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一种新型光电材料──β-FeSi_2的结构,光电特性及其制备  CNKI文献

B-FeSi2是近年来发展起来的新型硅基光电材料。详细介绍了B-FeSi2的结构,电学、光学性质以及它的制备技术。对目前存在的问题以及未来的研究动向作了简要的讨论。

王连卫 陈向东... 《物理》 1995年02期 期刊

关键词: 光电材料 / B-FeSi2 / 结构 / 光电特性

下载(327)| 被引(17)

β-FeSi_2/SIMOX──一种新结构的光电子材料  CNKI文献

本文采用固相外延法在SIMOX衬底上生长了β-FeSi2薄膜,采用X射线衍射(XRD),卢瑟辐背散射(RBS)以及自动扩展电阻测量研究了样品的多层结构,Raman谱表征说明它与直接在硅片上生长的薄膜具...

王连卫 沈勤我... 《半导体学报》 1996年04期 期刊

关键词: 光电子材料 / 新结构 / FeSi_2 / SIMOX

下载(64)| 被引(3)

氧注入损伤对6HSiC光学性质的影响  CNKI文献

SiC是一种重要的宽禁带半导体材料,在高温、高压、高功率及高频器件方面有重要的应用前景。SiC中的离子注入无论在基础研究还是在器件工艺中都具有重要的意义。本文研究了SiC 的注入(70keV,剂量5 &...

王连卫 黄继颇... 《功能材料与器件学报》 1999年03期 期刊

关键词: SiC / 注入损伤 / 光学性质

下载(72)| 被引(0)

用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜  CNKI文献

采用脉冲激光淀积 (PLD)法在单晶Si(10 0 )衬底上淀积了ZnO薄膜。XRD、TEM和AFM分析表明 ,淀积的ZnO薄膜具有良好的c轴取向性和表面平整度。通过改变淀积气氛或在纯氧中高温退火 ,ZnO薄膜的电阻率提高到 10 7Ω·...

刘彦松 王连卫... 《功能材料》 2001年01期 期刊

关键词: 脉冲激光淀积 / 氧化锌 / 压电性 / 声表面波

下载(261)| 被引(73)

利用ZnO缓冲层制备AlN薄膜  CNKI文献

采用脉冲激光淀积 (PL D)技术 ,利用 Zn O作为缓冲层 ,在 Si(10 0 )衬底上生长出 Al N薄膜。X-射线衍射图谱表明 ,该 Al N薄膜具有 c轴取向特性。X-光电子能谱测试表明 ,要获得接近理想化学配比的 Al N薄膜 ,需要高真...

刘彦松 王连卫... 《压电与声光》 2000年05期 期刊

关键词: AlN / ZnO / 缓冲层 / PLD

下载(237)| 被引(46)

性能优异的多功能宽禁带半导体AlN薄膜  CNKI文献

作为具有优异介电性、压电性的宽禁带半导体材料,AlN是重要的电子封装材料、绝缘介质材料、声表面波材料和蓝光紫外发光材料。本文介绍了AlN材料结构特性、薄膜制备及应用的最新进展

黄继颇 王连卫... 《功能材料》 1999年02期 期刊

关键词: 氮化铝 / 宽禁带半导体 / 异质外延

下载(428)| 被引(30)

以Al_2O_3为过渡层脉冲激光法制备PZT铁电薄膜  CNKI文献

为实现PZT铁电薄膜与半导体衬底的直接集成引入Al2O3为过渡层,首先用真空电子束蒸发法在Si(100)、多晶金刚石(111)衬底上生长约20nm厚的Al2O3过渡层,接着在上述衬底上采用脉冲激光淀积(PLD)法淀积PZT薄膜,衬底温度为3...

万青 王连卫... 《功能材料与器件学报》 2002年02期 期刊

关键词: Al2O3 / 过渡层 / PZT / PLD

下载(130)| 被引(3)

超高真空电子束蒸发合成晶态AlN薄膜的研究  CNKI文献

用超高真空蒸发Al膜,结合氮化后处理工艺在Si(100)衬底上制备了AlN晶态薄膜。用X射线衍射(XRD)、傅立叶变换红外光谱(FTIR)和X射线光电子能谱(XPS)等测试分析技术研究了薄膜的微结构特...

黄继颇 王连卫... 《功能材料与器件学报》 1998年04期 期刊

关键词: 氮化铝 / 电子束蒸发 / 氮化

下载(172)| 被引(30)

锌基准固态电池磷化钴镍电极的制备与性能  CNKI文献

通过一步水热法在泡沫镍衬底上生长出双金属镍钴磷化物,研究了不同水热溶液浓度对于磷化物表面形貌的影响。使用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱仪(XPS)对制备的磷化物样品的微观结构和元素...

付天宇 童新... 《微纳电子技术》 2022年04期 期刊

关键词: 一步水热法 / 纳米结构 / 磷化物 / 准固态电池

下载(129)| 被引(0)

硝酸改性石墨毡制作超级电容器的复合电极  CNKI文献

为了改善石墨毡(GF)表面的疏水性以及解决生长的活性物质易脱落的问题,研究了使用浓硝酸简单的一步法活化石墨毡并且引入含氧官能团。通过实验确定了合适的浓硝酸反应条件。经浓硝酸改性后的石墨毡的比电容可以达到27...

严晨欢 曲艺鸿... 《微纳电子技术》 2021年04期 期刊

关键词: 石墨毡(GF) / 表面改性 / 超级电容器 / MnO_2

下载(211)| 被引(2)

脉冲激光沉积制备c轴取向AlN薄膜  CNKI文献

c轴取向的AlN 具有优异的压电性和声表面波传输特性,已受到人们日益广泛的重视。文章报道了采用KrF脉冲准分子激光沉积工艺,在Si(100)衬底上成功地制备了c轴取向的AlN晶态薄膜。X射线衍射与傅里...

