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用于材料表面改性的多功能等离子体浸没离子注入装置  CNKI文献

详细叙述了新近研制的多功能等离子体浸没离子注入(PII)装置.在装置设计中,考虑了等离子体产生手段、高压脉冲电源和真空抽气系统多项功能要求,把离子注入、涂敷和溅射沉积结合起来.该装置已实现了多种气体等...

王松雁 汤宝寅... 《物理》 1997年06期 期刊

关键词: 等离子体浸没离子注入 / 多功能离子注入 / 表面改性 / 离子注入机

下载(319)| 被引(24)

Ti6A14V的射频激励等离子体浸没离子注入  CNKI文献

本文利用电感耦合的射频激励产生的氮等离子体对Ti6A14V进行等离子体浸没离子注入.处理结果发现,随射频功率及氮离子注入剂量增加,Ti6A4V表面显微硬度增加;注入能量及剂量对材料摩擦磨损性能有显著影响,而且注入...

王松雁 田修波... 《表面工程》 1997年02期 期刊

关键词: 射频激励的等离子体 / 等离子体浸没离子注入 / Ti6A14V

下载(63)| 被引(1)

等离子体浸没离子注入过程中离子质谱测量  CNKI文献

用一个取样离子源-E×B质谱系统测定了等离子体浸没离子注入中氮等离子体的质谱,测量出的氮等离子体的离子比率作为计算机模拟TAMIX程序的输入参数,以预测原子的浓度-深度分布曲线,氮注入的Ti6A...

王松雁 汤宝寅... 《物理》 1997年09期 期刊

关键词: 等离子体浸没离子注入 / 离子质谱 / 离子种类和比率 / 取样离子源

下载(77)| 被引(0)

9Cr18轴承钢的金属离子加氮离子复合注入处理新工艺  CNKI文献

简单地叙述了金属等离子体浸没离子注入与沉积(MePIIID)表面处理新工艺的发展,以及MePIIID工艺对于脉冲阴极弧金属等离子体源的要求。详细报导了9Cr18轴承钢样品的氮离子注入表面处理工艺以及金属离子加氮离子复合...

汤宝寅 王松雁... 《中国表面工程》 2000年04期 期刊

等离子体浸没离子注入及表面强化工艺的进展  CNKI文献

等离子体浸没离子注入 (PIII)消除了传统束线离子注入 (IBII)固有的视线限制 ,是一种更适合于处理复杂形状工件的手段 .近十年来 ,PIII及其工业应用在国内外得到了迅速发展 .然而 ,随着PIII的研究与开发的深入 ,发现仍...

汤宝寅 王松雁... 《材料科学与工艺》 1999年S1期 期刊

关键词: 离子注入 / 等离子体浸没离子注入 / 表面改性

下载(414)| 被引(8)

氮、氧及金属离子注入铝合金表面改性层摩擦磨损性能研究  CNKI文献

在不同温度下对6061铝合金分别进行了氮、氧等离子体浸没离子注入处理,氮与氢混合气体等离子体浸没离子注入处理,以及在氮气氛中的钛或铝等离子体浸没离子注入与沉积处理;采用X射线光电子能谱仪分析了注入改性层的相组...

汤宝寅 张更伟... 《摩擦学学报》 2003年04期 期刊

10kV绝缘栅双极型晶体管固体开关的研制  CNKI文献

采用8只IXLF19N250A绝缘栅双极型晶体管串联研制成功了10kV固体开关。试验表明:该固体开关最高输出电压为14kV,最高输出脉冲电流为20A、输出脉冲宽度可在2112μs之间以1μs步长变化,脉冲重复频率范围为1Hz4kHz,短时间...

甘孔银 汤宝寅... 《强激光与粒子束》 2003年10期 期刊

关键词: 绝缘栅双极型晶体管 / 固体开关 / 串联

下载(250)| 被引(27)

绝缘栅双极晶体管固体开关技术研究  CNKI文献

采用二只1.2kV,75A的绝缘栅双极晶体管(IGBT)串联,对用于加速器的IGBT固体开关技术进行了研究;通过采取动态电压和静态电压平衡措施来解决IGBT串联中的瞬态电压平衡问题。在不同工作条件下,串联IGBT开关工作性能稳定,...

甘孔银 汤宝寅... 《强激光与粒子束》 2002年06期 期刊

关键词: 串联 / IGBT / 固体开关

下载(255)| 被引(29)

金属等离子体浸没离子注入改善9Cr18轴承钢表面耐磨性的研究  CNKI文献

采用新改进的阴极弧金属等离子体源 ,对 9Cr18轴承钢进行了金属等离子体浸没离子注入 (PIII)处理。首先将Ti,Mo和W离子分别注入到 9Cr18钢的表面 ,然后再对其进行N等离子体浸没离子注入 ,从而在 9Cr18钢表面形成了一层...

曾照明 汤宝寅... 《真空科学与技术》 2000年02期 期刊

关键词: 等离子体浸没离子注入 / 阴极弧等离子体源 / 耐磨性 / 9Cr18

下载(340)| 被引(17)

GCr15轴承钢表面PIIID处理膜层膜基结合力的研究  CNKI文献

采用等离子体浸没离子注入沉积 (PIIID)技术在GCr1 5轴承钢表面形成TiN薄膜 ,并采用划痕法对不同参数条件下膜层的膜基结合力进行了测量。结果发现 :适当的氩离子溅射清洗和加入合适的过渡层可以提高膜基结合力 ,而且...

