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硅的离子束抛光技术研究  CNKI文献

介绍了用离子束抛光法获得硅的超光滑表面的方法,并给出了不同抛光条件下表面粗糙度的原子力显微镜(AFM)测量结果,其中最好的表面粗糙度达0.12nm(有效值)。

洪义麟 付绍军... 《真空科学与技术》 1995年06期 期刊

关键词: 离子束抛光 / / 超光滑表面

下载(456)| 被引(18)

用于大尺寸衍射光栅的光刻胶残余物的灰化系统研制  CNKI文献

在制作大尺寸厚基底衍射光学元件时,经常需要清除残余底胶,为此我们研制了大尺寸衍射光栅灰化装置.该装置可以在450 mm×450 mm(Ф650 mm)范围内产生均匀性良好的等离子体,通过气体辉光放电来达到去残胶的目的,辉...

洪义麟 刘良保... 《真空》 2008年03期 期刊

关键词: 大尺寸 / 衍射光栅 / 辉光放电 / 灰化

下载(184)| 被引(5)

用氩离子束抛光制作石英超光滑表面  CNKI文献

超光滑光学表面广泛地应用在短波段光学领域,如同步辐射光束线的反射镜、软X射线波段的多层膜基底等.其表面的粗糙度通常要求小于0.5nmRMS.目前粗糙度好于0.5nmRMS的光学表面是采用特殊磨料,用非常规方法加工的,其缺点...

洪义麟 傅绍军... 《科学通报》 1995年05期 期刊

关键词: 离子束抛光 / 光滑表面

下载(348)| 被引(10)

LIGA技术制作Fresnel波带片的研究  CNKI文献

简要介绍了利用LIGA技术中同步辐射光刻、微电铸技术制作α粒子编码成像波带片的研究,讨论了编码波带片的结构和影响波带片的平面和层析分辨率的参数。根据实验要求设计和研制了一种α粒子编码成像波带片。

洪义麟 田扬超... 《微细加工技术》 1999年01期 期刊

关键词: 波带片 / LIGA / 同步辐射

下载(82)| 被引(6)

高精度LIGA掩模研究  CNKI文献

高精度LIGA掩模研究洪义麟,付绍军,田扬超,陶晓明(中国科技大学国家同步辐射实验室)0引言作者通过改进工艺、采用图形发生器直接在掩模基片上曝光及用离子束刻蚀这种干法腐蚀的方法代替原来的湿法腐蚀,再通...

洪义麟 付绍军... 《仪器仪表学报》 1996年S1期 期刊

关键词: 同步辐射光刻 / 同步辐射 / 干法腐蚀 / 离子束刻蚀

下载(42)| 被引(0)

全息离子束刻蚀衍射光栅  CNKI文献

全息离子束刻蚀衍射光栅集中了机械刻划光栅的高效率和全息光栅的无鬼线、低杂散光、高信噪比的优点 .全息离子束刻蚀已作为常规工艺手段应用于真空紫外及软X射线衍射光栅的制作 .文章对全息离子束刻蚀衍射光栅的制作...

徐向东 洪义麟... 《物理》 2004年05期 期刊

关键词: 衍射光栅 / 全息光刻 / 离子束刻蚀

下载(871)| 被引(69)

超高强度激光脉冲压缩用衍射光栅  CNKI文献

衍射光栅是超高强度激光脉冲压缩器的核心元件之一,其高衍射效率、高损伤阈值和大尺寸的苛刻要求是普通商业光栅所远远不能满足的.文章对高强度激光超短脉冲压缩用衍射光栅的基本要求、主要类型、研究现状进行了综述.

徐向东 洪义麟... 《物理》 2005年10期 期刊

关键词: 高强度激光 / 镀金全息光栅 / 多层介质膜光栅

下载(416)| 被引(22)

光刻胶灰化用于全息离子束刻蚀光栅制作  CNKI文献

针对全息离子束刻蚀衍射光栅制作中,光刻胶光栅浮雕图形的制作是至关重要和困难的,引入O2反应离子刻蚀对光刻胶光栅进行灰化处理,给出光刻胶灰化技术在全息离子束刻蚀衍射光栅制作闪耀光栅、浅槽矩形位相光栅、自支撑...

徐向东 洪义麟... 《真空科学与技术》 2003年05期 期刊

关键词: 光刻胶灰化 / 离子束刻蚀 / 衍射光栅

下载(298)| 被引(14)

X射线波带片的制作及其应用  CNKI文献

波带片的低衍射效率限制其在可见光波段的使用,可是在X射线波段,波带片是唯一达到衍射极限的光学元件,因而引起人们的极大兴趣。本文介绍了当前国际上X射线波带片的主要制作方法及其应用,同时回顾了用于X射线聚...

徐向东 洪义麟... 《光学技术》 1999年02期 期刊

关键词: X射线 / 菲涅耳波带片 / 布拉格-菲涅耳波带片

下载(338)| 被引(16)

软X射线透射光栅制作技术  CNKI文献

金透射光栅广泛用于真空紫外、X射线、物质波的衍射和光谱测量。分别介绍了美国麻省理工学院空间微结构实验室和中国科学技术大学国家同步辐射实验室的透射光栅制作技术及其新进展。麻省理工学院空间微结构实验室为完...

