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微电子机械系统进展和趋势  CNKI文献

本文对微电子机械系统(MEMS)的进展和趋势提出了一些观点性意见,在阐述了微机械技术和MEMS的特点后,强调发展MEMS器件要利用其特点而避免其短处,并为此列举了五个方面成功的MEMS器件。最后,本文...

王渭源 鲍敏杭 《功能材料与器件学报》 1996年03期 期刊

关键词: 微电子机械系统(MEMS) / 微机械技术 / MEMS器件

下载(275)| 被引(29)

用于微电子机械系统封装的体硅键合技术和薄膜密封技术  CNKI文献

对静电键合、体硅直接键合和界面层辅助键合等三种体硅键合技术 ,整片操作、局部操作和选择保护等三种密封技术 ,以及这些技术用于微电子机械系统的密封作了评述 ,强调在器件研究开始时应考虑封装问题 ,具体技术则应在...

王渭源 王跃林 《中国工程科学》 2002年06期 期刊

关键词: 体硅键合技术 / 薄膜密封技术 / 微电子机械系统封装技术

下载(329)| 被引(9)

用于微机械器件和微电子机械系统的关键技术——微机械技术  CNKI文献

微机械技术是研究,生产微机械器件和微电子机械系统的关键技术,熟练掌握并不容易。本文总结了三个单位为时数年在微机械技术方面的研究成果,重点介绍我们首创的三项技术,即自对准的准三维加工技术,硅三维结构的无...

王渭源 鲍敏杭... 《功能材料与器件学报》 1998年04期 期刊

影响微电子机械系统成品率和可靠性的粘合力和摩擦力  CNKI文献

文章评述了影响微电子机械系统 (MEMS)成品率和可靠性的粘合力和摩擦力问题。在用氢氟酸(HF)腐蚀牺牲层、释放多晶Si微结构、干燥时 ,由于Si片表面薄层水的表面张力使两片亲水、间隙在微米量级的Si片粘合起来 ,称为“...

王渭源 《中国工程科学》 2000年03期 期刊

关键词: 微电子机械系统 / 粘合力 / 摩擦力 / 抗粘合薄膜

下载(103)| 被引(9)

用作金刚石微电子和微机械器件的若干关键技术  CNKI文献

针对金刚石薄膜用于微电子器件和微机械器件的共性关键技术问题 ,总结了近年来这些方面的研究成果 ,包括 :用交流 直流负偏压微波等离子化学气相沉积 (MPCVD)在绝缘SiO2衬底上实现金刚石高密度成核 ,高成核选择比的金...

王渭源 王效东... 《科学通报》 1999年04期 期刊

关键词: 金刚石 / 微电子 / 微机械 / 制备技术

下载(66)| 被引(8)

液态高炉型渣中MnO的活度及还原速率  CNKI文献

本文报告了锰在银、铁,渣、铁及渣、银间的分配数据及高炉型渣中MnO活度的计算结果。从熔渣结构观点讨论了碱度,Al_2O_3,MgO及CaF_2对渣中MnO活度的影响。还报告了渣中MnO还原速率的测定结果,讨论了反应级数问题。最后...

王渭源 邹元爔 《金属学报》 1963年01期 期刊

关键词: MnO / 活度系数

下载(114)| 被引(9)

渣铁间碳还原反应的动力学问题  CNKI文献

总結了渣鉄間碳还原反应,包括FeO,MnO,CrO,V_2O_3的还原和铁液中脫硫。可以认为界面上化学反应很快达到平衡,而整个反应的控制步驟是对流扩散。发現反应級数,在熔体处于旋轉运动(用旋轉坩堝或旋轉攪拌棒)下为一級,处于...

王渭源 《金属学报》 1964年04期 期刊

关键词: 碳还原 / 对流扩散 / 动力学问题

下载(104)| 被引(5)

微分和表观静摩擦系数的表式  CNKI文献

当前 ,工程师和科学家都对微牛和纳牛量级载荷静摩擦系数 (以下简称微牛纳牛静摩擦系数 )很感兴趣。但文献中至今没有详细讨论过微牛纳牛静摩擦系数与载荷的关系 ,而且发表的实验结果都不相互讨论。从微分静摩擦系数的...

王渭源 《中国工程科学》 2001年08期 期刊

砷化镓中质子注入之研究  CNKI文献

本文中,我们研究了砷化镓中质子注入及退火恢复过程。实验用晶向<100>偏1— 3°,掺Sn5X10~(17)-1X10~(18)cm~(-3)的单晶,室温下质子注入,注入能量E约8×10~4—2×10~6eV,用A-B腐蚀剂对注入质子样品...

王渭源 徐景阳... 《物理学报》 1979年05期 期刊

关键词: 砷化镓 / 注入层 / 离子注入 / 高阻层

下载(57)| 被引(5)

掺铬半绝缘砷化镓材料的硅离子注入  CNKI文献

本文研究了半绝缘砷化镓中硅离子的注入,在对衬底材料进行挑选和注意离子源工作物质纯度的基础上,进行了~(28)Si~+注入,用无包封法退火,然后对注入层作了电学性质、背散射和光致发光谱测定,结合选择离子注硅的UHF应用...