王宇航 汤宝寅... 《真空科学与技术学报》 2004年03期 期刊

关键词: 等离子体浸没离子注入与沉积 / 结合力 / 划痕法

下载(283)| 被引(11)

9Cr18轴承钢氮等离子体浸没离子注入表面改性工艺及机理的研...  CNKI文献

采用不同的等离子体浸没离子注入工艺对9Cr18 轴承钢进行了氮离子注入,结果发现,不同条件下的氮离子注入均能显著提高9Cr18 钢表面的显微硬度和耐磨性,同时耐腐蚀性也明显改善. 实验分析结果表明,氮离...

曾照明 汤宝寅... 《材料科学与工艺》 1999年03期 期刊

关键词: 表面改性 / 等离子体浸没离子注入 / 9Cr18

下载(248)| 被引(11)

在GCr15轴承钢表面制备Al_2O_3陶瓷薄膜及膜的摩擦特性研究  CNKI文献

本文描述了用金属等离子体浸没离子注入与沉积在GCr15轴承钢表面制各Al2O3陶瓷薄膜的技术。通过被处理的GCr15轴承钢试样表面X射线衍射(XRD)分析,以及表面显微硬度与摩擦特性的测量,分析与讨论了GCr15轴承钢表面Al2O3...

王浪平 王付斌... 第五届全国表面工程学术会议论文集 2004-04-01 中国会议

用于材料表面强化处理的第三代多功能等离子体浸没离子注入...  CNKI文献

第三代多功能等离子体浸没离子注入(PIII)装置已于2000年6月在成都,西南交通大学正式验收,并被用于材料表面改性的研究与开发工作。与第一代多功能PIII装置不同的是该装置更强调用于医药生物材料的处理,因而该装置具有...

汤宝寅 王浪平... '2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集 2001-11-01 中国会议

用于材料表面强化处理的第三代多功能PⅢ装置  CNKI文献

第三代多功能等离子体浸没离子注入 (PIII)装置的强流脉冲阴极弧金属等离子体源既具有强的镀膜功能 ,同时也具有强的金属离子注入功能 ;它的脉冲高压电源能输出大的电流 ;并可获得高的注入剂量均匀性。该装置既能执行...

汤宝寅 王浪平... 《核技术》 2002年09期 期刊

表面凹陷对等离子体浸没离子注入均匀性的影响  CNKI文献

利用二维流体模型和数值计算方法模拟了等离子体浸没离子注入 (PⅢ )中 ,具有圆弧凹槽的平面靶周围的鞘层扩展情况 ,计算了鞘层扩展过程中的电势分布、离子速度和离子密度变化 ,获得了沿靶表面的离子入射角度和注入剂...

曾照明 汤宝寅... 《计算物理》 2000年04期 期刊

关键词: 等离子体浸没离子注入 / 鞘层 / 数值模拟

下载(130)| 被引(9)

用于复杂形状精密机械零件表面强化处理的Model-3PⅢ装置  CNKI文献

等离子体浸没离子注入(PIII)消除了一般束线离子注入(IBII)固有的直射性限制,特别适合于处理复杂形状零件。PIII通过等离子体渗氮、氮离子注入有效地增强了零件表面耐磨、抗腐性能。近几年来,我们针对初期PIII存在的物...

汤宝寅 王松雁... 第四届全国表面工程学术交流大会论文集 2001-11-01 中国会议

GCr15轴承钢表面AlN薄膜合成技术研究  CNKI文献

本文描述了用金属等离子体浸没离子注入与沉积(McPIII&D)技术,在GCr15轴承钢表面制备AIN薄膜。在研究过程中首先对处理工艺参数进行了优化选择,通过调节主弧脉冲宽度与基体偏压脉冲宽度比,寻求理想的注入与沉积比...

汤宝寅 姜波... 第五届全国表面工程学术会议论文集 2004-04-01 中国会议

关键词: 金属等离子体浸没离子注入与沉积 / 抗磨性 / 显微硬度 / AIN薄膜

下载(60)| 被引(0)

用于全方位离子注入的10kV固体脉冲调制器研制  CNKI文献

采用IGBT串联技术研制成功了用于全方位离子注入的10 kV固体脉冲调制器。试验表明:该固体脉冲调制器在纯阻性负载时最高输出电压为14 kV,最高输出脉冲电流为20 A,输出脉冲宽度可在2 ms和112 ms之间以1 ms步长变化、脉...

甘孔银 汤宝寅... 《中国表面工程》 2003年04期 期刊

关键词: 全方位离子注入 / 固体脉冲调制器 / IGBT串联

下载(99)| 被引(6)

内表面等离子体浸没离子注入过程的数值模拟  CNKI文献

采用流体模型对圆筒内表面PIII过程进行了二维数值模拟 ,研究了筒内鞘层扩展和交叉重叠对内表面注入的注入能量和注入剂量的影响 .通过模拟发现 ,内表面注入过程存在注入能量和注入剂量偏低的问题 ,但前者并不十分严重...

刘爱国 王小峰... 《哈尔滨工业大学学报》 2000年01期 期刊

关键词: 等离子体浸没离子注入 / 内表面改性 / 等离子体鞘层 / 数值模拟

下载(170)| 被引(4)

圆筒内表面等离子体浸没离子注入实验研究  CNKI文献

圆筒内表面离子注入处理一直被认为是一个难题,近年来,随着等离子体浸没离子注入技术的发展,这一难题可能被解决。本文采用栅网增强沉积方法在圆筒内表面注入与沉积TiN薄膜,以提高圆筒内表面抗磨耐蚀特性:文中研究了溅...

王小峰 张时铭... 第五届全国表面工程学术会议论文集 2004-04-01 中国会议

关键词: 等离子体浸没离子注入 / 圆筒内表面离子注入 / 栅网增强沉积

下载(40)| 被引(0)

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