徐向东 洪义麟... 《光学技术》 2001年04期 期刊

关键词: 透射光栅 / X射线光刻 / 全息光刻 / 光刻胶

下载(205)| 被引(21)

X射线波带片  CNKI文献

综述了用于X射线聚焦、成像的光学元件———X射线菲涅耳波带片及近几年才出现的布拉格-菲涅耳波带片的历史背景、基本概念、基本特征和主要类型.同时介绍了当前国际上X射线波带片的主要制作方法及最新进展.

徐向东 洪义麟... 《物理》 1998年05期 期刊

关键词: X射线 / 菲涅耳波带片 / 布拉格-菲涅耳波带片

下载(210)| 被引(8)

同步辐射球面闪耀光栅的研制  CNKI文献

A spherical blazed grating (SBG) of 1200l/mm was successfully fabricated for the Seya Namioka monochromator of photochemistry experiment station at National Synchrotron Radiation Laboratory with the...

徐向东 洪义麟... 《中国科学技术大学学报》 2000年02期 期刊

关键词: 闪耀光栅 / 离子束刻蚀 / 光刻胶灰化 / 真空紫外

下载(119)| 被引(14)

同步辐射Laminar光栅的研制  CNKI文献

采用全息离子束刻蚀和反应离子刻蚀相结合的新工艺 ,在熔石英基片上成功地刻蚀出 2 0 0l/mm、线空比 4:6、槽深 70nm、刻划面积 60× 2 0mm2 的浅槽矩形Laminar光栅。对改进光栅线条粗糙度和线空比的方法进行了系...

徐向东 洪义麟... 《光学技术》 2001年05期 期刊

关键词: Laminar光栅 / 全息光刻 / 离子束刻蚀 / 反应离子刻蚀

下载(79)| 被引(15)

X射线毛细管及其应用  CNKI文献

介绍了X射线毛细管光学元件的原理、特征和类型及其在蛋白质晶体学、微束衍射、微束光谱等方面应用新进展.

徐向东 洪义麟... 《物理》 1999年04期 期刊

关键词: X射线波导管 / X射线衍射 / 全反射 / 毛细管

下载(100)| 被引(12)

大尺寸衍射光学元件的扫描离子束刻蚀  CNKI文献

总结了大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀技术的研究进展。针对自行研制的KZ-400离子束刻蚀装置,提出了组合石墨束阑结构和多位置分步刻蚀策略来提高离子束刻蚀深度的均匀性,目前在450mm尺寸内的刻蚀深度均匀性最高可达&#...

邱克强 周小为... 《光学精密工程》 2012年08期 期刊

关键词: 衍射光学元件 / 离子束刻蚀 / 刻蚀深度 / 在线检测

下载(432)| 被引(21)

软X射线透射光栅支撑结构的制作工艺研究  CNKI文献

在简述软X射线自支撑透射光栅制作工艺的基础上 ,重点研究支撑结构制作中的紫外光刻和电镀两步工艺。紫外光刻中的菲涅耳衍射会造成光刻胶不能显影到底或起保护作用的光刻胶面积减小、厚度减薄 ;比较了两个不同电镀条...

徐向东 洪义麟... 《微细加工技术》 2001年03期 期刊

关键词: 全息光刻 / 透射光栅 / 微电镀

下载(91)| 被引(10)

软X射线聚焦波带片制备工艺的研究  CNKI文献

利用全息光刻和离子束刻蚀技术制作了用于软X射线聚焦和色散的三种参数的高精度菲涅耳(Fresnel)波带片,给出了实验结果。

傅绍军 洪义麟... 《光学学报》 1995年08期 期刊

关键词: 聚焦波带片 / 同步辐射 / 全息-离子束刻蚀

下载(98)| 被引(16)

同步辐射真空紫外球面闪耀光栅研究  CNKI文献

采用全息-离子束刻蚀微细加工技术在石英基板上成功地刻蚀出了1200线/mm、闪耀角5°10’的锯齿槽形闪耀光栅.对全息光刻、显影等掩模制作工艺和离子束刻蚀参数的控制等进行了讨论,还给出了在同步辐射...

傅绍军 洪义麟... 《中国科学技术大学学报》 1995年03期 期刊

关键词: 同步辐射 / 真空紫外 / 闪耀光栅

下载(96)| 被引(10)

离子束刻蚀位相型Ronchi光栅研究  CNKI文献

本文报道了采用紫外光刻和离子束刻蚀方法制作位相型Ronchi光栅的工艺技术,并对其衍射特性进行了讨论,同时给出实验结果。

傅绍军 洪义麟... 《量子电子学》 1995年02期 期刊

关键词: 位相型Ronchi光栅 / 离子束刻蚀

下载(107)| 被引(7)

HfO_2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的离子束刻蚀  CNKI文献

多层介质膜光栅是高功率激光系统的关键光学元件.为了满足国内强激光系统的迫切需求,首先利用考夫曼型离子束刻蚀机开展了HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的离子束刻蚀实验研究.采用纯Ar及Ar和CHF3混合气体作为工作气...

徐向东 刘颖... 《物理学报》 2013年23期 期刊

关键词: 光栅 / 多层介质膜 / 离子束刻蚀

下载(204)| 被引(8)

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