黄继颇 王连卫... 《压电与声光》 1999年05期 期刊

关键词: 氮化铝 / 脉冲激光沉积 / 压电性

下载(112)| 被引(16)

基于石墨毡生长的镍钴基化合物电极的双功能电催化性能  CNKI文献

以先水热后硫化的方法制备出基于石墨毡基底的镍钴基化合物(NiCo_2O_4/GF和NiCo_2S_4/GF)电极,探究不同水热温度对电极的催化特性的影响。通过扫描电子显微镜(SEM)、能量色散X射线光谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)和X射...

庞宁 邢晓梅... 《微纳电子技术》 2022年02期 期刊

关键词: 镍钴基化合物 / 石墨毡(GF) / 析氢反应(HER)/析氧反应(OER) / 纳米结构

下载(138)| 被引(0)

退火条件对β—FeSi_2形成的影响  CNKI文献

本文采用反应沉积-团相外延法制备β-FeSi2溥膜.不同温度及持续时间的后退火处理的X射线衍射分析表明降低衬底温度,延长退火时间可以提高样品晶体质量.利用卢瑟福背散射方法研究了β-FeSi2的形成过程...

陈向东 王连卫... 《半导体学报》 1995年10期 期刊

关键词: 晶体质量 / 射线衍射分析 / 后退火处理 / 卢瑟福背散射

下载(102)| 被引(20)

碳点MnO_2修饰碳布复合电极的电容性能  CNKI文献

通过一种自下而上的高温裂解方法制成一种碳点(CD),并在此基础上以碳布(CC)为衬底合成了碳点修饰的二氧化锰(CD/MnO_2)复合电极。对合成的CD/MnO_2/CC进行表征分析,发现生成的CD/MnO_2较均匀地生长在碳纤维上,高分辨率...

张兵 周秧... 《微纳电子技术》 2021年07期 期刊

关键词: 碳点(CD) / 复合电极 / 碳布(CC) / 凝胶电解质

下载(231)| 被引(0)

纳米铜/多孔碳电极界面效应诱导CO_2电化学还原为乙醇  CNKI文献

为了高效、稳定地电化学还原二氧化碳(CO_2)为多碳产物,制备了由纳米铜(Cu)原子包覆多孔石墨纤维组成的亚单层Cu金属催化剂。催化结果表明,亚单层Cu原子修饰的多孔石墨纤维在-0.8 V的小过电位下,表现出良好的电极稳定...

王哲 严晨欢... 《微纳电子技术》 2021年06期 期刊

关键词: 多孔石墨纤维 / 石墨毡 / 纳米铜 / 界面效应

下载(229)| 被引(0)

脉冲准分子激光沉积AlN薄膜的研究  CNKI文献

采用ArF脉冲准分子激光沉积法并结合退火后处理工艺,在Si(111)衬底上成功地制备了AIN晶态薄膜。X射线衍射、扩展电阻与原子力显微镜等测试结果表明:薄膜具有(101)取向,平均晶粒大小为200nm;薄膜介电性能优异,...

黄继颇 王连卫... 《中国激光》 1999年09期 期刊

关键词: 氯化铝 / 脉冲激光沉积 / 介电性

下载(96)| 被引(9)

宽禁带半导体SiC的离子束合成、掺杂、隔离与智能剥离  CNKI文献

碳化硅作为新一代宽禁带半导体材料,在高温、高频、高功率、抗辐照电子器件中有着十分广阔的潜在应用前景.文章结合作者的工作,综述了离子束技术在SiC研究中的应用,其中包括SiC的合成、掺杂、器件隔离和智能...

黄继颇 王连卫... 《物理》 1998年05期 期刊

关键词: 碳化硅 / 离子注入 / 智能剥离

下载(151)| 被引(2)

石墨烯量子点修饰的石墨毡电极的电容性能  CNKI文献

以柠檬酸为原料,通过碳化制备石墨烯量子点(GQD)溶液,对制备的石墨烯量子点溶液进行超声使石墨烯量子点吸附在石墨毡表面。采用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、X射线光电子能谱(XPS)和喇曼光谱对石墨烯量子点修饰的石...

陈南 庞宁... 《微纳电子技术》 2020年02期 期刊

关键词: 石墨烯量子点(GQD) / 超声 / 石墨毡 / 超级电容器

下载(204)| 被引(1)

基于石墨烯的碘化锌储能器件的电化学性能  CNKI文献

采用还原性氧化石墨烯(RGO)修饰的石墨毡(GF)作为碘化锌储能器件的电极。采用改进型Hummers法制备氧化石墨烯(GO),然后使用溶剂热法将其生长于石墨毡上,形成还原性氧化石墨烯修饰的石墨毡(RGO-GF)。通过改变氧化石墨烯...

钱瑞 金振宇... 《微纳电子技术》 2018年10期 期刊

关键词: 碘化锌储能器件 / 还原性氧化石墨烯(RGO) / Hummers / 溶剂热法

下载(152)| 被引(3)

一维多孔硅声子晶体的带隙研究  CNKI文献

多孔硅的力学性质随多孔度有较大变化,因此可以用多孔硅材料来构建声子晶体结构。本文将在理论上讨论一维多孔硅声子晶体的带隙,设计出宽禁带声子晶体结构,分析其相关的物理特性。计算结果表明薄的高孔度插入层将获得...

徐冰茹 徐少辉... 《人工晶体学报》 2012年05期 期刊

关键词: 多孔硅 / 声子晶体 / 带隙

下载(190)| 被引(10)

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