王渭源 乔墉... 《物理学报》 1982年01期 期刊

关键词: 硅离子 / 光致发光谱 / 离子源 / 半绝缘砷化镓

下载(32)| 被引(5)

从熔体中生长金属和半导体单晶技术的进展  CNKI文献

引言天然单晶中有相当多的缺陷,诸如位错、杂质偏析等,往往不能满足研究及工业上的要求。在人工培养的单晶中,缺陷大为减少;而且,用人工方法还能培养出一定缺陷、各种形状及天然不存在的单晶。根据母相状态,晶体生长可...

王渭源 徐元森 《科学通报》 1965年06期 期刊

关键词: 金属单晶 / 晶体生长机理 / 半导体单晶

下载(69)| 被引(0)

UHF应用的低噪声GaAs双栅场效应晶体管  CNKI文献

本文报告的 UHF应用的低噪声 GaAs双栅金属肖特基势垒接触场效应晶体管,用 GaAs高阻衬底-n汽相外延材料,金属铝栅 1.5 ×300μm.器件封装用简化的环氧树脂粘结的陶瓷管壳.器件的工作参数为V(DS)~4V,V_(g_1s)~-2...

王渭源 夏冠群... 《半导体学报》 1982年06期 期刊

关键词: UHF / MESFET / 汽相外延 / 低噪声

下载(32)| 被引(1)

用阶跃恢复法测定砷化镓结型(p-n和M-S结)两极管的载流子寿...  CNKI文献

本文报告了我们用阶跃恢复法测定砷化镓两极管载流子寿命的初步结果。首先,对硅阶跃两极管用反向恢复法和阶跃恢复法两种方法测寿命,经比较结果,数据相当符合。在此基础上提出了阶跃恢复法的测试条件,并认为这一方法测...

王渭源 《物理学报》 1979年03期 期刊

关键词: 少数载流子寿命 / 两极管 / M-S / p-n

下载(43)| 被引(0)

硅全离子注入的GaAs双栅MESFET  CNKI文献

本文研究了硅全离子注入的平面型GaAs双栅MESFET.有源层注入条件为110ke V、3.5×10~(12)cm~(-2),接触层注入条件为50keV、8×10~(12)cm~(-2),退火条件为800℃30分钟.FET的铝栅1.5×300μm,Au-Ge-Ni为欧姆...

王渭源 卢建国... 《应用科学学报》 1983年04期 期刊

关键词: MESFET / 有源层 / 离子注入

下载(10)| 被引(2)

掺Cr半绝缘GaAs中Si离子注入的载流子分布尾研究  CNKI文献

本文研究了掺Cr半绝缘GaAs中~(28)Si~+注入后的载流子浓度分布尾,包括退火温度和时间的影响。应用计算机模拟了分布尾对GaAs MESFET器件输出特性的影响,与实测结果符合,表明分布尾会造成器件输出特性异常。 讨论了产生...

王渭源 夏冠群... 《物理学报》 1985年03期 期刊

关键词: 实测结果 / 浓度分布 / 离子注入

下载(15)| 被引(1)

二元系中杂质元素分布系数和相平衡图间的经验关系  CNKI文献

在Ge或Si和杂质元素组成的二元系中,及Au-Bi,Au-Tl,Ag-Bi,Ag-Pb,Ag-Tl(后一元素表示杂质)中,发现杂质元素分布系数K_B的对数和液相线上组分A的开方浓度。x_(A,L)~(1/2)间有直线关系。据此外推求得的Ge或Si(IV族)中熔点...

王渭源 《金属学报》 1965年02期 期刊

关键词: 分布系数 / 二元系 / 杂质元素 / 相平衡图

下载(34)| 被引(0)

锰在液态Fe-Mn-C合金内的活度  CNKI文献

铁锰系统由于 Krber 与 Oelsen 及三本木与大谷的研究,可视为理想溶液,即服从 Raoult定律。作者之一曾研究锰在铁液与银液间的分配比及碳对此项分配比的影响。因碳在银液中溶解度很小,故分配比的变化可视为碳对锰在...

王渭源 邹元爔 《科学通报》 1957年09期 期刊

关键词: Fe-Mn-C

下载(88)| 被引(1)

1981年国际砷化镓和有关化合物学术会议  CNKI文献

1981年9月20日-23日在日本召开的国际砷化镓和有关化合物学术会议是自1966年以来的第九届国际会议。正式代表394人,论文94篇,最新进展(摘要)14篇。中国代表共11人。 正式会议共三天。最受重视的是 GaAs IC.第一次全体...

王渭源 邹元爔 《半导体学报》 1982年03期 期刊

关键词: 学术会议 / 砷化镓 / 激光器 / InGaAsP

下载(9)| 被引(2)

液态渣中MnO还原速率的初步研究  CNKI文献

锰在高炉炉缸中的还原程度曾由邹元(?)及 Filer 与 Darken 研究过。前者考察了实际高炉渣铁中锰的分配,后者则将渣铁在石墨坩埚内重熔测定了锰的分配比。从他们的研究结果可知锰的还原反应在炉缸内

王渭源 鄒元爔 《科学通报》 1962年01期 期刊

关键词: MnO / 液态渣 / 扩散层 / 初步研究

下载(20)| 被引(1)

集成微光机电系统研究现况及其产业化前景  CNKI文献

本文介绍了国际集成微光机电系统的研究现况及其产业化前景 ;在此基础上 ,提出了对我国加快这一领域的研究和产业化的看法

王跃林 王渭源 《功能材料与器件学报》 2000年01期 期刊

关键词: 集成微光机电系统 / 微电子机械系统 / 微系统

下载(162)| 被引(18)

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