧光测汞仪的测量结果进行...

李光云 杜根娣... 《仪表技术与传感器》 1994年04期 期刊

关键词: 压电晶体 / 探测器 / / 浓度

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InP上Al膜的阳极氧化及其特性研究  CNKI文献

本文报道了半导体InP上Al膜阳极氧化的研究,并用AES,V-V,DLTS和椭圆仪等测试方法研究了氧化膜的稳定性、电学特性、组分的纵向分布以及Al_2O_3/InP的界面特性,研究结果表明,阳极氧化Al_2O_3的介电常数为11~12,Al_2O_...

郭康瑾 杜根娣... 《电子科学学刊》 1991年06期 期刊

关键词: 半导体界面 / 阳极氧化 / 介质薄膜

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STUDY OF THE ANODIZATION OF Al FILM ON InP SUBSTRATE A...  CNKI文献

The anodization of Al film on InP substrate and properties of anodic Al_2O_33/InPhave been investigated by AES,DLTS,I-V,C-V and ellipsometer.The results show that theanodic oxide Al_2O_3 has a permit...

郭康瑾 杜根娣... 《Journal of Electronics(China)》 1992年03期 期刊

关键词: Semiconductor / interface / Anodization / Dielectric

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聚酰亚胺辐照效应的紫外及可见光谱研究  CNKI文献

本文报道了用紫外及可见光谱研究离子注入聚酰亚胺过程中的结构变化。我们认为,随着注入剂量的增加,聚酰亚胺中的芳香环会逐渐凝聚形成原子团,高能离子注入下的聚酰亚胺将最终演变为类似于无定形石墨的结构;离子束轰击...

许东 徐兴龙... 首届中国功能材料及其应用学术会议论文集 1992-10-26 中国会议

关键词: 可见光谱 / 电导率 / 离子注入 / 聚酰亚胺

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离子束改性聚酰亚胺微细结构的Raman光谱研究  CNKI文献

本文报道了120 keV B~+和170keV N~+注入聚酰亚胺(polyimide)所得改性层的精细结构.Raman光谱的分析结果表明,聚酰亚胺改性层中的碳主要以石墨和无定形两种形态存在,而它们的相对含量以及石墨微粒的大小要取决于剂量、...

徐兴龙 许东... 《自然科学进展》 1992年01期 期刊

关键词: 离子注入 / 聚酰亚胺 / Raman光谱 / 计算机拟合

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压电晶体双晶片汞传感器  CNKI文献

设计了新型的压电晶体传感器探头,使参考晶片与传感晶片同时直接接触待测气体.试验了使用该结构的压电晶体双晶片汞传感器的测汞性能和对水份干扰的影响.实验结果表明:在相当大的范围内.参考晶片接触待测气体并不...

李光云 陆新根... 《应用科学学报》 1994年01期 期刊

关键词: 压电晶体 / 汞传感器 / 传感晶片 / 参考晶片.

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阳极氧化Al_2O_3膜/InP和自身氧化膜/InP的界面性质  CNKI文献

研究了用阳极氧化法制备的Al_2O_3膜/InP和自身氧化膜/InP两种MIS结构的组分分布和电学性质,AES、I-V、C-V和DLTS等测试结果表明,Al_2O_3/InP结构的性能更为优越.用DLTS方法发现这两类样品都具有峰值能量为Ec-Es=0.5e...

吴征 周炳林... 《固体电子学研究与进展》 1986年02期 期刊

关键词: 氧化膜 / Al_2O_3 / 阳极氧化 / InP

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Polyimide辐照效应的紫外及可见光谱研究  CNKI文献

聚酰亚胺(polyimide)是一种电绝缘特性极好的热稳定芳香族聚合物,也被用作光致抗蚀剂.现已发现经过适当剂量的离子注入之后,聚酰亚胺的电导率能提高约20个量级,达到半导体水平.作为抗电磁辐射封装材料和温敏材料,聚酰...

许东 徐兴龙... 《科学通报》 1993年06期 期刊

关键词: 聚酰亚胺 / 离子注入 / 紫外及可见光谱

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金膜涂层压电晶体对汞蒸气的探测研究  CNKI文献

一、引言随着现代工业的发展,愈来愈严重的环境污染问题引起世界各国的普遍关注。如何快速而准确地测量大气污染物质的浓度是各国学者多年来努力探讨的重要课题。鉴于烧结式半导体气敏元件在选择性、元件阻值分散性、...

李光云 王科峰... 《化学传感器》 1986年03期 期刊

关键词: 石英晶片 / 探测器 / 压电晶体 / 汞蒸气

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RAMAN SPECTROSCOPIC INVESTIGATION ON MICROSTRUCTURES O...  CNKI文献

The microstructures formed by 120keV B~+ or 170keV N~+ implantation into polyimide are investi-gated using Raman spectroscopy.The characteristic Raman spectra show that carbon exists mainly as ei-the...

徐兴龙 许东... 《Progress in Natural Science Communication of State Key ...》 1992年05期 期刊

关键词: polyimide / ion / implantation / microstructure

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