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扫描电镜粉末样品的制备方法  CNKI文献

本文介绍了扫描电镜粉末样品的收集、分散、固定、镀膜等技术;对表面吸附法、导电浆法、胶纸法、过滤膜法等固定方法进行了比较,并提出了一些简单、可靠的制备方法。

唐圣明 林绥娟 《理化检验.物理分册》 1981年05期 期刊

关键词: 粉末样品 / 固定方法 / 双面胶纸 / 镀膜材料

下载(120)| 被引(0)

扫描电镜剖面EBIC方法  CNKI文献

一、引言扫描电镜EBIC(电子束感生)方法在半导体材料与器件的研究中,有其独特的优点,已被广泛应用。通常应用EBIC方法为平面法,即PN结界面平行于观察平面。本文介绍了剖面EBIC方法。在此方法中,PN结界面垂直于观察平面...

唐圣明 林绥娟 《电子显微学报》 1988年03期 期刊

关键词: 扫描电镜 / 二次电子

下载(132)| 被引(1)

新型背散射电子探测器的应用  CNKI文献

新型背散射电子探测器是由鲁宾逊(Robinson)于1974年最先提出来的。这种探测器由大型闪烁晶体与光电倍增管组成。它具有2000mm~2的接收表面,拥有大的接收立体角和短的工作距离,从而增强了信号强度,改善了信噪比。近年...

唐圣明 林绥娟 《电子显微学报》 1993年02期 期刊

关键词: 背散射电子 / 二次电子 / 探测器 / 弹簧片

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空间电场的观察  CNKI文献

空间电场的观察唐圣明,林绥娟,陈思琴(中国科学院上海冶金研究所,上海200050)空间电场的分布与观察,是人们长期以来一直关注的问题。在透射电镜中,人们目前可以借助于电子全息术观察到粒子周围的空间电场...

唐圣明 林绥娟... 《电子显微学报》 1994年06期 期刊

关键词: 空间电场 / 绝缘体 / 中国科学院上海冶金研究所 / 扫描电镜

下载(38)| 被引(0)

扫描电镜动态偏置电压衬度法  CNKI文献

目前,越来越多的扫描电镜被用于半导体工业生产中的工艺监控和质量检查。扫描电镜的电压衬度技术则是扫描电镜的独特方法,日益引起人们的重视。按试样的偏置电压的状态来分类,电压衬度方法则可分为二大类:静态偏置电压...

唐圣明 林绥娟 《电子显微学报》 1986年03期 期刊

关键词: 电压衬度 / 动态偏置 / 偏置电压 / 扫描电镜

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采用SF_6+O_2反应离子刻蚀聚酰亚胺膜  CNKI文献

报道了在O_2或SF_6+O_2混合气体中反应离子刻蚀聚酰亚胺的基本原理.使用牛津等离子科技公司的Plasmalab μp型刻蚀仪,对厚度0—4μm的聚酰正胺膜,进行各向异性的刻蚀,获得了侧墙陡直的微细图形.

孙承龙 杜根娣 ... 《应用科学学报》 1993年01期 期刊

关键词: 反应离子刻蚀 / 聚酰亚胺 / 侧墙

下载(239)| 被引(3)

新型背散射电子探测器的应用  CNKI文献

新型背散射电子探测器是由鲁宾逊(Robinson)于1974年最先提出来的。这种探测器由大型闪烁晶体与光电倍增管组成。它具有2000mm~2的接收表面,拥有大的接收立体角和短的工作距离,从而增强了信号强度,改善了信噪比。近年...

唐圣明 林绥娟 第七次全国电子显微学会议论文摘要集 1993-04-01 中国会议

关键词: 背散射电子 / 探测器 / 弹簧片

下载(35)| 被引(0)

扫描电镜剖面EBIC方法  CNKI文献

一、引言扫描电镜EBIC(电子束感生)方法在半导体材料与器件的研究中,有其独特的优点,已被广泛应用。通常应用EBIC方法为平面法,即PN结界面平行于观察平面。本文介绍了剖面EBIC方法。在此方法中,PN结界面垂直于观察平面...

唐圣明 林绥娟 第五次全国电子显微学会议论文摘要集 1988-10-01 中国会议

关键词: 二次电子 / 二极管 / 扫描电镜

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X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用  CNKI文献

锫钛酸铅[Pb(Ti,Zr)O_3,简称 PZT]是一种新型的铁电薄膜材料,具有独特的电学,光学性能,有很广泛的应用价值。PZT 薄膜与器件的制造,均采用集成电路制造工艺。使用扫描电镜与 X 射线能谱仪对其进行工艺监控,可以得到比...

唐圣明 徐梅娣... 第八次全国电子显微学会议论文摘要集(Ⅱ) 1994-10-01 中国会议

关键词: PZT

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空间电场的观察  CNKI文献

空间电场的分布与观察,是人们长期以来一直关注的问题。在透射电镜中,人们目前可以借助于电子全息术观察到粒子周围的空间电场及磁场的分布。在扫描电镜中,人们运用电压衬度技术,可以观察到电位在半导体器件上的分布。...

唐圣明 林绥娟... 第八次全国电子显微学会议论文摘要集(Ⅱ) 1994-10-01 中国会议

关键词: 空间电场

下载(6)| 被引(0)

扫描电镜动态偏置电压衬度法  CNKI文献

目前,越来越多的扫描电镜被用于半导体工业生产中的工艺监控和质量检查。扫描电镜的电压衬度技术则是扫描电镜的独特方法,日益引起人们的重视。按试样的偏置电压的状态来分类,电压衬度方法则可分为二大类:静态偏置电压...

唐圣明 林绥娟 第四次全国电子显微学会议论文摘要集 1986-08-01 中国会议

关键词: 电压衬度 / 动态偏置 / 扫描电镜

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应用电压衬度法对集成运算放大器进行失效分析  CNKI文献

随着电子设备的日益复杂,对电子元件的可靠性要求也愈来愈高。特别是那些用于恶劣环境的空间电子设备,可靠性更是不可忽视的问题。 FC-54是一种低功耗高增益双极型运算放大器,用途广泛。但由于一些工艺问题,如单电极钨...

林文英 唐圣明... 《电子技术》 1980年06期 期刊

关键词: 电压衬度 / 扫描电镜 / 集成运算放大器 / 失效分析

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X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用  CNKI文献

X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用唐圣明,徐梅娣,陈思琴,林绥娟(中国科学院上海冶金研究所,上海200050)铝钛酸铅[Pb(Ti,Zr)O_3,简称PZT]是一种新型的铁电薄膜材料,具有独特的电学,...

唐圣明 徐梅娣... 《电子显微学报》 1994年06期 期刊

关键词: 器件 / 刻蚀 / 蚀刻 / 水蚀

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